非球面氮气退火炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113284824A(43)申请公布日2021.08.20(21)申请号202110526450.4(22)申请日2021.05.14(71)申请人襄阳市赛龙机械有限公司地址441000湖北省襄阳市团山镇陆寨村八组74号(72)发明人陈宜隆(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)权利要求书2页说明书4页附图3页(54)发明名称非球面氮气退火炉(57)摘要本发明公开了非球面氮气退火炉，包括退火炉主体，退火炉主体包括有炉体，炉体内设有内炉腔，内炉腔安装有若干加热组件，若干加热组件均匀的布置在内炉腔上，炉体顶部设有密封槽，密封槽内安装有密封圈，密封圈顶部连接有炉盖，炉盖底部连接有退火架，退火架安装有若干放置板，炉盖安装有气体检测器，炉盖连接有氮气出气管，氮气出气管内安装有电磁阀，氮气出气管的另一侧连接有废气回收箱，废气回收箱底部连接有安装套，安装套安装在炉盖顶部，安装套内安装有伺服电机，伺服电机的动力输出端连接有旋转杆，旋转杆贯穿炉盖并延伸至其底部，旋转杆底部连接有风扇，炉体底部连接有安装座，安装座底部四个角落连接有站脚。CN113284824ACN113284824A权利要求书1/2页1.非球面氮气退火炉，包括退火炉主体(1)，其特征在于：所述退火炉主体(1)包括有炉体(2)，所述炉体(2)内设有内炉腔(3)，所述炉体(2)与内炉腔(3)之间设有隔热套(4)，所述内炉腔(3)安装有若干加热组件(5)，若干所述加热组件(5)均匀的布置在内炉腔(3)上，所述炉体(2)顶部设有密封槽，所述密封槽内安装有密封圈(6)，所述密封圈(6)顶部连接有炉盖(7)，所述炉盖(7)底部连接有退火架(8)，所述退火架(8)安装有若干放置板(9)，所述炉盖(7)底部一侧安装有气体检测器(10)，所述炉盖(7)的一侧连接有氮气出气管(11)，所述氮气出气管(11)内安装有电磁阀(12)，所述氮气出气管(11)的另一侧连接有废气回收箱(13)，所述废气回收箱(13)底部连接有安装套(14)，所述安装套(14)安装在炉盖(7)顶部，所述安装套(14)内安装有伺服电机(15)，所述伺服电机(15)的动力输出端连接有旋转杆(16)，所述旋转杆(16)贯穿炉盖(7)并延伸至其底部，所述旋转杆(16)底部连接有风扇(17)，所述炉体(2)底部连接有安装座(18)，所述安装座(18)底部四个角落连接有站脚(19)，四个所述站脚(19)之间固定连接有承板(20)，所述承板(20)表面安装有氮气储存箱(21)，所述氮气储存箱(21)的一侧连接有加气管(22)，所述氮气储存箱(21)顶部连接有出气管(23)，所述出气管(23)连接有气泵(24)，所述气泵(24)安装在安装座(18)底部，所述出气管(23)的另一侧依次贯穿安装座(18)、炉体(2)、隔热套(4)和内炉腔(3)并连接有出气盘(25)，所述出气盘(25)安装在内炉腔(3)的底部，所述出气盘(25)连接有若干喷头(26)，所述安装座(18)表面连接有立柱(27)，所述立柱(27)顶部连接有顶板(28)，所述顶板(28)设有通槽(29)，所述顶板(28)底部连接有液压气缸(30)，所述液压气缸(30)的动力输出端与炉盖(7)相连接。2.根据权利要求1所述的非球面氮气退火炉，其特征在于：所述炉体(2)表面连接有T型柱(31)，所述T型柱(31)的两侧设有倾斜面(32)，所述炉盖(7)在对应T型柱(31)处设有凹槽(33)，所述凹槽(33)的两侧设有安装槽(34)，所述安装槽(34)内安装有压缩弹簧(35)，所述压缩弹簧(35)的自由端连接有限位板(36)，所述限位板(36)安装在安装槽(34)内，所述限位板(36)连接有限位卡块(37)，所述限位卡块(37)设有与倾斜面(32)相匹配的斜面(38)。3.根据权利要求2所述的非球面氮气退火炉，其特征在于：所述T型柱(31)顶部设有镶嵌槽，所述镶嵌槽内安装有负极磁铁(39)，所述负极磁铁(39)连接有正极磁铁(40)，所述正极磁铁(40)安装在凹槽(33)顶部。4.根据权利要求3所述的非球面氮气退火炉，其特征在于：所述炉盖(7)两侧焊接有导向板(41)，所述导向板(41)设有导向孔，所述导向孔内安装有导柱(42)，所述导柱(42)安装在顶板(28)与安装座(18)之间。5.根据权利要求4所述的非球面氮气退火炉，其特征在于：所述出气管(23)连接有流量调节阀(43)。6.根据权利要求5所述的非球面氮气退火炉，其特征在于：所述站脚(19)与承板(20)连接处设有三角形加强筋(44)。7.根据权利要求6所述的非球面氮气退火炉，其特征在于：所述站脚(19)底部连接有橡胶脚垫(45)，所述橡