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晶体生长设备及晶体生长设备的使用方法.pdf
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晶体生长设备及晶体生长设备的使用方法.pdf
本发明提供一种晶体生长设备及晶体生长设备的使用方法，晶体生长设备包括晶体炉以及提拉单元，提拉单元能够在到达晶体炉外与伸入晶体炉之间切换，还包括：举升单元，其包括设于晶体炉内的坩埚台；液压驱动站，其连接举升单元，用于驱动举升单元升降运动；晶体炉内预设有微动区间，坩埚台在提拉单元到达晶体炉外时能够带动坩埚在微动区间中升降运动，及在提拉单元伸入晶体炉时能够带动坩埚在微动区间下方的区域升降运动。
2023-06-15
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2023-06-19
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2023-06-15
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