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一种用于立式炉的自动上下料系统及立式炉体.pdf
2023-06-15
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一吃****瀚文
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本发明公开了一种用于立式炉的自动上下料系统，包括石英舟取放装置、翻舟装置、硅片顶升装置、整片装置、插取片机械手和硅片上下料传输装置；石英舟取放装置用于带动石英舟在缓存架、反应腔和翻舟装置之间转移；翻舟装置用于实现石英舟在立式状态和卧式状态之间进行变换；硅片顶升装置用于带动硅片做升降运动；整片装置用于实现硅片的对中；插取片机械手用于带动硅片在硅片上下料传输装置和硅片顶升装置之间进行转移；硅片上下料传输装置用于实现硅片从花篮取出并传输至插取片机械手的取片位。本发明还公开了一种立体炉体，包括如上所述自动上下料系
2023-06-15
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