一种HIT电池退火设备及退火方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113054052A(43)申请公布日2021.06.29(21)申请号201911366704.X(22)申请日2019.12.26(71)申请人南京华伯新材料有限公司地址210061江苏省南京市高新技术开发区星火北路11号(72)发明人李伯平李渊(74)专利代理机构北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙)11413代理人脱雅静王春伟(51)Int.Cl.H01L31/18(2006.01)H01L31/0747(2012.01)H01L21/67(2006.01)权利要求书2页说明书12页附图1页(54)发明名称一种HIT电池退火设备及退火方法(57)摘要本发明涉及一种HIT电池退火设备及退火方法。设备包括：炉体，炉体的内部形成有容纳腔，容纳腔能够容纳刷有银浆的太阳能电池片；光源，光源与炉体相连接，能够对刷有银浆的太阳能电池片进行照射以进行退火；其中，光源的波长范围在300-750nm之间；排气装置，包括进气口、送气口和排风口；进气口设置于炉体；进气口与送气口相连通，送气口设置于炉体的内部，排风口设置在炉体上，能够排出炉体内的气体。本发明增加300-750nm光谱光源在HIT电池顶部(或底部)照射，该方法有助于硅中及界面层中存在的H+转化为H0，实现强化退火与氢钝化的作用。CN113054052ACN113054052A权利要求书1/2页1.一种HIT电池退火设备，其特征在于，包括：炉体，所述炉体的内部形成有容纳腔，所述容纳腔能够容纳刷有银浆的太阳能电池片；光源，所述光源与所述炉体相连接，能够对所述刷有银浆的太阳能电池片进行照射以进行退火；其中，所述光源的波长范围在300-750nm之间；排气装置，包括进气口、送气口和排风口；所述进气口设置于所述炉体；所述进气口与送气口相连通，所述送气口设置于所述炉体的内部，所述排风口设置在所述炉体上，能够排出所述炉体内的气体。2.根据权利要求1所述的HIT电池退火设备，其特征在于，所述光源选自LED灯、氙灯、钨灯和激光中的至少一种；优选地，所述光源的光强不低于10个标准太阳，1个标准太阳的光强为1000W/h·m2。3.根据权利要求1或2所述的HIT电池退火设备，其特征在于，还包括：加热装置；所述加热装置设置在所述炉体内，能够对所述刷有银浆的太阳能电池片进行加热；优选地，所述加热装置为波长在750nm至4000nm波长范围内的红外光源；更优选地，所述红外光源选自石英红外灯、陶瓷红外灯、LED红外灯中的至少一种。4.根据权利要求1-3任一项所述的HIT电池退火设备，其特征在于，还包括：灯冷却装置，与所述光源对应设置，能够对所述光源进行降温；和/或，还包括：隔热透光板，与所述光源对应设置，能够位于所述光源和所述刷有银浆的太阳能电池片之间。5.根据权利要求1-4任一项所述的HIT电池退火设备，其特征在于，所述炉体在第一方向上设有相对的第一开口和第二开口；所述HIT电池退火设备还包括：传送装置；所述传送装置至少包括传送带，所述传送带沿所述第一方向延伸并穿设在所述第一开口和第二开口中以贯穿所述容纳腔；所述传送带用于承载所述刷有银浆的太阳能电池片，且能够带动所述刷有银浆的太阳能电池片沿第一方向运动，以使所述刷有银浆的太阳能电池片能够由所述第一开口进入所述容纳腔并由所述第二开口离开所述容纳腔。6.根据权利要求5所述的HIT电池退火设备，其特征在于，所述传送带由比热容低于900J/(kg·℃)的材料所制备得到；优选地，所述传送带选自PEEK、PTFE、CTFE、PVDF、PVDC、POM、PA、PS、PE、ABS、PMMA、PVF、尼龙、聚砜、PPO、环氧材料、改性材料、合成材料、陶瓷、碳纤维、钨合金丝中的至少一种。7.一种HIT电池退火方法，其特征在于，包括：采用波长在300-750nm之间的光源照射刷有银浆的太阳能电池片0.1-10min；优选地，所述光源的光强不低于10个标准太阳，1个标准太阳的光强为1000W/h·m2；更优选地，所述光源的光强为50-60个标准太阳，所述光源照射所述刷有银浆的太阳能电池片0.1-2min。8.根据权利要求7所述的HIT电池退火方法，其特征在于，还包括：对所述刷有银浆的太阳能电池片进行固化，所述固化的温度为70-300℃；优选地，固化时采用波长在750nm至4000nm波长范围内的红外光源进行加热。9.根据权利要求7或8所述的HIT电池退火方法，其特征在于，对所述刷有银浆的太阳能2CN113054052A权利要求书2/2页电池片进行固化之前，调整所述刷有银浆的太阳能电池片的温度在70-300℃之间；所述固化分为三个阶段，分别为第一阶段、第二阶段和第三阶段，其中，所述第一阶段的温度低于所述