一种镍铁铜钼合金靶材的制备方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113265627A(43)申请公布日2021.08.17(21)申请号202110447431.2(22)申请日2021.04.25(71)申请人先导薄膜材料（广东）有限公司地址511517广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区(72)发明人张俊飞蔡新志童培云朱刘冉成义(74)专利代理机构广州三环专利商标代理有限公司44202代理人颜希文(51)Int.Cl.C23C14/34(2006.01)C22C1/03(2006.01)C22C19/03(2006.01)B22D7/06(2006.01)权利要求书1页说明书8页附图1页(54)发明名称一种镍铁铜钼合金靶材的制备方法(57)摘要本发明公开了一种镍铁铜钼合金靶材的制备方法。所述镍铁铜钼合金靶材的制备方法包括如下步骤：(1)将Mo原料和原料Ni加入熔炼炉中，在真空环境下进行悬浮熔炼，冷却后得到合金锭A；(2)将原料Fe和原料Cu添加入步骤(1)含有合金锭A熔炼炉中，在真空环境下继续熔炼处理，冷却后得到合金锭B；(3)将合金锭B在真空环境下精炼三次，进行第三次精炼后将合金锭B的熔体进行浇铸得到铸锭；(4)将步骤(3)得到的铸锭进行轧制处理，得到所述镍铁铜钼合金靶材。本发明先熔炼镍钼合金，再加入原料Fe和Cu再次熔炼，然后结合三次均质精炼，较大程度保证所述镍铁铜钼合金靶材组分的均匀性，使所述靶材具有高电阻率，高相对密度和高透磁率的性能。CN113265627ACN113265627A权利要求书1/1页1.一种镍铁铜钼合金靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)将原料Mo和原料Ni加入熔炼炉中，在真空环境下进行悬浮熔炼，冷却后得到合金锭A；(2)将原料Fe和原料Cu添加入步骤(1)含有合金锭A熔炼炉中，在真空环境下继续熔炼处理，冷却后得到合金锭B；(3)将合金锭B在真空环境下精炼三次，进行第三次精炼后将合金锭B的熔体进行浇铸得到铸锭；(4)将步骤(3)得到的铸锭进行轧制处理，得到所述镍铁铜钼合金靶材。2.如权利要求1所述镍铁铜钼合金靶材的制备方法，其特征在于，所述原料Mo、原料Ni、原料Fe和原料Cu的重量比为Mo：Ni：Fe：Cu＝5.9～6.9：74.8～75.8：12.5～13.5：4.8～5.8。3.如权利要求1所述镍铁铜钼合金靶材的制备方法，其特征在于，所述真空环境具体为：将熔炼炉抽真空后，充入保护气洗炉，再次抽真空后充入保护气；所述抽真空的气压为2.0×10‑2Pa；所述充入保护气的气压为0.06‑0.12MPa。4.如权利要求1所述镍铁铜钼合金靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中，悬浮熔炼的温度为1500‑1550℃，时间为7‑14min。5.如权利要求1所述镍铁铜钼合金靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)中，熔炼的温度为1450‑1550℃，时间为4‑8min。6.如权利要求5所述镍铁铜钼合金靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤(3)中，合金锭B精炼的温度为1450‑1500℃，时间为3‑5min。7.如权利要求1所述镍铁铜钼合金靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤(3)中，将合金熔体置于水冷碳钢模具中浇铸，同时使用10℃的冷却水，使合金熔体自下而上冷却，得到铸锭。8.如权利要求1所述镍铁铜钼合金靶材的制备方法，其特征在于，将步骤(3)得到的铸锭加热后，进行第一阶段轧制，然后进行第二阶段轧制。9.如权利要求8所述镍铁铜钼合金靶材的制备方法，其特征在于，所述第一阶段对加热后的铸锭进行多道次轧制，第一阶段轧制结束后铸锭的变形量为总变形量的20％，其中，每道次轧制变形量为总变形量的5‑10％，每轧制2道次后将轧制后的铸锭重新加热处理；所述第二阶段对第一阶段轧制后的铸锭进行多道次轧制，第二阶段轧制结束后铸锭的变形量为总变形量的80％，其中，每道次轧制变形量为总变形量的10‑20％，每轧制2道次后将轧制后的铸锭重新加热处理。10.如权利要求9所述镍铁铜钼合金靶材的制备方法，其特征在于，所述铸锭加热温度为950‑1000℃，时间为0.5‑1h；所述重新加热的温度为950‑1000℃，时间为5‑10min。2CN113265627A说明书1/8页一种镍铁铜钼合金靶材的制备方法技术领域[0001]本发明属于靶材制备技术领域，具体涉及一种镍铁铜钼合金靶材的制备方法。背景技术[0002]近年来随着电子设备、器件微型化以及节能要求的不断提高，开发高响应、高效率密度和低损耗的软磁材料的需求日益增加。而软磁合金材料由于电阻率偏小，限制了其在较高频率条件下的应用。而镍铁铜钼靶材由于其高电阻率、高饱和磁感应强度、高磁导率及低矫顽力特性可广泛应用于电感器、高灵敏度传感器以及写磁头材料。[00