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晶体生长设备.pdf
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明钰****甜甜
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相关资料
晶体生长设备及晶体生长设备的使用方法.pdf
本发明提供一种晶体生长设备及晶体生长设备的使用方法，晶体生长设备包括晶体炉以及提拉单元，提拉单元能够在到达晶体炉外与伸入晶体炉之间切换，还包括：举升单元，其包括设于晶体炉内的坩埚台；液压驱动站，其连接举升单元，用于驱动举升单元升降运动；晶体炉内预设有微动区间，坩埚台在提拉单元到达晶体炉外时能够带动坩埚在微动区间中升降运动，及在提拉单元伸入晶体炉时能够带动坩埚在微动区间下方的区域升降运动。
2023-06-15
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本发明提供一种晶体生长设备，包括晶体炉以及提拉单元，提拉单元能够在到达晶体炉外与伸入晶体炉之间切换，晶体生长设备还包括可拆卸连接至晶体炉的密封件；密封件在提拉单元伸入晶体炉时密封连接晶体炉，并与晶体炉密封包围提拉单元，及密封件在提拉单元到达晶体炉外时与晶体炉分离，以允许截断籽晶。
2023-06-15
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本发明涉及一种用于生长晶体的设备(100)。该设备包括腔室(101)和布置在腔室(101)的可加热的容纳空间(103)中的坩埚(102)，其中，坩埚(102)包括构造成用于在内部生长晶体的内部容积(104)。坩埚(102)包括底部(105)，相应的侧壁(106)从该底部延伸到坩埚(102)的顶部部段(107)。坩埚(102)包括至少一个沉积部段(D1至D7)，该沉积部段(D1至D7)构造成用于附着籽晶(108)，其中该沉积部段(D1至D7)形成在坩埚(102)的侧壁(106)与顶部部段(107)中的至少一
2023-06-15
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晶体生长复合称重设备及使用该设备的晶体生长炉.pdf
本发明提供一种称重系统，可以同时满足晶体生长过程中高精度和大量程的需求，为准确掌握晶体质量变化采取恰当的晶体生长控制手段提供可靠保障。在泡生晶体生长炉的籽晶杆上方安装高精度小量程的称重传感器，泡生晶体生长炉的坩埚下端安装低精度大量程的称重传感器。当引晶后晶体开始增长时，重量变化非常小，采用高精度小量程称重传感器可以准确显示每小时晶体质量的微小变化。当晶体重量临近高精度小量程称重传感器的量程范围时，晶体重量增长速度很快，此时关闭该称重传感器同时开启低精度大量程称重传感器，通过大量程的称重传感器，称重传感器通
2023-06-19
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2023-06-15
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