单晶炉冷却系统.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115449893A(43)申请公布日2022.12.09(21)申请号202211016829.1(22)申请日2022.08.24(71)申请人晶澳太阳能有限公司地址055550河北省邢台市宁晋县晶龙大街(72)发明人焦鹏黄旭光苏立宁(74)专利代理机构北京市万慧达律师事务所11111专利代理师史雅琪(51)Int.Cl.C30B15/00(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图4页(54)发明名称单晶炉冷却系统(57)摘要本申请属于单晶生产技术领域，具体涉及单晶炉冷却系统。单晶炉冷却系统包括：单晶炉设置有连通单晶炉的内腔和单晶炉外部空间的冷却通道以及控制冷却通道开启或者关闭的控制单元；冷却装置设置于单晶炉的外部，冷却装置包括冷源端，冷源端用于吸收单晶炉的内腔热量；当控制单元使得冷却通道开启时，冷却装置支配冷源端沿冷却通道进入到单晶炉的内腔；当冷却装置支配冷源端移出单晶炉的内腔后，控制单元使得冷却通道关闭。相比自然冷却的方式而言，本案能够更为快速地吸收单晶炉内部的热量，从而缩短单晶炉的冷却时间；另外，相比直接开启单晶炉而言本案能够在一定程度上减少氧气进入到单晶炉的内腔，进而延缓单晶炉内部的保温材料的氧化。CN115449893ACN115449893A权利要求书1/2页1.单晶炉冷却系统，其特征在于，包括：单晶炉(100)，设置有连通所述单晶炉(100)的内腔和所述单晶炉(100)外部空间的冷却通道(110)以及控制所述冷却通道(110)开启或者关闭的控制单元(120)；冷却装置(200)，设置于所述单晶炉(100)的外部，所述冷却装置(200)包括冷源端(210)，所述冷源端(210)用于吸收所述单晶炉(100)的内腔热量；当所述控制单元(120)使得所述冷却通道(110)开启时，所述冷却装置(200)支配所述冷源端(210)沿所述冷却通道(110)进入到所述单晶炉(100)的内腔；当所述冷却装置(200)支配所述冷源端(210)移出所述单晶炉(100)的内腔后，所述控制单元(120)使得所述冷却通道(110)关闭。2.根据权利要求1所述的单晶炉冷却系统，其特征在于：所述单晶炉冷却系统还包括可伸缩的罩体管(300)，所述罩体管(300)的一端罩设于所述冷却通道(110)位于所述单晶炉(100)的外部空间的一侧，所述罩体管(300)的另一端设置于所述冷却装置(200)，所述冷源端(210)位于所述罩体管(300)的内腔，所述罩体管(300)用于将所述冷源端(210)与外部环境隔离。3.根据权利要求2所述的单晶炉冷却系统，其特征在于：所述单晶炉(100)的内腔底侧设置有坩埚(130)，所述冷却通道(110)设置在所述单晶炉(100)的侧壁；所述冷却通道(110)在竖直方向的高度高于所述坩埚(130)的开口，且所述冷却通道(110)的横截面积大于所述冷源端(210)的横截面积；当所述冷却装置(200)支配所述冷源端(210)移动至所述单晶炉(100)的内腔时，部分的所述冷源端(210)能够位于所述坩埚(130)的开口处。4.根据权利要求3所述的单晶炉冷却系统，其特征在于：所述冷源端(210)呈弧形且凹向所述坩埚(130)，所述冷却装置(200)支配所述冷源端(210)转动时，能够使得所述冷源端(210)的部分位于所述坩埚(130)内。5.根据权利要求4所述的单晶炉冷却系统，其特征在于：所述冷却装置(200)包括旋转组件(220)，所述旋转组件(220)的一端被驱动转动，所述旋转组件(220)的另一端设置所述冷源端(210)，当所述旋转组件(220)转动时，带动所述冷源端(210)转动。6.根据权利要求5所述的单晶炉冷却系统，其特征在于：所述冷却装置(200)还包括底座(230)，所述旋转组件(220)包括旋臂(221)；所述底座(230)设置于靠近所述单晶炉(100)的底侧，所述旋臂(221)的一端与所述底座(230)铰接，所述旋臂(221)的另一端设置所述冷源端(210)；所述冷源端(210)的圆弧中心点与所述旋臂(221)绕所述底座(230)的旋转中心重合。7.根据权利要求6所述的单晶炉冷却系统，其特征在于：所述冷源端(210)包括管道(211)，所述管道(211)呈回形排布且凹向所述坩埚(130)；所述管道(211)在靠近所述旋臂(221)的一侧设置有相互连通的进入口(2111)和排出口(2112)；所述进入口(2111)用于输送冷却介质，所述冷却介质在所述管道(211)中流通时能够吸收所述坩埚(130)内的热源并从所述排出口(2112)流出。8.根据权利要求7所述的单晶炉冷却系统，其特征在于：所述冷却装置(200)