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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113652736A(43)申请公布日2021.11.16(21)申请号202110928787.8(22)申请日2021.08.13(71)申请人普世通(北京)电气有限公司地址100176北京市大兴区北京经济技术开发区西环南路18号B座212室(72)发明人渠学景陈伟张建绮李建丁小刚黄新宇(74)专利代理机构北京华创智道知识产权代理事务所(普通合伙)11888代理人彭随丽(51)Int.Cl.C30B15/00(2006.01)C30B29/06(2006.01)C30B15/20(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图1页(54)发明名称单晶炉冷却系统(57)摘要本发明涉及一种单晶炉冷却系统,包括:单晶炉(1)、设置在所述单晶炉(1)内部用于对形成的单晶硅硅棒进行冷却的内冷却循环单元(2)以及设置在所述单晶炉(1)外部与所述内冷却循环单元(2)连通用于为所述内冷却循环单元(2)提供冷却介质的外冷却循环单元(3);所述内冷却循环单元(2)包括冷却结构(201)和与所述冷却结构(201)和所述外冷却循环单元(3)分别连通的循环管路(202);所述冷却结构(201)环绕所述单晶炉(1)内形成的单晶硅硅棒设置,所述冷却结构(201)由多个可独立控制冷却介质流量以及内部压力的冷却屏(2011)拼合组成。多屏应用目的是可分别控制冷却屏内冷却介质的流量和系统压力,从而控制相变温度。CN113652736ACN113652736A权利要求书1/1页1.一种单晶炉冷却系统,其特征在于,包括:单晶炉(1)、设置在所述单晶炉(1)内部用于对形成的单晶硅硅棒进行冷却的内冷却循环单元(2)以及设置在所述单晶炉(1)外部与所述内冷却循环单元(2)连通用于为所述内冷却循环单元(2)提供冷却介质的外冷却循环单元(3);所述内冷却循环单元(2)包括冷却结构(201)和与所述冷却结构(201)和所述外冷却循环单元(3)分别连通的循环管路(202);所述冷却结构(201)环绕所述单晶炉(1)内形成的单晶硅硅棒设置,所述冷却结构(201)由多个可独立控制冷却介质流量以及内部压力的冷却屏(2011)拼合组成。2.根据权利要求1所述的单晶炉冷却系统,其特征在于,由多个冷却屏(2011)拼合组成的所述冷却结构(201)呈倒锥形布置。3.根据权利要求1所述的单晶炉冷却系统,其特征在于,还包括设置在所述单晶炉(1)内用于产出单晶硅硅棒的单晶硅硅棒生成单元(4)。4.根据权利要求1所述的单晶炉冷却系统,其特征在于,所述单晶硅硅棒生成单元(4)包括支承在所述单晶炉(1)内部的支承结构(401),支承在所述支承结构(401)上用于融化单晶硅原材料的石墨坩埚(402)以及伸入所述石墨坩埚(402)中牵引拉伸形成单晶硅硅棒的单晶硅拉伸结构(403)。5.根据权利要求1所述的单晶炉冷却系统,其特征在于,所述单晶硅拉伸结构(403)包括固定在所述单晶炉(1)内部远离所述支承结构(401)一端的牵引器(4031)以及与所述牵引器(4031)连接并且伸入所述石墨坩埚(402)中的结晶杆(4032),所述牵引器(4031)驱动所述结晶杆(4032)在所述冷却结构(201)的轴心部往复移动。6.根据权利要求1所述的单晶炉冷却系统,其特征在于,所述循环管路(202)包括通入冷却介质的冷却介质进入管路(2021)和排出冷却介质的冷却介质流出管路(2022)。7.根据权利要求1所述的单晶炉冷却系统,其特征在于,所述冷却介质进入管路(2021)包括多根与各所述冷却屏(2011)连接的冷却介质进入支管(2021a)和与各所述冷却介质进入支管(2021a)连接的冷却介质进入主管(2021b);所述冷却介质流出管路(2022)包括多根与各所述冷却屏(2011)连接的冷却介质流出支管(2022a)和与各所述冷却介质流出支管(2022a)连接的冷却介质流出主管(2022b)。8.根据权利要求1所述的单晶炉冷却系统,其特征在于,各所述冷却介质进入支管(2021a)上设有控制进入各所述冷却屏(2011)内冷却介质流量的控制阀。9.根据权利要求1所述的单晶炉冷却系统,其特征在于,所述外冷却循环单元(3)包括外冷却装置(301)、外冷介质循环泵(302)和多个冷凝器(303);多个所述冷凝器(303)均与所述冷却介质进入主管(2021b)和所述冷却介质流出主管(2022b)连接,并且通过外冷循环水回水管(304)与所述外冷介质循环泵(302)和所述外冷却装置(301)依次连接,同时多个所述冷凝器(303)通过外冷循环水出水管(305)与所述外冷却装置(301)直接连接。10.根据权利要求1所述的单晶炉冷却系统,其特征在于,所述外冷却装置