大尺寸、无中间缺陷的ITO平面靶素坯生产方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112917643A(43)申请公布日2021.06.08(21)申请号202110345069.8(22)申请日2021.03.31(71)申请人河北惟新科技有限公司地址050000河北省石家庄市高新区长江大道238号宏昌科技园7号楼一层102、106室(72)发明人王玉军杨建新刘洪福刘志猛(51)Int.Cl.B28B1/26(2006.01)B28B7/00(2006.01)B28B7/34(2006.01)B28B7/46(2006.01)B28B7/42(2006.01)B28B11/24(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图2页(54)发明名称大尺寸、无中间缺陷的ITO平面靶素坯生产方法(57)摘要本发明公开了一种大尺寸、无中间缺陷的ITO平面靶素坯生产方法，具体包括以下步骤：制备ITO浆料；将制备的浆料加入到多孔树脂模具中，制备ITO平面靶坯体；在纯氧气氛中，将ITO平面靶坯体放入烧结炉中进行烧结，得到ITO平面靶素坯。本发明通过在坯体制备阶段采用多孔树脂模具以及在烧结工序中采用多层烧结进气方法，不仅可以生产出致密度高、合格率高的优质ITO平面靶，而且还大大降低了能耗，节约了生产成本，提高了生产效率，为低成本ITO平面靶的国产化提供了可行性方案。CN112917643ACN112917643A权利要求书1/1页1.大尺寸、无中间缺陷的ITO平面靶素坯生产方法，其特征在于，具体包括以下步骤：A.制备ITO浆料；B.将步骤A制备的浆料加入到多孔树脂模具中，采用分区可控、由远及近固化成型方式制备ITO平面靶坯体；C.在纯氧气氛中，将ITO平面靶坯体放入烧结炉中进行烧结，得到ITO平面靶素坯。2.根据权利要求1所述的大尺寸、无中间缺陷的ITO平面靶素坯生产方法，其特征在于，步骤B中所述的多孔树脂模具为分区可控排水结构，包括上下相互配装的树脂凸模(1)和树脂凹模(2)，树脂凸模(1)和树脂凹模(2)之间形成制备ITO平面靶坯体的型腔，树脂凹模(2)的一侧设置连通型腔的进浆管(4)；所述树脂凸模(1)和树脂凹模(2)分别由相对应的多块多孔树脂组成，相邻多孔树脂之间通过不透水塑料隔板(6)隔开，每块多孔树脂上分别设置一根垂直于多孔树脂的排水管(3)；所述进浆管(4)和排水管(3)上均设置有开关阀。3.根据权利要求2所述的大尺寸、无中间缺陷的ITO平面靶素坯生产方法，其特征在于，步骤B制备ITO平面靶坯体的具体方法为：B1.打开进浆管上的开关阀，关闭所有排水管上的开关阀，将制备好的ITO浆料通入到树脂凸模(1)和树脂凹模(2)之间的型腔中；B2.ITO平面靶坯体成型时，先开启与进浆口位置距离最远的排水阀，使远端位置先固化成型，随后依次开启距进浆口较近一些的排水阀，每次开启排水阀的时间间隔为10～15min，使分区由远及近充分完成固化成型。4.根据权利要求1所述的大尺寸、无中间缺陷的ITO平面靶素坯生产方法，其特征在于，步骤C中所述的烧结炉采用多层进气管路进行烧结，进气管路包括水平设置的进气主管(8)和竖直设置并与进气主管连通的进气支管(9)，所述进气支管顶端封闭设置，进气管上自上而下设置若干朝向承烧台上待烧结坯体的进气孔组。5.根据权利要求4所述的大尺寸、无中间缺陷的ITO平面靶素坯生产方法，其特征在于，所述进气主管设置有相对的两组，每组进气主管包括相连通的水平回字形管和平直的直线管，水平回字形管位于两根直线管之间，直线管的上端面开设连通进气支管的开孔。6.根据权利要求5所述的大尺寸、无中间缺陷的ITO平面靶素坯生产方法，其特征在于，所述进气支管(9)底端与直线管上的开孔之间通过高温连接头密封连接。7.根据权利要求4所述的大尺寸、无中间缺陷的ITO平面靶素坯生产方法，其特征在于，所述进气支管(9)上的进气孔组包括水平排列的三个直径相同的进气孔(10)，其中中间孔出口方向与承烧台侧边垂直，两侧孔与中间孔夹角60°。2CN112917643A说明书1/4页大尺寸、无中间缺陷的ITO平面靶素坯生产方法技术领域[0001]本发明涉及ITO靶材生产技术领域，特别是一种ITO平面靶素坯注浆成型方法。背景技术[0002]随着科技的迅速发展，电子行业在市场中占据巨大的份额，电子行业市场中很多电子产品都用到了平面显示器，例如平面显示器、液晶电脑、液晶电视等等，而这些平面显示器在制作过程中，离不开氧化物导电膜。在众多的氧化物导电膜中，ITO(氧化铟锡)半导体薄膜因其具有优异的电学和光学性能，电阻率可达10‑4Ω·cm，可见光透过率高达85％～90％以上，紫外光吸收率85％以上，红外光的反射率80％以上，并且膜层强度高，加工性好，被广泛的应用于液晶显示器(LCD)、