一种避免浪费ITO靶材的尺寸控制装置及方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115900331A(43)申请公布日2023.04.04(21)申请号202211362128.3(22)申请日2022.11.02(71)申请人株洲火炬安泰新材料有限公司地址412000湖南省株洲市天元区湘芸路2586号(72)发明人唐智勇唐安泰(74)专利代理机构湖南会挽专利代理事务所(普通合伙)43286专利代理师刁飞(51)Int.Cl.F27B9/16(2006.01)F27B9/30(2006.01)F27B9/40(2006.01)F27D3/12(2006.01)F27D7/04(2006.01)权利要求书3页说明书9页附图6页(54)发明名称一种避免浪费ITO靶材的尺寸控制装置及方法(57)摘要本发明属于ITO靶材生产技术领域，尤其是一种避免浪费ITO靶材的尺寸控制装置及方法，针对现有技术中坯体受热不均匀导致横向的烧结收缩率差异较大，靶材利用率低下，坯体下部与坯体其他部位受热存在差距，坯体的收缩阻力表现为收缩率从上到下呈梯度减小的问题，现提出如下方案，其包括：烧结炉，以及位于烧结炉内的承烧台，所述烧结炉内滑动连接有门板，所述烧结炉远离门板的一侧内壁固定连接有弧形限位板，所述承烧台的底部设有多个万向轮，本发明中，通过带动承烧台和胚体转动，使胚体在烧结炉内受热均匀，避免胚体出现变形，且扇叶转动将烧结炉内的热气向上吹动，避免坯体下部与坯体其他部位受热存在差距，使得胚体形状不可控。CN115900331ACN115900331A权利要求书1/3页1.一种避免浪费ITO靶材的尺寸控制装置，其特征在于，包括：烧结炉(1)，以及位于烧结炉(1)内的承烧台(3)，所述烧结炉(1)内滑动连接有门板(5)，所述烧结炉(1)远离门板(5)的一侧内壁固定连接有弧形限位板(2)，所述承烧台(3)的底部设有多个万向轮(4)；转动组件，设置在烧结炉(1)内，用于使承烧台(3)平稳的在烧结炉(1)内转动，使胚体受热均匀；吹风组件，设置在承烧台(3)内，用于使胚体底部与胚体上部受热均匀；控制组件，设置在承烧台(3)的顶部，用于控制胚体底部的收缩率。2.根据权利要求1所述的一种避免浪费ITO靶材的尺寸控制装置，其特征在于，所述转动组件包括设置在烧结炉(1)内的传动腔(6)，所述传动腔(6)的底部内壁固定连接有驱动电机(7)，所述驱动电机(7)的输出轴固定连接有第一滑杆(8)，所述第一滑杆(8)的外壁滑动连接有滑套(9)，且滑套(9)的顶端滑动贯穿烧结炉(1)的底部内壁并固定连接有圆盘(10)，且圆盘(10)的顶部与承烧台(3)的底部相碰触。3.根据权利要求1所述的一种避免浪费ITO靶材的尺寸控制装置，其特征在于，所述吹风组件包括设置在承烧台(3)顶部的凹槽(23)，所述凹槽(23)的底部内壁转动连接有转轴(24)，所述转轴(24)的外壁固定连接有多个扇叶(32)，所述转轴(24)的外壁固定套设有位于扇叶(32)下方的第一伞齿轮(25)，所述承烧台(3)内转动贯穿有转动轴(26)，所述转动轴(26)的一端延伸至凹槽(23)内并固定连接有第二伞齿轮(27)，且第二伞齿轮(27)与第一伞齿轮(25)相啮合，所述转动轴(26)的另一端固定连接有锥齿轮(28)，所述弧形限位板(2)靠近承烧台(3)的一侧设有弧形槽(29)，所述弧形槽(29)的顶部内壁固定连接有伞齿环(30)，且锥齿轮(28)延伸至弧形槽(29)内并与伞齿环(30)相啮合。4.根据权利要求1所述的一种避免浪费ITO靶材的尺寸控制装置，其特征在于，所述控制组件包括滑动连接在承烧台(3)顶部的多个滑动块(16)，所述承烧台(3)内设有圆槽(19)，所述承烧台(3)的顶部设有多个与圆槽(19)相连通的矩形孔(44)，所述矩形孔(44)内滑动连接有与滑动块(16)底部固定连接的滑动杆(18)，所述圆槽(19)的底部内壁固定连接有转动电机(20)，所述转动电机(20)的输出轴固定连接有转动盘(21)，所述转动盘(21)内设有多个弧形孔(22)，且滑动杆(18)的底端延伸至弧形孔(22)内并与弧形孔(22)滑动连接，所述滑动块(16)的顶部固定连接有承烧板(17)，所述承烧板(17)内设有多个通孔(38)，转动轴(26)的一端贯穿其中一个滑动杆(18)，所述圆槽(19)的底部固定连接有保护转动电机(20)的隔温罩(31)。5.根据权利要求1所述的一种避免浪费ITO靶材的尺寸控制装置，其特征在于，所述承烧台(3)的底部设有六角槽(12)，圆盘(10)的顶部固定连接有与六角槽(12)相配合的六角凸块(11)。6.根据权利要求2所述的一种避免浪费ITO靶材的尺寸控制装置，其特征在于，所述传动腔(6)内转动连接有连杆(14)，所述烧结炉(1)的