晶体生长设备.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115787101A(43)申请公布日2023.03.14(21)申请号202211442769.X(22)申请日2022.11.18(71)申请人浙江晶盛机电股份有限公司地址312300浙江省绍兴市上虞区通江西路218号(72)发明人曹建伟朱亮欧阳鹏根叶钢飞蒲涛(74)专利代理机构杭州华进联浙知识产权代理有限公司33250专利代理师蒋豹(51)Int.Cl.C30B35/00(2006.01)C30B29/20(2006.01)权利要求书2页说明书10页附图7页(54)发明名称晶体生长设备(57)摘要本发明提供一种晶体生长设备，包括晶体炉以及提拉单元，提拉单元能够在到达晶体炉外与伸入晶体炉之间切换，晶体生长设备还包括可拆卸连接至晶体炉的密封件；密封件在提拉单元伸入晶体炉时密封连接晶体炉，并与晶体炉密封包围提拉单元，及密封件在提拉单元到达晶体炉外时与晶体炉分离，以允许截断籽晶。CN115787101ACN115787101A权利要求书1/2页1.一种晶体生长设备，包括晶体炉(10)以及提拉单元(20)，所述提拉单元(20)能够在到达所述晶体炉(10)外与伸入所述晶体炉(10)之间切换，其特征在于，所述晶体生长设备还包括可拆卸连接至所述晶体炉(10)的密封件(30)；所述密封件(30)在所述提拉单元(20)伸入所述晶体炉(10)时密封连接所述晶体炉(10)，并与所述晶体炉(10)密封包围所述提拉单元(20)，及所述密封件(30)在所述提拉单元(20)到达所述晶体炉(10)外时与所述晶体炉(10)分离，以允许截断籽晶(210)。2.根据权利要求1所述的晶体生长设备，其特征在于，所述密封件(30)包括密封对接部，所述晶体生长设备还包括压力锁紧单元(40)，所述压力锁紧单元(40)具有锁固状态以及释放状态；所述压力锁紧单元(40)在锁固状态时抵持固定所述密封对接部于所述晶体炉(10)，以使所述密封件(30)与所述晶体炉(10)形成固定密封配合，及在释放状态时脱离所述密封对接部以允许所述密封件(30)脱离所述晶体炉(10)。3.根据权利要求2所述的晶体生长设备，其特征在于，所述密封件(30)还包括中空管筒(31)，所述密封对接部连接于所述中空管筒(31)的端部，且沿所述中空管筒(31)的端部开口边缘连续延伸形成中空闭环结构，其中：所述密封对接部相对凸出于所述中空管筒(31)的外周壁；及/或，所述晶体炉(10)开设有供所述提拉单元(20)伸入和伸出所述晶体炉(10)的提拉开口(111)，所述提拉开口(111)的边缘与所述密封对接部形成可拆卸嵌合，并且具有相适配的锥度。4.根据权利要求2所述的晶体生长设备，其特征在于，所述压力锁紧单元(40)包括自锁连杆组件(41)以及锁紧驱动组件(42)，所述自锁连杆组件(41)包括安装于所述晶体炉(10)的座体(411)、转动连接于所述座体(411)的压杆(412)以及转动连接于所述座体(411)的摇杆(413)，所述摇杆(413)与所述压杆(412)活动连接，并且与所述锁紧驱动组件(42)连接；所述锁紧驱动组件(42)包括安装于所述晶体炉(10)的锁紧动力源、连接所述锁紧动力源的凸轮(422)以及连接所述摇杆(413)的传动杆(423)，所述传动杆(423)与所述凸轮(422)的轮缘滑动连接。5.根据权利要求1所述的晶体生长设备，其特征在于，所述晶体生长设备还包括升降单元(50)，所述升降单元(50)被配置为能够相对所述晶体炉(10)升降活动，所述提拉单元(20)与所述密封件(30)连接于所述升降单元(50)；所述密封件(30)具有连通自身两端的贯通腔，所述密封件(30)的一端与所述升降单元(50)固定连接形成密封配合，另一端与所述晶体炉(10)可拆卸连接，所述提拉单元(20)伸出所述晶体炉(10)的部分位于所述贯通腔内。6.根据权利要求5所述的晶体生长设备，其特征在于，所述密封件(30)包括用于形成所述贯通腔的波纹管，还包括连接于所述波纹管两端的第一密封对接部(321)与第二密封对接部(322)，所述波纹管具有沿自身轴向伸缩的形变自由度，所述第一密封对接部(321)与所述升降单元(50)固定连接形成密封配合，所述第二密封对接部(322)与所述晶体炉(10)可拆卸连接。7.根据权利要求1所述的晶体生长设备，其特征在于，所述晶体生长设备还包括气流生成单元(60)以及气流输送单元(70)，所述气流输送单元(70)连接且连通所述气流生成单元(60)，并且在相对远离所述气流生成单元(60)的末端形成气流开口；2CN115787101A权利要求书2/2页所述晶体炉(10)开设有供所述提拉单元(20)伸入和伸出所述晶体炉(10)的提拉开口(111)，