一种PERC电池的退火方法和退火装置.pdf
玄静****写意
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一种PERC电池的退火方法和退火装置.pdf
本发明涉及一种PERC电池的退火方法和退火装置,所述退火方法包括如下步骤:(1)将含有钝化膜的电池片进行预热处理,得到热处理电池片,所述预热处理中分别在电池片的两面设置第一温区和第二温区,所述第一温区的温度大于第二温区的温度;(2)将步骤(1)得到的所述热处理电池片依次经过光照处理和冷却处理,得到退火电池片。所述退火装置包括沿电池片移动方向依次设置的预热区、光照区和冷却区;所述预热区的上部设置上灯管;所述预热区下部设置下灯管。本发明提供的退火方法和退火装置可以促进硼氧复合体钝化,提升电池片的转化效率和抗L
一种perc电池的扩散退火工艺.pdf
本发明涉及perc电池技术领域,具体地说,涉及一种perc电池的扩散退火工艺。其包括以下步骤:将扩散炉石英管连接三氯氧磷扩散源,升温,通入携带扩散源的氮气和氧气至石英管中进行饱和工作;将硅片插入至石英舟,并将装满硅片的石英舟放置在碳化硅臂浆上,缓缓推入至扩散炉中;通入氧气,将石英管升温,通入氧气和携带扩散源的氮气,进行扩散;扩散结束后,温度持续下降一次退火,退火前加入氧气和足量的携带扩散源的氮气,温度缓缓下降,通入氧气和氮气进行二次退火;该perc电池的扩散退火工艺中,在退火工作时,进行两次退火工作,可保
一种采用in‑site退火的PERC电池的制备方法.pdf
本发明涉及太阳能电池,公开了一种采用in‑site退火的PERC电池的制备方法,包括:1)对硅片进行制绒、扩散、背面刻蚀、抛光、背面沉积氧化铝薄膜;2)in‑site退火+沉积背面氮化硅薄膜:将硅片送入PECVD炉管中,升温至530‑570℃,升温时间为300‑600s,保持300‑900s;降温至500‑530℃,通大氮;在保温条件下,抽空,检漏,再次抽空,充入SiH
一种PERC单晶电池用硅片的退火方法及PERC单晶电池用硅片与应用.pdf
本发明提供了一种PERC单晶电池用硅片的退火方法及PERC单晶电池用硅片与应用,所述退火方法包括以下步骤:(1)第一绝对压力下送入硅片,并通入氮气吹扫;(2)抽真空至第二绝对压力,并通入氮气吹扫;(3)保持第三绝对压力,并通入氮气吹扫;(4)保持第四绝对压力,停止通入氮气,进行检漏;(5)保持第五绝对压力,通入氧气氧化,同时通入氮气吹扫;(6)第六绝对压力下取出硅片,并通入氮气吹扫;其中,步骤(1)至步骤(6)均在660‑700℃的恒温下进行。所述退火方法改善了PERC单晶电池用硅片的亲水性,同时有效去除
一种退火装置及退火方法.pdf
本申请提供了一种退火装置及退火方法,其中退火装置包括:退火炉,设置在所述退火炉内的调节装置,用于调节所述退火炉内部的工作参数,其中,所述工作参数包括温度参数和/或湿度参数。由于退火炉内存在调节装置,能够基于需求调整退火炉内部的工作参数,在退火的各个阶段都能提供合适的工作参数,进而保证了退火效果。