一种新型人工晶体生长炉用晶体称重装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113670419A(43)申请公布日2021.11.19(21)申请号202110993328.8(22)申请日2021.08.27(71)申请人黄鼎雯地址201808上海市嘉定区永靖路288弄91号802(72)发明人黄鼎雯(74)专利代理机构上海邦德专利代理事务所(普通合伙)31312代理人史文军(51)Int.Cl.G01G3/02(2006.01)G01G21/08(2006.01)G01G21/10(2006.01)C30B35/00(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图1页(54)发明名称一种新型人工晶体生长炉用晶体称重装置(57)摘要本发明公开了一种新型人工晶体生长炉用晶体称重装置，包括：底座、固接于所述底座上的底板、固定于所述底板上的平衡弹力机构、固定于所述平衡弹力机构上的下夹板、设置于所述下夹板上的传感器及固定于所述传感器上的上夹板；导轨穿过上夹板且不与上夹板接触，保证称重的定位和精度；所述底座上固接有支架，所述支架远离底座的一端上固接有机械称重机构，所述机械称重机构的测量端通过支撑板固定于下夹板上。本发明结构简单、安装维修方便、抗干扰能力及可靠稳定性强、自动称重与机械称重于一体。CN113670419ACN113670419A权利要求书1/1页1.一种新型人工晶体生长炉用晶体称重装置，其特征在于，包括：底座、固接于所述底座上的底板(5)、固定于所述底板(5)上的平衡弹力机构(4)、固定于所述平衡弹力机构(4)上的下夹板(3)、设置于所述下夹板(3)上的传感器(1)及固定于所述传感器(1)上的上夹板(2)；导轨(9)穿过上夹板(2)且不与上夹板(2)接触；所述底座上固接有支架(8)，所述支架(8)远离底座的一端上固接有机械称重机构(6)，所述机械称重机构(6)的测量端通过支撑板(7)固定于下夹板(3)上。2.如权利要求1所述的一种新型人工晶体生长炉用晶体称重装置，其特征在于，所述下夹板(3)与底板(5)之间设置有三个平衡弹力机构(4)，且三个所述平衡弹力机构(4)呈正三角形均匀设置于下夹板(3)与底板(5)之间。3.如权利要求1所述的一种新型人工晶体生长炉用晶体称重装置，其特征在于，所述下夹板(3)与上夹板(2)之间设置有三个传感器(1)，且三个所述传感器(1)呈正三角形均匀设置于下夹板(3)与上夹板(2)之间。4.如权利要求1所述的一种新型人工晶体生长炉用晶体称重装置，其特征在于，所述传感器(1)为高精度压力传感器或位移传感器，且所述传感器(1)的数量为三个以上。5.如权利要求1所述的一种新型人工晶体生长炉用晶体称重装置，其特征在于，所述平衡弹力机构(4)为机构为弹簧或线性及非线性材料，且平衡弹力机构(4)的数量为3个以上。6.如权利要求1所述的一种新型人工晶体生长炉用晶体称重装置，其特征在于，所述机械称重机构(6)为杠杆百分表或数显千分表。2CN113670419A说明书1/2页一种新型人工晶体生长炉用晶体称重装置技术领域[0001]本发明涉及人工晶体生长设备的技术领域，特别涉及一种新型人工晶体生长炉用晶体称重装置。背景技术[0002]随着科学技术的发展，对晶体材料的要求越来越高，这也意味着对晶体材料的生长工艺和生长设备的要求也越来越高。晶体生长的关键在于晶体生长设备如何精确控制晶体生长的速率。[0003]称重法是晶体生长速率控制最重要的方法之一，其关键技术就在于晶体称重装置，目前比较常用的称重装置有下称法、悬臂上称法和悬吊上称法。这些方法都存在结构复杂、维修不方便、可靠性不强、怕震动等问题。发明内容[0004]针对现有技术中存在的不足之处，本发明的目的是提供一种新型人工晶体生长炉用晶体称重装置，构简单、安装维修方便、抗干扰能力及可靠稳定性强、自动称重与机械称重于一体。为了实现根据本发明的上述目的和其他优点，提供了一种新型人工晶体生长炉用晶体称重装置，包括：[0005]底座、固接于所述底座上的底板、固定于所述底板上的平衡弹力机构、固定于所述平衡弹力机构上的下夹板、设置于所述下夹板上的传感器及固定于所述传感器上的上夹板，导轨穿过上夹板且不与上夹板接触，保证称重的定位和精度；[0006]所述底座上固接有支架，所述支架远离底座的一端上固接有机械称重机构，所述机械称重机构的测量端通过支撑板固定于下夹板上。[0007]优选的，所述下夹板与底板之间设置有三个平衡弹力机构，且三个所述平衡弹力机构呈正三角形均匀设置于下夹板与底板之间。[0008]优选的，所述下夹板与上夹板之间设置有三个传感器，且三个所述传感器呈正三角形均匀设置于下夹板与上夹板之间。[0009]优选的，所述传感器为高精度压力传感器或位移传感器，且所述传感器的数量为三个以