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一种用于立式氧化炉的片盒进出传送装置.pdf
2023-06-15
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一种用于立式氧化炉的片盒进出传送装置.pdf
本发明公开了一种用于立式氧化炉的片盒进出传送装置，包括机架、片盒承载台、升降台、升降机构、推送机构和计数单元，升降机构设于机架内，升降台设于升降机构的驱动端，片盒承载台和推送机构设于升降台上，推送机构用于推动片盒承载台伸出机架，机架顶部设有可供片盒承载台通过避让槽，计数单元包括光电传感器和反光镜，光电传感器和反光镜分设于避让槽的两侧。本发明进料和出料过程不需要人员参与，自动化程度高，通过升降机构的升降方式结合激光发射接受单元和反光镜，实现片盒在传送过程中可以自动完成片盒硅片数量统计，代替人工方式，提高了效
2023-06-15
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2023-06-15
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