一种单晶炉出料冷却系统.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN105568367A(43)申请公布日2016.05.11(21)申请号201610151795.5(22)申请日2016.03.16(71)申请人江苏华盛天龙光电设备股份有限公司地址213200江苏省常州市金坛区金坛经济开发区华城路318号(72)发明人潘清跃王平(51)Int.Cl.C30B15/00(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称一种单晶炉出料冷却系统(57)摘要本发明专利涉及一种单晶炉出料冷却系统，包括底座、输送框架、滚轮组件、驱动机构、导流板和喷雾冷却装置，所述的输送框架设置在底座上，所述的滚轮组件安装在输送框架内，所述的输送框架内安装有5个或5个以上的滚轮组件，所述的驱动机构安装在输送框架的一侧，所述的驱动机构分别与5个或5个以上的滚轮组件相连，所述的导流板设置有两块，所述的两块导流板呈相对倾斜放置，所述的两块导流板分别连接在输送框架的两侧壁上，所述的滚轮组件位于两块导流板的下方，所述的输送框架的两侧都设置有喷雾冷却装置，所述的喷雾冷却装置安装在底座上。本设计具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。CN105568367ACN105568367A权利要求书1/1页1.一种单晶炉出料冷却系统，其特征在于：包括底座(1)，输送框架(2)，所述的输送框架(2)设置在底座(1)上，滚轮组件，所述的滚轮组件安装在输送框架(2)内，所述的输送框架(2)内安装有5个或5个以上的滚轮组件，驱动机构，所述的驱动机构安装在输送框架(2)的一侧，所述的驱动机构分别与5个或5个以上的滚轮组件相连，导流板(6)，所述的导流板(6)设置有两块，所述的两块导流板(6)呈相对倾斜放置，所述的两块导流板(6)分别连接在输送框架(2)的两侧壁上，所述的滚轮组件位于两块导流板(6)的下方，喷雾冷却装置，所述的输送框架(2)的两侧都设置有喷雾冷却装置，所述的喷雾冷却装置安装在底座(1)上。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉出料冷却系统，其特征在于：所述的喷雾冷却装置包括两项流喷嘴(7)、空压机(16)和水箱(17)，所述的两项流喷嘴(7)的一侧壁上开设有出雾口，所述两项流喷嘴(7)的另一侧壁上开设有进气口(9)和进液口(8)，所述的空压机(16)通过进气管道(10)与两项流喷嘴(7)的进气口(9)相连，所述的进气管道(10)上安装有进气球阀(12)，所述的水箱(17)通过进水管道(11)与两项流喷嘴(7)的进液口(8)相连，所述的进水管道(11)上安装有进水球阀(13)。3.根据权利要求2所述的一种单晶炉出料冷却系统，其特征在于：所述的进气管道(10)上安装有空气过滤器(14)，所述的进水管道(11)上安装有水源过滤器(15)。4.根据权利要求1所述的一种单晶炉出料冷却系统，其特征在于：所述的滚轮组件是由两个滚轮(3)和转动轴(4)所组成，所述的两个滚轮(3)都安装在转动轴(4)上，所述的转动轴(4)的一端活动连接在输送框架(2)的一侧壁上，所述的转动轴(4)的另一端穿过输送框架(2)的另一侧壁与驱动机构相连，所述的两个滚轮(3)位于两块导流板(6)中间位置的正下方。5.根据权利要求1或4中任一项所述的一种单晶炉出料冷却系统，其特征在于：所述的驱动机构是由电机(5)、主动链轮、从动链轮和链条所组成，所述的电机(5)安装在输送框架(2)上，所述的主动链轮套装在电机(5)的出轴端上，所述的从动链轮套装在转动轴(4)的伸出端上，所述的主动链轮通过链条与从动链轮相连。2CN105568367A说明书1/3页一种单晶炉出料冷却系统技术领域[0001]本发明专利涉及单晶炉技术领域，特别是一种单晶炉出料冷却系统。背景技术[0002]直拉单晶是一种周期性的、非连续的生产过程。每个周期结束后，都需要等待炉内温度冷却到300℃以下后，才能进行拆炉、清理及下个生产周期的准备工作。另外，由于直拉单晶生产过程是持续的高温过程，为了降低拉晶能耗，炉内设置了大量的保温层，导致停炉后需要等待6～10h才能使炉内热场冷却下来，此段时间占整个生产周期的1/8。这期间炉子处于闲置状态，降低了单晶制造装置的运转率，影响了单晶炉拉晶的效率。并且在利用单晶炉生产的过程中如果材料冷却的过快，会对材料自身也会产生影响，从而产生不必要的损失。发明内容[0003]本发明的目的是在输送的过程中通过设置在两侧的喷雾冷却装置来对生成的单晶硅进行喷雾冷却，大大提高了其的工作效率；而发明了一种单晶炉出料冷却系统。[0004]为解决上述的技术问题，本发明提供了一种单晶炉出料冷却系统，包括[0005]底座，[0006]输送框架，所述的输送框架设置在底座上，[0007]滚轮组件，所述的滚轮组件安装在输送框架内，