一种环保高效ITO靶材的制备方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112479682A(43)申请公布日2021.03.12(21)申请号202011477287.9(22)申请日2020.12.15(71)申请人株洲火炬安泰新材料有限公司地址412000湖南省株洲市天易科技城A5栋(72)发明人唐智勇(74)专利代理机构广州粤高专利商标代理有限公司44102代理人杨千寻杜梅花(51)Int.Cl.C04B35/01(2006.01)C04B35/453(2006.01)C04B35/622(2006.01)C04B35/626(2006.01)C04B35/632(2006.01)权利要求书1页说明书3页(54)发明名称一种环保高效ITO靶材的制备方法(57)摘要本发明公开了一种环保高效ITO靶材的制备方法，包括以下步骤：S1、用等离子弧熔融In‑Sn合金，之后将处于熔融态的金属在等离子发生室内的含氧40％vol的气流中氧化，并使所获得的反应产物在气流中强烈冷却制得原料粉末；S2、将原料粉末、离子交换水、氧化锆装入球磨罐中，球磨混合；S3、加入分散剂继续混合；S4、加入蜡基粘结剂继续混合；S5、将所构成的磨浆注入到过滤式成形模内制作成形体；S6、将此成形体进行干燥脱脂；S7、将干燥脱脂后的成形体送入烧结炉内烧结，制得靶材。本发明具备易脱模，且可提高靶材的相对密度，进而增加靶材的良品率，降低生产成本的优点。CN112479682ACN112479682A权利要求书1/1页1.一种环保高效ITO靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、用等离子弧熔融In‑Sn合金，之后将处于熔融态的金属在等离子发生室内的含氧40％vol的气流中氧化，并使所获得的反应产物在气流中强烈冷却制得原料粉末，冷却速度为106K/s‑108K/s；S2、将原料粉末、离子交换水、氧化锆装入球磨罐中，球磨混合，混合时间为20‑24小时，所述原料粉末平均粒径为0.03‑0.25μm；S3、加入分散剂继续混合，所述分散剂为聚羧酸系分散剂，混合时间为1‑2小时；S4、加入蜡基粘结剂继续混合；S5、将所构成的磨浆注入到过滤式成形模内制作成形体，所述过滤式成形模的原料为从陶瓷原料磨浆将水分减压排水以获得成形体的非水溶性材料；S6、将此成形体进行干燥脱脂；S7、将干燥脱脂后的成形体送入烧结炉内烧结，制得靶材。2.根据权利要求1所述的一种环保高效ITO靶材的制备方法，其特征在于：S4中混合时间为15‑20小时。3.根据权利要求1所述的一种环保高效ITO靶材的制备方法，其特征在于：S6中干燥温度为400℃‑600℃。4.根据权利要求1所述的一种环保高效ITO靶材的制备方法，其特征在于：初次烧结温度为1500℃‑1700℃，烧结时间为5‑10min，降温至1400℃‑1600℃，并保温15‑20h，之后再冷却至室温。5.根据权利要求8所述的一种环保高效ITO靶材的制备方法，其特征在于：从最高烧结温度降至400℃的平均降温速度80‑100℃/小时。2CN112479682A说明书1/3页一种环保高效ITO靶材的制备方法技术领域[0001]本发明涉及ITO靶材制备技术领域，具体为一种环保高效ITO靶材的制备方法。背景技术[0002]ITO靶材是三氧化二铟和二氧化锡的混合物，是ITO薄膜制备的重要原料。ITO靶材主要用于ITO膜透明导电玻璃的制作，后者是制造平面液晶显示的主要材料，在电子工业、信息产业方面有着广阔而重要的应用。优质的成品ITO靶材应具有≥99％的相对密度，这样的靶材具有较低电阻率、较高导热率及较高的机械强度。高密度靶可以在温度较低条件下在玻璃基片上溅射，获得较低电阻率和较高透光率的导电薄膜，甚至可以在有机材料上溅射ITO导电膜。但现阶段的ITO粉末在挤压成型之后不易脱模，且靶材的相对密度不稳定，进而导致ITO靶材的优良品率不理想，增加生产成本。发明内容[0003]本发明的目的在于提供一种环保高效ITO靶材的制备方法，具备易脱模，且可提高靶材的相对密度，进而增加靶材的良品率，降低生产成本的优点，解决了现阶段的ITO粉末在挤压成型之后不易脱模，且靶材的相对密度不稳定，进而导致ITO靶材的优良品率不理想，增加生产成本的问题。[0004]为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：[0005]一种环保高效ITO靶材的制备方法，包括以下步骤：[0006]S1、用等离子弧熔融In‑Sn合金，之后将处于熔融态的金属在等离子发生室内的含氧40％vol的气流中氧化，并使所获得的反应产物在气流中强烈冷却制得原料粉末，冷却速度为106K/s‑108K/s；[0007]S2、将原料粉末、离子交换水、氧化锆装入球磨罐中，球磨混合，混合时间为20‑24小时，所述原料粉末平均粒径为0