扩散炉自动炉门.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利(10)授权公告号(10)授权公告号CNCN102767958102767958B(45)授权公告日2014.12.03(21)申请号201210244362.6审查员彭钒(22)申请日2012.07.16(73)专利权人上海大学地址200444上海市宝山区上大路99号(72)发明人柯显信刘杨汪林兴吴泰谷严彬华(74)专利代理机构上海上大专利事务所(普通合伙)31205代理人何文欣(51)Int.Cl.F27D1/18(2006.01)(56)对比文件CN201532119U,2010.07.21,CN201566632U,2010.09.01,CN201909539U,2011.07.27,CN201440038U,2010.04.21,CN200972331Y,2007.11.07,US4979897A,1990.12.25,权权利要求书1页利要求书1页说明书3页说明书3页附图8页附图8页(54)发明名称扩散炉自动炉门(57)摘要本发明涉及一种扩散炉自动炉门。它包括与炉管固定成一体的炉门固定板和左右两扇对合的门体，所述两个门体的上端通过一个铰链连杆机构与炉门固定板活动连接，使两个门体悬空吊挂着贴近炉口；一个电机通过一个蜗杆螺母与螺母丝杠传动机构驱动一个门体启闭与施压密封机构，实现门体启闭与受压密封。本发明能实现扩散炉炉门的自动启闭与密封。CN102767958BCN10276958BCN102767958B权利要求书1/1页1.一种扩散炉自动炉门，包括与炉管（11）固定成一体的炉门固定板（1）和左右两扇对合的门体（3,6），其特征在于：1）、所述两个门体（3,6）的上端通过一个铰链连杆机构与炉门固定板（1）活动连接，使两个门体（3,6）悬空吊挂着贴近炉口；2）、一个电机（19）通过一个蜗杆螺母与螺母丝杠传动机构驱动一个门体启闭与施压密封机构，实现门体启闭与受压密封；所述铰链连杆机构是：所述门体（3、6）的上端有固定的叉头通过一个轴销与一根连杆（12）的一端插接铰链，该连杆（12）的另一端与一个铰链（13）铰连，该铰链（13）与一个销（14）转动连接，该销（14）与炉门固定板（1）固定连接；则铰链（13）能绕销（14）在与炉门固定板（1）端面成平行的XY面上转动，连杆（12）能绕铰链（13）另一端在XZ面上转动，同时能绕门体（3，6）上端在XZ面上转动，从而使门体（3,6）能在XY面上沿Z轴方向平移，同时又能绕销（14）转动。2.根据权利要求1所述的扩散炉自动炉门，其特征在于：所述蜗杆螺母与螺母丝杆传动机构是：在炉门上方有一个动力机座（9）固定在炉门固定板（1）上，在该动力机座（9）上安装所述电机（19），电机（19）的输出轴固定连接一根蜗杆（22），该蜗杆（22）与一个螺母丝杆（25）一端的外螺纹啮合，而螺母丝杆（25）的内螺纹与一根丝杆（10）的外螺纹旋配，该丝杆（10）的下端与所述门体启闭与施压密封机构中的一个滑动板（8）固定连接，从而拖动该滑动板（8）上下移动。3.根据权利要求2所述的扩散炉自动炉门，其特征在于：所述门体启闭与施压密封机构是：所述门体启闭与施压密封机构是：所述滑动板（8）上有左右各一个滑槽呈“八”字形排列，左右两扇门体（3,6）的中部各有一个销套装着一小轴承（5），该小轴承（5）分别与两个呈“八”字形排列的滑槽滑配；滑动板（8）的上下移动，则通过小轴承（5）驱动门体（3,6）启闭；在滑动板（8）两侧各有一条滑轨（2,7）固定在炉门固定板（1）上，两条滑轨（2,7）的内侧上下各有一条下端带向内弯钩的滑槽，滑动板（8）两侧有固定的上下两个丝杆推销（15）与所述下端带有内弯钩的滑槽滑配，滑动板（8）移到最上位置时，丝杆推销（15）滑动板（8）对两扇门体（3,6）施压，使门体（3,6）贴紧在固定在炉门固定板（1）上的一个挡圈（4）而实现密封。2CN102767958B说明书1/3页扩散炉自动炉门技术领域[0001]本发明涉及一种扩散炉，尤其涉及一种扩散炉自动炉门，用于硅片加工的扩散炉上，能灵活开闭。背景技术[0002]扩散炉作为半导体制备过程中重要的设备之一，广泛用于集成电路、电力电子、太阳能电池等生产行业；同时扩散炉也是民用、军事材料生产的必不可少的重要设备之一。[0003]扩散炉的炉口处于敞开状态，将导致炉内热量向外扩散，增加扩散炉的热量损失，同时增加了扩散炉的加热功率，而且扩散热量会对室内环境产生热辐射。[0004]由于扩散炉在工作过程中，石英管中必须保证不能有金属等能干涉扩散效果的材料，目前最常用的是用SiC桨输送装有硅片的舟，但是由于SiC的物理性质的影响，桨不能设计的太长，现用的炉门在炉腔轴向占用空间比较大，迫使浆加长，因此需要改进。发明内容[0