一种条形钛靶材组件的焊接方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113042841A(43)申请公布日2021.06.29(21)申请号202110305765.6(22)申请日2021.03.19(71)申请人武汉江丰电子材料有限公司地址430042湖北省武汉市东西湖区柏泉茅庙集街43号(72)发明人姚力军潘杰王学泽王青松施凯煜(74)专利代理机构北京远智汇知识产权代理有限公司11659代理人王岩(51)Int.Cl.B23K1/00(2006.01)B23K1/008(2006.01)B23K1/20(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图1页(54)发明名称一种条形钛靶材组件的焊接方法(57)摘要本发明涉及一种条形钛靶材组件的焊接方法，所述焊接方法包括：将遮蔽后的背板和条形钛靶材进行加热，将焊料设置于所述加热后背板和条形钛靶材的焊接面并采用钢刷对焊接面进行处理；对所述钢刷处理后靶材的焊接面采用手枪钻钢丝钻头进行处理，之后进行浸润处理；对所述钢刷处理后背板的焊接面进行浸润处理；将所述浸润处理后的靶材和背板进行组装并放置压块，然后进行冷却，得到所述条形钛靶材组件；所述压块设置于靶材的非焊接面，沿着所述靶材的中心线设置7‑8列。通过对焊接前的特定的钢刷处理和浸润处理方式，并在随炉冷却中还设置有压块，使得靶材和背板可以实现良好的结合，保证靶材和背板的结合率高达99％以上。CN113042841ACN113042841A权利要求书1/2页1.一种条形钛靶材组件的焊接方法，其特征在于，所述焊接方法包括：将遮蔽后的背板和条形钛靶材进行加热，将焊料设置于所述加热后背板和条形钛靶材的焊接面并采用钢刷对焊接面进行处理；对所述钢刷处理后靶材的焊接面采用手枪钻钢丝钻头进行处理，之后进行浸润处理；对所述钢刷处理后背板的焊接面进行浸润处理；将所述浸润处理后的靶材和背板进行组装并放置压块，然后进行冷却，得到所述条形钛靶材组件；所述压块设置于靶材的非焊接面，沿着所述靶材的中心线设置7‑8列。2.如权利要求1所述的焊接方法，其特征在于，所述加热的温度为240‑260℃。3.如权利要求1或2所述的焊接方法，其特征在于，所述加热的时间为2.5‑2.8h。4.如权利要求1‑3任一项所述的焊接方法，其特征在于，所述钢刷的不锈钢刷毛长为20‑25mm；优选地，所述钢刷的不锈钢刷毛直径为0.3‑0.35mm。5.如权利要求1‑4任一项所述的焊接方法，其特征在于，所述钢刷对焊接面进行处理的时间为≤60min。6.如权利要求1‑5任一项所述的焊接方法，其特征在于，所述采用手枪钻钢丝钻头进行处理进行2‑3次；优选地，所述采用手枪钻钢丝钻头进行处理的总时间≤60min。7.如权利要求1‑6任一项所述的焊接方法，其特征在于，所述焊料为铟焊料；优选地，所述铟焊料的添加量为2‑3kg。8.如权利要求1‑7任一项所述的焊接方法，其特征在于，所述浸润处理为采用钎焊机对焊接面进行处理；优选地，所述浸润处理的时间为20‑40min。9.如权利要求1‑8任一项所述的焊接方法，其特征在于，所述压块等间距设置；优选地，所述压块设置的为7列时，各列压块的质量比为(2‑3):2:(1‑2):3:2:(1‑2):(2‑3)。10.如权利要求1‑9任一项所述的焊接方法，其特征在于，所述焊接方法包括：将遮蔽后的背板和条形钛靶材进行加热，将焊料设置于所述加热后背板和条形钛靶材的焊接面并采用钢刷对焊接面进行处理；所述加热的温度为240‑260℃；所述加热的时间为2.5‑2.8h；所述钢刷的不锈钢刷毛长为20‑25mm；所述钢刷的不锈钢刷毛直径为0.3‑0.35mm；所述钢刷对焊接面进行处理的时间为≤60min；所述焊料为铟焊料；所述铟焊料的添加量为2‑3kg；对所述钢刷处理后靶材的焊接面采用手枪钻钢丝钻头进行处理，之后进行浸润处理；所述采用手枪钻钢丝钻头进行处理进行2‑3次；所述采用手枪钻钢丝钻头进行处理的总时间≤60min；对所述钢刷处理后背板的焊接面进行浸润处理；所述浸润处理为采用钎焊机对焊接面进行处理20‑40min；将所述浸润处理后的靶材和背板进行组装并放置压块，然后进行冷却，得到所述条形钛靶材组件；所述压块设置于靶材的非焊接面，沿着所述靶材的中心线设置7列；2CN113042841A权利要求书2/2页所述压块等间距设置；各列压块的质量比为(2‑3):2:(1‑2):3:2:(1‑2):(2‑3)。3CN113042841A说明书1/6页一种条形钛靶材组件的焊接方法技术领域[0001]本发明涉及靶材焊接领域，具体涉及一种条形钛靶材组件的焊接方法。背景技术[0002]金属溅射靶材是溅射沉积技术中用做阴极的材料，在溅射机台中被带正电荷的阳离子撞击作用下，金属溅射靶材表面金属以分子、原