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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114160907A(43)申请公布日2022.03.11(21)申请号202210035501.8B23K1/008(2006.01)(22)申请日2022.01.13(71)申请人诚联恺达科技有限公司地址065300河北省廊坊市大厂回族自治县高新技术产业开发区智能硬件产业园1.2期N4楼第一、三层(72)发明人崔会猛宋铁生李晓亮刘月明段圣(74)专利代理机构北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙)11435代理人杜武(51)Int.Cl.B23K3/00(2006.01)B23K3/08(2006.01)B23K3/047(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图3页(54)发明名称一种热风在线式真空焊接炉及其焊接工艺(57)摘要本发明涉及半导体焊接技术领域,具体公开了一种热风在线式真空焊接炉及其焊接工艺,其中,真空焊接炉包括炉体,炉体的一侧设有进料口,另一侧设有出料口,炉体的内部位于进料口和出料口之间依次设有预热区、恒温区、回流区、真空区以及冷却区;预热区内设有第一热风循环导流机构,恒温区内设有第二热风循环导流机构,回流区内设有第三热风循环导流机构,真空区内设有抽真空组件,冷却区内设有循环冷却机构。该真空焊接炉带有独立的预热区、恒温区、回流区、真空区以及冷却区,预热区、恒温区、回流区、真空区以及冷却区连接氮气接入口,真空区的抽真空组件保证炉体的内部处于真空负压环境,防止产品接触到氧气,可有效防止空洞的产生。CN114160907ACN114160907A权利要求书1/2页1.一种热风在线式真空焊接炉,包括机架,安装在机架上的炉体,炉体的一侧设有进料口,另一侧设有出料口,其特征在于,炉体的内部位于所述进料口和出料口之间依次设有预热区、恒温区、回流区、真空区以及冷却区;所述预热区内设有第一热风循环导流机构,所述恒温区内设有第二热风循环导流机构,所述回流区内设有第三热风循环导流机构,所述真空区内设有抽真空组件,所述冷却区内设有循环冷却机构。2.根据权利要求1所述的一种热风在线式真空焊接炉,其特征在于,所述第一热风循环导流机构包括安装在所述预热区处的第一密封盖,安装在第一密封盖上的第一气流循环电机,安装在所述第一密封盖下方的第一炉体单元以及设置在所述第一炉体单元内的第一导热组件,第一导热组件位于所述第一气流循环电机的下方。3.根据权利要求2所述的一种热风在线式真空焊接炉,其特征在于,所述第一导热组件包括安装在所述第一炉体单元内部的多个第一热风导流板,安装在第一热风导流板下方的第一电热丝,所述第一热风导流板上设有若干风口。4.根据权利要求2所述的一种热风在线式真空焊接炉,其特征在于,所述第二热风循环导流机构包括安装在所述恒温区处的第二密封盖,安装在第二密封盖上的第二气流循环电机,安装在所述第二密封盖下方的第二炉体单元以及设置在所述第二炉体单元内的第二导热组件,第二导热组件位于所述第二气流循环电机的下方。5.根据权利要求4所述的一种热风在线式真空焊接炉,其特征在于,所述第二导热组件包括安装在所述第二炉体单元内部的多个第二热风导流板,安装在第二热风导流板下方的第二电热丝,所述第二热风导流板上设有若干风口。6.根据权利要求4所述的一种热风在线式真空焊接炉,其特征在于,所述第三热风循环导流机构包括安装在所述第二炉体单元内部的多个第三热风导流板,安装在第三热风导流板下方的第三电热丝,所述第三热风导流板上设有若干热风导流嘴,热风导流嘴的端部朝向所述第二密封盖。7.根据权利要求6所述的一种热风在线式真空焊接炉,其特征在于,所述抽真空组件包括安装在所述真空区处的第三密封盖,安装在第三密封盖下方的第三炉体单元以及安装在所述第三密封盖上的真空泵。8.根据权利要求7所述的一种热风在线式真空焊接炉,其特征在于,所述第三炉体单元内设有传送组件,传送组件包括安装在所述第三炉体单元内的传动齿轮以及套设在传动齿轮上的传动链条;所述第一炉体单元和第二炉体单元连接助焊剂处理装置,助焊剂处理装置包括回收箱,缠设在回收箱上的回流管,回流管的一端连接所述第一炉体单元或第二炉体单元的底部,另一端连接所述回收箱。9.根据权利要求7所述的一种热风在线式真空焊接炉,其特征在于,所述循环冷却机构包括安装在所述冷却区处的第四密封盖,安装在第四密封盖上的冷气上循环电机,安装在所述第四密封盖下方的第四炉体单元,设置在第四炉体单元内的多个冷却板,设置在冷却板下方的冷气下循环电机;所述冷却板的表面设有冷风导流板,冷风导流板上设有若干风口,所述冷却板内设有冷却液循环通道,冷却液循环通道的端部连接冷却液供给管。2CN114160907A权利要求书2/2页10.一种基于权利要求1至9中任意一项所述的热风在线式真空焊