一种扩散炉顶部集热冷却排风装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113375469A(43)申请公布日2021.09.10(21)申请号202110801045.9(22)申请日2021.07.15(71)申请人青岛赛瑞达电子科技有限公司地址266000山东省青岛市高新区华东路826号(72)发明人宋立禄张海林滕玉朋(74)专利代理机构青岛晸投知识产权代理事务所(普通合伙)37353代理人李常芳(51)Int.Cl.F27D9/00(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图3页(54)发明名称一种扩散炉顶部集热冷却排风装置(57)摘要本发明公开了一种扩散炉顶部集热冷却排风装置，包括架体，所述架体侧面外部设置有护板封闭，所述架体内部上下分布有多个工位的加热器，所述架体的顶部设置有一组翅片双冷凝器组，所述翅片双冷凝器组安装在冷凝器安装板上，所述冷凝器安装板承托着所述翅片双冷凝器组，翅片双冷凝器组的上部平面靠紧机架顶板。本发明的有益效果是，本发明一种扩散炉顶部集熱冷却排风装置，规划了架体内部空间的进风和循环通道和经过冷凝器冷却后再排出热风的方式，解决了设备内部温度过高的所有问题。CN113375469ACN113375469A权利要求书1/1页1.一种扩散炉顶部集热冷却排风装置，其特征在于，包括架体(1)，所述架体(1)侧面外部设置有护板(2)封闭，所述架体(1)内部上下分布有多个工位的加热器(4)，所述架体(1)的顶部设置有一组翅片双冷凝器组(5)，所述翅片双冷凝器组(5)安装在冷凝器安装板上，所述冷凝器安装板承托着所述翅片双冷凝器组(5)，翅片双冷凝器组(5)的上部平面靠紧机架顶板。2.根据权利要求1所述的一种扩散炉顶部集热冷却排风装置，其特征在于，所述架体(1)的底层侧面的护板(2)上设置有进风口(3)，所述架体(1)的顶层设置有若干风机(6)。3.根据权利要求2所述的一种扩散炉顶部集热冷却排风装置，其特征在于，所述冷凝器安装板包括上安装板(7)和下安装板(8)，所述上安装板(7)固定在机架顶板上，所述下安装板(8)通过连接螺栓(9)和上安装板(7)连接在一起。4.根据权利要求3所述的一种扩散炉顶部集热冷却排风装置，其特征在于，相邻的所述连接螺栓(9)之间设置有抽风导流通道(10)，所述抽风导流通道(10)的一侧固定着翅片双冷凝器组(5)，所述翅片双冷凝器组(5)之间设置有冷却抽风腔(11)。5.根据权利要求4所述的一种扩散炉顶部集热冷却排风装置，其特征在于，所述风机(6)位于所述冷却抽风腔(11)的上方位置。6.根据权利要求1所述的一种扩散炉顶部集热冷却排风装置，其特征在于，所述翅片冷凝器形状为一个长方形状，长度方向由数百片薄翅片穿套在冷却铜管上相隔涨紧，相邻的2片翅片有3‑6mm间隙。2CN113375469A说明书1/2页一种扩散炉顶部集热冷却排风装置技术领域[0001]本发明涉及半导体和光伏领域扩散炉、氧化炉等管式设备领域，特别是一种扩散炉顶部集热冷却排风装置。背景技术[0002]传统方式为，设备顶部没有冷却功能，只做了几个轴流风机的布置，将热量排出，对于厂房排风系统造成不利影响；或者虽然设置了冷凝器，本意是需要将热风冷却后排出，但是没有对冷却通道进行合理规划，没有对通道外进行封闭，造成热风随意走动，大部分热风没有经过冷凝器冷却就进入了风机而排出，没有起到应有的作用。发明内容[0003]本发明的目的是为了解决上述问题，设计了一种扩散炉顶部集热冷却排风装置。[0004]实现上述目的本发明的技术方案为，一种扩散炉顶部集热冷却排风装置，包括架体，所述架体侧面外部设置有护板封闭，所述架体内部上下分布有多个工位的加热器，所述架体的顶部设置有一组翅片双冷凝器组，所述翅片双冷凝器组安装在冷凝器安装板上，所述冷凝器安装板承托着所述翅片双冷凝器组，翅片双冷凝器组的上部平面靠紧机架顶板。[0005]作为对本发明的进一步说明，所述架体的底层侧面的护板上设置有进风口，所述架体的顶层设置有若干风机。[0006]作为对本发明的进一步说明，所述冷凝器安装板包括上安装板和下安装板，所述上安装板固定在机架顶板上，所述下安装板通过连接螺栓和上安装板连接在一起。[0007]作为对本发明的进一步说明，相邻的所述连接螺栓之间设置有抽风导流通道，所述抽风导流通道的一侧固定着翅片双冷凝器组，所述翅片双冷凝器组之间设置有冷却抽风腔。[0008]作为对本发明的进一步说明，所述风机位于所述冷却抽风腔的上方位置。[0009]作为对本发明的进一步说明，所述翅片冷凝器形状为一个长方形状，长度方向由数百片薄翅片穿套在冷却铜管上相隔涨紧，相邻的2片翅片有3‑6mm间隙。[0010]其有益效果在于，热风必须通过顶部两侧从翅片双冷凝器组的翅片间空隙与翅片双冷凝器组所