一种PERC电池的氧化铝钝化膜及其沉积方法和应用.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113322451A(43)申请公布日2021.08.31(21)申请号202110595003.4(22)申请日2021.05.28(71)申请人横店集团东磁股份有限公司地址322118浙江省金华市东阳市横店镇工业区(72)发明人张磊何悦王在发任勇孙龙华(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司11332代理人巩克栋(51)Int.Cl.C23C16/511(2006.01)C23C16/40(2006.01)H01L31/0216(2014.01)权利要求书1页说明书5页(54)发明名称一种PERC电池的氧化铝钝化膜及其沉积方法和应用(57)摘要本发明提供了一种PERC电池的氧化铝钝化膜及其沉积方法和应用。所述沉积方法包括：(1)氧化铝钝化膜沉积前进行预处理，所述预处理包括：升温后通入笑气及三甲基铝，并恒定压力；(2)在微波条件下，继续通入笑气及三甲基铝进行氧化铝钝化膜的沉积，得到镀有氧化铝钝化膜的硅片。本发明通过在沉积氧化铝钝化膜之前，同时通入笑气(一氧化二氮)和三甲基铝(TMA)进行恒压稳定，这样可以保证炉尾有足够多的反应气体，这样可以提高沉积得到的氧化铝钝化膜的均匀性，同时减轻了EL两侧发暗的程度，进而提升了电池的效率。CN113322451ACN113322451A权利要求书1/1页1.一种PERC电池的氧化铝钝化膜的沉积方法，其特征在于，所述沉积方法包括：(1)氧化铝钝化膜沉积前进行预处理，所述预处理包括：升温后通入笑气及三甲基铝，并恒定压力；(2)在微波条件下，继续通入笑气及三甲基铝进行氧化铝钝化膜的沉积，得到镀有氧化铝钝化膜的硅片。2.根据权利要求1所述的PERC电池的氧化铝钝化膜的沉积方法，其特征在于，步骤(1)所述升温的温度为280～380℃。3.根据权利要求1或2所述的PERC电池的氧化铝钝化膜的沉积方法，其特征在于，步骤(1)所述笑气的通入流量小于8000sccm。4.根据权利要求1‑3任一项所述的PERC电池的氧化铝钝化膜的沉积方法，其特征在于，步骤(1)所述三甲基铝的通入流量小于120g/h。5.根据权利要求1‑4任一项所述的PERC电池的氧化铝钝化膜的沉积方法，其特征在于，步骤(1)所述通入笑气及三甲基铝和恒定压力的时间总和小于等于50s。6.根据权利要求5所述的PERC电池的氧化铝钝化膜的沉积方法，其特征在于，步骤(1)所述通入笑气及三甲基铝和恒定压力的时间总和为15～35s。7.根据权利要求1‑6任一项所述的PERC电池的氧化铝钝化膜的沉积方法，其特征在于，步骤(1)所述恒定压力中的压力为800～1500mt。8.根据权利要求1‑7任一项所述的PERC电池的氧化铝钝化膜的沉积方法，其特征在于，所述沉积方法包括：(1)氧化铝钝化膜沉积前进行预处理，所述预处理包括：将炉管升温至280～380℃，然后将笑气及三甲基铝同步通入，恒定压力800～1500mt，预通入和恒压的时间总和为15～35s，其中，笑气的预通入流量小于8000sccm，三甲基铝的预通入流量小于120g/h；(2)在微波条件下，继续通入笑气及三甲基铝进行氧化铝钝化膜的沉积，得到镀有氧化铝钝化膜的硅片。9.一种采用如权利要求1‑8任一项所述的PERC电池的氧化铝钝化膜的沉积方法制备得到的PERC电池的氧化铝钝化膜。10.一种PERC电池，其特征在于，所述PERC电池包括如权利要求9所述的PERC电池的氧化铝钝化膜。2CN113322451A说明书1/5页一种PERC电池的氧化铝钝化膜及其沉积方法和应用技术领域[0001]本发明属于晶体硅太阳能电池的技术领域，涉及一种PERC电池的氧化铝钝化膜及其沉积方法和应用。背景技术[0002]随着PERC电池大规模量产，背钝化管式二合一路线逐渐成为行业主流，2020至2021年3月量产的大尺寸电池公司，全部选择二合一路线。二合一即PECVD方式沉积AlOx和氮化硅，此种方式沉积的AlOx致密性相对ALD方式有一定劣势，作为钝化效果的补偿，PECVD沉积AlOx膜厚相对会厚8～10nm左右，均匀性差，以整舟40点计算，单管膜厚均匀性15～20％。氧化铝偏厚部分绕镀到正面，与栅线处接触异常，导致EL局部发暗，量产占比4.5％。分析原因：一般镀AlOx前腔体需要有稳定的压力，恒压步会通入定量笑气，但二合一炉管管径太大，恒压完后炉管内笑气过量，镀AlOx时通入TMA并开启射频电源，由于反应时间短，大量TMA已经在炉口炉中反应完成，造成炉尾TMA不足生长的AlOx偏薄，整舟AlOx的膜厚均匀性差，氧化铝厚度和均匀性对PERC电池EL影响极大。[0003]CN111969079A公开了可改善EL弧形黑斑的PERC电池的镀膜方法及P