

一种单晶硅生长炉炉盖精密成型装置.pdf
静芙****可爱
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相关资料
一种单晶硅生长炉炉盖精密成型装置.pdf
本发明公开了一种单晶硅生长炉炉盖精密成型装置,包括锻压机、传送带、转运器、脱模剂喷洒器和中央控制器,两条所述传送带分别设置在锻压机的前后两侧,所述转运器设置在锻压机的一侧并将炉盖原材料或炉盖成品在锻压机和传送带之间转送,所述脱模剂喷洒器包括喷枪、液管、液箱和液泵,所述喷枪通过液管与储存有脱模剂的液箱相连接且管路上安装有液泵,若干个所述喷枪分别固定在锻压机之中且朝向锻压机的冲压板和模具喷洒脱模剂,所述锻压机、传送带、转运器和脱模剂喷洒器分别与中央控制器电连接,能够避免传送电机从输出轴处接收热量升温而导致使用
能够在炉盖和炉筒内生长大直径单晶硅锭的生长炉.pdf
本发明提供能够在炉盖和炉筒内生长大直径单晶硅锭的生长炉,炉盖的高度为730mm,将上炉筒、隔离阀、炉盖和炉筒水冷法兰连接在一起,一体升降,行程为800mm;使用该新的长晶方式,生长大直径Φ450mm单晶硅锭,也可以采用传统长晶方式,生长直径不大于8英寸的传统单晶硅棒。且成本费用相差不大。
一种单晶硅生长炉一炉多次掺杂装置.pdf
本发明是关于单晶硅生长炉领域,特别涉及一种单晶硅生长炉一炉多次掺杂装置。包括掺杂筒;掺杂机构包括外筒,外筒内壁为N边形,其中N‑1条边每条边上设有一轴座,每个轴座上设有心轴;掺杂筒底部筒壁上设有一偏心孔,心轴装设于偏心孔内;外筒内顶部设有封盖,转轴手柄通过轴承与密封圈与封盖相连,封盖上设有若干止动孔,止动孔的位置与掺杂筒相对应;转轴手柄下端穿过封盖与挡板固连,上端与定位止动销相连,止动销底端插入其中一个定位孔内,挡板上设有缺口。本发明采用多次掺杂技术,保证掺杂元素均匀分布在晶棒里,提高晶棒的品质,提高收益
一种用于单晶硅生长炉的热屏及单晶硅生长炉.pdf
本发明公开了一种单晶硅生长炉热屏及单晶硅生长炉,所述热屏设置在所述单晶硅生长炉的熔体坩埚的上部,所述热屏包括屏壁和屏底,所述屏底具有供熔体提拉通过的窗口,所述屏底包括上层、下层和侧壁,所述侧壁连接与所述上层和所述下层之间且围成所述窗口,所述下层朝向所述熔体的液面,所述下层设为齿状结构,用于将外部热能反射到所述熔体液面时不会继续反射到单晶硅晶体侧壁;通过将屏底的下层设置为齿状结构,可以避免外部热能量被单晶硅晶体吸收,从而避免晶体表面热补偿过高,有效优化晶体纵向温度梯度,提高硅片径向的质量均匀性。
一种用于单晶硅生长炉的薄膜隔热片及单晶硅生长炉.pdf
本发明提供一种用于单晶硅生长炉的薄膜隔热片,包括第一折射层和第二折射层,所述第一折射层的折射率与所述第二折射层的折射率不同,所述第一折射层和所述第二折射层相互交替形成层叠结构,所述第一折射层和与之相邻设置的第二折射层相贴合;在此基础上,本发明还提供一种单晶硅生长炉,所述薄膜隔热片设置在所述单晶硅生长炉中的热屏上;本发明提供一种用于单晶硅生长炉的薄膜隔热片,在热辐射波长范围内具有良好的反射性能,当将其设置在热屏上以应用于单晶硅生长炉中时,能够提高热屏对热能的反射能力,降低熔融的硅熔体热量的耗散,提高热能利用