一种单晶炉副炉室调平机构及调平方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114318532A(43)申请公布日2022.04.12(21)申请号202210131827.0(22)申请日2022.02.14(71)申请人浙江精功科技股份有限公司地址312030浙江省绍兴市柯桥区鉴湖路1809号(72)发明人袁华中谢剑舟陈妙荣来迪文朱一鸣史冰冰(74)专利代理机构天津知川知识产权代理事务所(特殊普通合伙)12249代理人耿树志(51)Int.Cl.C30B29/06(2006.01)C30B15/00(2006.01)C30B15/20(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称一种单晶炉副炉室调平机构及调平方法(57)摘要本发明涉及一种单晶炉副炉室调平机构及调平方法，包括固定部件、水平监测部件、控制部件和自适应调平部件。副炉室升降运动产生倾斜，水平监测部件监测到倾斜角度并与零位对比，并将结果反馈给控制部件。控制部件收集到水平监测部件发出的信号后，处理生成控制数据，并将控制指令发送至自适应调平部件。自适应调平部件中，电机收到控制指令后产生驱动力，经减速机减速后带动丝杆旋转，丝杆带动与丝杆螺母固定的拉力臂沿直线导轨前后运动，带动副炉室上端连接块随拉力臂移动，从而矫正副炉室的倾斜。本发明操作简单耗时少，可实时监测到工作状态下副炉室的倾斜幅度并快速进行自适应调整，有效保证各阶段、各工作状态下的副炉室法兰面水平。CN114318532ACN114318532A权利要求书1/1页1.一种单晶炉副炉室调平机构，其特征在于：包括固定部件、水平监测部件(16)、控制部件和自适应调平部件；所述固定部件包括夹板(14)、下销轴(13)和上销轴(15)，副炉室(12)的下端连接块与升降摆臂(11)的下端用所述夹板(14)夹住，下销轴(13)穿过所述夹板(14)的通孔与副炉室(12)下端连接块固定；副炉室(12)的上端连接块与自适应调平部件通过上销轴(15)连接；所述水平监测部件(16)位于副炉室(12)的上端面，所述自适应调平部件位于升降摆臂(11)的上端面。2.根据权利要求1所述的单晶炉副炉室调平机构，其特征在于：所述自适应调平部件包括电机(1)、减速机(2)、轴承(3)、丝杆(4)、丝杆螺母(5)、拉力臂(6)、轴承座(7)、直线导轨(8)、底板(9)和导向夹板(10)；所述电机(1)接收到控制部件发出的指令后产生驱动力，经所述减速机(2)减速后带动所述丝杆(4)旋转，丝杆(4)带动与丝杆螺母(5)固定的拉力臂(6)沿着直线导轨(8)前后运动；所述轴承(3)位于所述丝杆(4)的头端，所述轴承(3)与所述丝杆(4)均位于所述轴承座(7)内，所述轴承座(7)和所述直线导轨(8)均固定于所述底板(9)上，所述导向夹板(10)位于所述拉力臂(6)两侧，且所述导向夹板(10)夹持在升降摆臂(11)的上端。3.根据权利要求2所述的单晶炉副炉室调平机构，其特征在于：所述上销轴(15)穿过所述拉力臂(6)的通孔与副炉室(12)的上端连接块连接。4.根据权利要求1或2或3所述的单晶炉副炉室调平机构，其特征在于：所述控制部件包括控制组件和通信组件，所述通信组件接收到水平监测部件(16)发出的信号后传递给控制组件，所述控制组件处理生成控制数据，并将控制指令通过通信组件发送至电机(1)。5.根据权利要求4所述的单晶炉副炉室调平机构，其特征在于：所述通信组件为PLC通信模块。6.根据权利要求1或2或3所述的单晶炉副炉室调平机构，其特征在于：所述水平监测部件(16)为倾角仪、水平仪或倾角传感器中的任意一种。7.一种权利要求2所述的单晶炉副炉室调平机构的调平方法，其特征在于：包括以下步骤：S1：副炉室(12)静置在主炉室及隔离阀上，将水平监测部件(16)安置于副炉室(12)的上端面上，水平调整后，对水平监测部件(16)置零位；S2：在工作状态下副炉室(12)升降运动产生倾斜；水平监测部件(16)监测到倾斜角度并与零位对比；并将结果反馈给控制部件；S3：控制部件收集到水平监测部件发出的信号后，处理生成控制数据，并将控制指令发送至电机(1)，所述控制指令包括转向、转速及转动时间；S4：电机(1)收到控制指令后产生驱动力，经减速机(2)减速后带动丝杆(4)旋转，丝杆(4)带动与丝杆螺母(5)固定的拉力臂(6)沿直线导轨(8)前后运动，实现以副炉室(12)下端连接块为支点，带动副炉室(12)上端连接块随拉力臂(6)移动，矫正副炉室(12)的倾斜，实现了副炉室(12)调平。2CN114318532A说明书1/3页一种单晶炉副炉室调平机构及调平方法技术领域[0001]本发明属于单晶炉部件技术领域，尤其是涉及一种单晶炉副炉室调平机构及调平方法。背景技术[0002