一种晶体生长炉用隔热装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102732970A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102732970A(43)申请公布日2012.10.17(21)申请号201210245190.4(22)申请日2012.07.16(71)申请人登封市蓝天石化光伏电力装备有限公司地址452487河南省郑州市登封市君召乡大滹坨村(72)发明人张博赵东(74)专利代理机构郑州睿信知识产权代理有限公司41119代理人韩天宝(51)Int.Cl.C30B35/00(2006.01)权利要求书权利要求书1页1页说明书说明书22页页附图附图22页(54)发明名称一种晶体生长炉用隔热装置(57)摘要本发明公开了一种晶体生长炉用隔热装置，其主要由用于套设在坩埚外围的筒形隔热屏和套设于筒形隔热屏外围的金属换热屏组成，在金属换热屏与隔热屏之间留有环隙，在环隙中围绕圆周均布有支撑于金属换热屏与隔热屏外表面之间的支撑体。本发明的晶体生长炉用隔热装置在使用时可以通过金属换热屏和支撑体顶紧钨、钼隔热屏的外表面从而限制其无法产生变形，有效了延长了钨、钼隔热屏的使用寿命，降低了刚玉的生产成本。CN102739ACN102732970A权利要求书1/1页1.一种晶体生长炉用隔热装置，包括用于套设在坩埚外围的筒形隔热屏，其特征在于，在所述筒形隔热屏外围还套设有筒形的金属换热屏，在所述金属换热屏与隔热屏之间留有环隙，在所述环隙中围绕圆周均布有支撑连接于金属换热屏和隔热屏外表面之间的支撑体。2.根据权利要求1所述的晶体生长炉用隔热装置，其特征在于，所述的金属换热屏与隔热屏同心设置。3.根据权利要求1所述的晶体生长炉用隔热装置，其特征在于，所述的金属换热屏的轴向长度不小于隔热屏的轴向长度。4.根据权利要求1所述的晶体生长炉用隔热装置，其特征在于，所述的支撑体为旋装于金属换热屏上的金属顶丝。5.根据权利要求4所述的晶体生长炉用隔热装置，其特征在于，所述的金属顶丝设有12-360个。6.根据权利要求1所述的晶体生长炉用隔热装置，其特征在于，所述的金属换热屏由2-50mm厚的不锈钢、铜或钼钨合金板材经滚圆焊接制成。7.根据权利要求1所述的晶体生长炉用隔热装置，其特征在于，所述的筒形隔热屏由2-50层、0.5-10mm厚的钼、钨或钼钨合金薄壁板材围成的圆筒同心套设组成。8.根据权利要求1所述的晶体生长炉用隔热装置，其特征在于，所述的金属顶丝由钼、钨、钼钨合金、纯铜或不锈钢制成。2CN102732970A说明书1/2页一种晶体生长炉用隔热装置技术领域[0001]本发明涉及一种晶体生长炉用高温隔热装置。背景技术[0002]以刚玉（蓝宝石）为例，其主要成分是氧化铝（Al2O3），其熔点为2050℃，所以对刚玉单晶的生长炉热防护隔热屏的稳定性能、耐高温性能要求极高。目前生产过程中普遍使用的隔热屏为石墨炭毡隔热屏，这种隔热屏在使用过程中碳挥发后会进入晶体内部而造成碳污染，虽然可以通过随后的退火工艺消除晶体中的碳杂质，但是该生产工序复杂因而加工成本较高，而且由于退火工艺无法消除碳杂质留下的原子缺位，使得晶体的品质较低，近年已经逐渐被市场淘汰。中国发明专利公开文件CN202214452U公开了一种蓝宝石单晶炉用的分体嵌套式圆筒形隔热屏，该隔热屏由同轴心、不同直径的至少两个圆筒形的隔热屏构成，每个隔热屏由同轴心的至少两层圆筒构成，每层圆筒均匀高熔点的轧制钼金属板材卷制而成。这种隔热屏在使用过程中容易发生变形而一旦出现隔热屏变形，就必须将隔热屏全部更换，否则会影响刚玉晶体生长炉内晶体品质，严重时出现晶体粘锅，甚至开裂无法使用，这种隔热屏的平均使用寿命通常只有6个月左右时间，因而属于晶体生长炉的易耗件，为保证刚玉的生产质量就需要在生产过程中频繁的更换，致使刚玉的生产成本一直居高不下。发明内容[0003]本发明的目的是：提供一种晶体生长炉用隔热装置，以解决现有刚玉晶体生长炉中因隔热屏容易变形而导致刚玉的生产成本较高的问题。[0004]本发明的技术方案是：一种晶体生长炉用隔热装置，包括用于套设在坩埚外围的筒形隔热屏，在所述筒形隔热屏外围还套设有筒形的金属换热屏，在所述金属换热屏与隔热屏之间留有环隙，在所述环隙中围绕圆周均布有支撑连接于金属换热屏和隔热屏外表面之间的支撑体。[0005]所述的金属换热屏与隔热屏同心设置。[0006]所述的金属换热屏的轴向长度不小于隔热屏的轴向长度。[0007]所述的支撑体为旋装于金属换热屏上的金属顶丝。[0008]所述的金属顶丝设有12-360个。[0009]所述的金属换热屏由2-50mm厚的不锈钢、铜或钼钨合金板材经滚圆焊接制成。[0010]所述的筒形隔热屏由2-50层、0.5-10mm厚的钼、钨或钼钨合金薄壁板材围成的圆筒同心套设组成。[0011]所述的金属