热压法制备ITO靶材的方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103113089A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103113089103113089A(43)申请公布日2013.05.22(21)申请号201210446311.1(22)申请日2012.11.09(71)申请人柳州百韧特先进材料有限公司地址545006广西壮族自治区柳州市高新一路15号标准厂房D座东面第五层(72)发明人陈进中熊爱臣伍祥武吴伯增何焕全韩洪涛林东东甘振英(74)专利代理机构广州凯东知识产权代理有限公司44259代理人姚迎新(51)Int.Cl.C04B35/01(2006.01)C04B35/622(2006.01)权利要求书1页权利要求书1页说明书3页说明书3页(54)发明名称热压法制备ITO靶材的方法(57)摘要本发明涉及ITO靶材，具体说是热压法制备ITO靶材的方法，其包括制取铟锡氢氧化物沉淀溶液；离心分离沉淀溶液中的沉淀物和液体；用水洗涤沉淀物，并离心分离沉淀物和水；干燥、煅烧沉淀物，得到ITO粉末；在ITO粉末中加入聚乙烯醇，利用模具将ITO粉末干压成成型体；将成型体置于热压炉中,制取ITO靶材的步骤。本发明通过控制合成溶液的温度和PH值等条件，可使ITO粉末达到纳米级，为热压法制备高密度的ITO靶材提供条件；同时本发明采用多次离心分离水洗的沉淀物，可有效去除沉淀物表面的杂质，有助于提高ITO粉末的导电性，从而提高ITO靶材的性能；而且本发明的热压法所需的成型压力较小，烧结温度低、时间短，生产成本低，可抑制晶粒长大，获得接近理论密度和较低气孔率的ITO靶材。CN103113089ACN10389ACN103113089A权利要求书1/1页1.热压法制备ITO靶材的方法，其包括以下步骤：（1）首先将金属铟溶解于盐酸溶液中，向该溶液中加入四氯化锡，保持混合溶液中的铟锡质量比为9.45:1；然后将混合溶液导入三乙醇胺与聚乙烯吡咯烷酮溶液中，并加入氨水，形成合成溶液；接着对合成溶液加热，得到铟锡氢氧化物沉淀溶液；（2）离心分离沉淀溶液中的沉淀物和液体；（3）用水洗涤沉淀物，并离心分离沉淀物和水；（4）重复步骤（3）3次—5次，得到沉淀物；（5）干燥、煅烧步骤（4）的沉淀物，得到ITO粉末；（6）在ITO粉末中加入聚乙烯醇，利用模具将ITO粉末干压成成型体；（7）将成型体置于热压炉中,制取ITO靶材。2.根据权利要求1所述的热压法制备ITO靶材的方法，其特征在于：所述聚乙烯醇的质量比为0.7%—1.0%。3.根据权利要求1所述的热压法制备ITO靶材的方法，其特征在于：所述溶解加热温度为80℃,保持合成溶液的PH值为6-7。4.根据权利要求1所述的热压法制备ITO靶材的方法，其特征在于：所述步骤（5）的煅烧温度为1100℃—1300℃。5.根据权利要求1所述的热压法制备ITO靶材的方法，其特征在于：所述步骤（7）的烧结条件为：温度1100℃、压力10MPa、时间300分钟。6.根据权利要求1所述的热压法制备ITO靶材的方法，其特征在于：所述聚乙烯吡咯烷酮与沉淀物的质量比为1:10。2CN103113089A说明书1/3页热压法制备ITO靶材的方法技术领域[0001]本发明涉及ITO靶材的制取，具体说是利用热压法制备ITO靶材的方法。背景技术[0002]ITO（锡铟氧化物）的主要成分是氧化锡固溶在氧化铟中的复合氧化物。ITO具有很好的光电性能，含有ITO的薄膜具有高的导电性和可见光透射性，被广泛应用于太阳能电池、液晶显示装置、触控电板等各种领域。随着液晶平板显示装置等的快速普及，ITO靶材的消耗越来越多，对靶材的要求也越来越高。目前，采用纳米材料制备低温烧结的ITO靶材是靶材研究者不懈努力的方向，现有技术常用的方法采用共沉淀法制备ITO粉末，然后用ITO粉末烧结成ITO靶材。但现有技术的采用的方法制备的ITO粉末烧结性能较差，最终得到的ITO靶材的密度较低，限制了ITO靶材的应用。发明内容[0003]针对上述技术问题，本发明提供一种利用热压法制备ITO靶材密度较高、生产成本较低的方法。[0004]本发明解决上述技术问题采用的技术方案为：热压法制备ITO靶材的方法，其包括以下步骤：（1）首先将金属铟溶解于盐酸溶液中，向该溶液中加入四氯化锡，保持混合溶液中的铟锡质量比为9.45:1；然后将混合溶液导入三乙醇胺与聚乙烯吡咯烷酮溶液中，并加入氨水，形成合成溶液；接着对合成溶液加热，得到铟锡氢氧化物沉淀溶液；（2）离心分离沉淀溶液中的沉淀物和液体；（3）用水洗涤沉淀物，并离心分离沉淀物和水；（4）重复步骤（3）3次—5次，得到沉淀物；（5）干燥、煅烧步骤（4）的沉淀物，得到ITO粉末；（6）在ITO粉末中加入聚乙烯醇，利用模具将ITO粉末干压成