一种单晶炉加热器自动升降机构.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114293245A(43)申请公布日2022.04.08(21)申请号202111647896.9(22)申请日2021.12.30(71)申请人连城凯克斯科技有限公司地址214000江苏省无锡市锡山区锡北镇泾虹路15号(72)发明人曹玉宝李欢段世飞李方尹嘉琦张忠涛(51)Int.Cl.C30B15/14(2006.01)B66F7/00(2006.01)B66F7/28(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图6页(54)发明名称一种单晶炉加热器自动升降机构(57)摘要本发明属于单晶设备技术领域，具体的说是一种单晶炉加热器自动升降机构，包括炉底盘，炉底盘上板面架设有坩埚单元，炉底盘下板面设有升降单元；所述升降单元包括电机、丝杆、导向柱、载板、电极和加热线圈；所述坩埚单元包括外炉体和坩埚体；所述载板的下板面螺栓固接有固定块，丝杆的一端贯穿载板并传动连接固定块，丝杆的另一端固接电机的输出端，电机固接炉底盘的下板面；所述丝杆一侧设置导向柱，导向柱的一端固接炉底盘，导向柱的另一端滑动贯穿载板；所述载板与炉底盘之间安装有电极，电极的下端固接载板，电极的上端滑动贯穿炉底盘，并连接加热线圈。CN114293245ACN114293245A权利要求书1/2页1.一种单晶炉加热器自动升降机构，其特征在于：包括炉底盘(1)，炉底盘(1)上板面架设有坩埚单元，炉底盘(1)下板面设有升降单元；所述升降单元包括电机(2)、丝杆(3)、导向柱(4)、载板(5)、电极(6)和加热线圈(7)；所述坩埚单元包括外炉体(8)和坩埚体(9)；所述载板(5)的下板面螺栓固接有固定块(10)，丝杆(3)的一端贯穿载板(5)并传动连接固定块(10)，丝杆(3)的另一端固接电机(2)的输出端，电机(2)固接炉底盘(1)的下板面；所述丝杆(3)一侧设置导向柱(4)，导向柱(4)的一端固接炉底盘(1)，导向柱(4)的另一端滑动贯穿载板(5)；所述载板(5)与炉底盘之间安装有电极(6)，电极(6)的下端固接载板(5)，电极(6)的上端滑动贯穿炉底盘(1)，连接加热线圈(7)；所述坩埚体(9)坐落在外炉体(8)内，坩埚体(9)与外炉体(8)之间的间隙安置加热线圈(7)，加热线圈(7)的下端固接电极(6)的上端。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉加热器自动升降机构，其特征在于：所述电机(2)和丝杆(3)对称安装炉底盘(1)和载板(5)之间，导向杆(13)和电极(6)呈中心轴对称安装炉底盘(1)和载板(5)之间；所述电极(6)外圈上套设有波纹管，波纹管的两端分别固接载板(5)的下板面和炉底盘(1)的上板面。3.根据权利要求1所述的一种单晶炉加热器自动升降机构，其特征在于：所述外炉体(8)内侧壁对称开设滑槽(11)；所述加热线圈(7)的外表面设有导向单元；所述导向单元包括固定板(12)和导向杆(13)；所述固定板(12)对称固接加热线圈(7)上，固定板(12)的上端面开设伸缩槽(14)，导向杆(13)的一端滑动连接在伸缩槽(14)内，导向杆(13)的另一端弯折90度并滑动连接在滑槽(11)内。4.根据权利要求2所述的一种单晶炉加热器自动升降机构，其特征在于：所述炉底盘(1)上设有补油机构，且电极(6)的上端通过补油机构连接炉底盘(1)，且补油机构包括上壳(15)、下壳(16)、转棍(17)、活塞缸(18)、活塞杆(19)和压簧；所述下壳(16)固接炉底盘(1)，电极(6)贯穿下壳(16)的中心孔，中心孔外圆周阵列固接铰接块，相邻两个铰接块之间转动连接转棍(17)，转棍(17)贴附在电极(6)表面，转棍(17)的端部均匀固接多个推杆(21)，推杆(21)的端部挤压在活塞杆(19)的一端，活塞杆(19)的另一端通过压簧滑动连接在活塞缸(18)内，活塞缸(18)固接炉底盘(1)，活塞缸(18)的出油管(27)贯穿上壳(15)延伸至固定块(10)与丝杆(3)连接处。5.根据权利要求4所述的一种单晶炉加热器自动升降机构，其特征在于：所述电极(6)的外圈圆周阵列开设安装槽(22)，安装槽(22)内设有齿条(23)；所述转棍(17)的外圈圆周阵列固接有齿牙(24)，齿牙(24)与齿条(23)啮合。6.根据权利要求4所述的一种单晶炉加热器自动升降机构，其特征在于：每个所述推杆(21)的端部转动连接有滚轮(25)；每个所述活塞杆(19)的一端固接有弧形板(26)，弧形板(26)的凸起面挤压滚轮(25)，弧形板(26)的内凹面固接活塞杆(19)。7.根据权利要求4所述的一种单晶炉加热器自动升降机构，其特征在于：所述出油管(27)的分支管(28)延伸至滑槽(11)内，且分支管(28)的出油口置于导向杆(13)的另一端的正上