一种单晶炉可升降副炉室波纹管延伸机构.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107354504A(43)申请公布日2017.11.17(21)申请号201710696557.7(22)申请日2017.08.15(71)申请人浙江晶盛机电股份有限公司地址312300浙江省绍兴市上虞区通江西路218号(72)发明人傅林坚曹建伟孙明倪军夫沈兴潮(74)专利代理机构杭州中成专利事务所有限公司33212代理人周世骏(51)Int.Cl.C30B15/00(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称一种单晶炉可升降副炉室波纹管延伸机构(57)摘要本发明涉及单晶硅生产设备，旨在提供一种单晶炉可升降副炉室波纹管延伸机构。该种单晶炉可升降副炉室波纹管延伸机构包括水平调整框架、电机、波纹管、丝杆、丝杆螺母、光轴、直线轴承、提升上板、固定板和提升下板，用于安装在副炉室和提拉头中间。使用本发明替换原先的水平调整，拉晶位置保持不变，拉晶完成后才提升整个提拉头，从而不需要更改软轴钢丝绳长度。CN107354504ACN107354504A权利要求书1/1页1.一种单晶炉可升降副炉室波纹管延伸机构，用于安装在副炉室和提拉头中间，其特征在于，所述单晶炉可升降副炉室波纹管延伸机构包括水平调整框架、电机、波纹管、丝杆、丝杆螺母、光轴、直线轴承、提升上板、固定板和提升下板；所述固定板安装在副炉室上法兰上，丝杆螺母、直线轴承分别安装在固定板上，丝杆、光轴各设有两根，两根丝杆利用丝杆螺母与固定板安装连接，两根光轴利用直线轴承与固定板安装连接；所述提升上板与丝杆的上端、光轴的上端固定安装，所述电机设有两个，分别安装在提升上板上，且两个电机分别与对应的丝杆连接，提升上板能利用两个电机同时带动丝杆进行运动来实现升降；所述提升下板与丝杆的下端、光轴的下端固定安装，提升下板用于对丝杆和光轴进行定位和固定；所述水平调整框架包括支撑柱、支撑座、调整螺钉，安装在提升上板上；支撑座通过调整螺钉安装有至少两个支撑柱，支撑柱安装在提升上板上，且能通过调整螺钉来实现支撑座的上平面水平；所述波纹管一端安装在固定板上，另一端安装在水平调整框架的下法兰上，用于进行密封衔接；所述电机还满足公式：F＝△p×πr2、Wη≥(F+G)×v；其中，W为电机的功率，η为转化效率，F为压力差产生的吸力，△p为提升时单晶炉内外压力差，r为波纹管内孔半径，G为提升自身重力，v为提升速度。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉可升降副炉室波纹管延伸机构，其特征在于，所述波纹管的内径比晶棒的直径大60mm。3.根据权利要求1所述的一种单晶炉可升降副炉室波纹管延伸机构，其特征在于，所述电机采用交流伺服电机。2CN107354504A说明书1/3页一种单晶炉可升降副炉室波纹管延伸机构技术领域[0001]本发明是关于单晶硅生产设备领域，特别涉及一种单晶炉可升降副炉室波纹管延伸机构。背景技术[0002]光伏产业为新能源产业中发展最快的子行业之一。整个新能源产业的发展源于传统行业的不断消耗及其价格的不断走高，以及人类对温室效应和环境变化重视程度的不断加深。全世界都向可发展新能源产业不断投入人力物力，寄希望于各种可再生的、环保的新能源重塑人类社会发展的能源基础，维持长久发展。在各种新能源解决方案中，光伏产业发展速度远快于其他传统产业。[0003]高效与节能是设备重要的发展趋势，符合我国经济增长方式从粗放型向集约型转变的目标。其中高效包含两个方面的含义，提高生产效率和提高成品率，以单晶硅生长炉为例，提高生产效率主要可以通过增加投料量和提高长晶速度来实现增加投料量可以拉出更长的晶棒，常规需要拉制长晶棒就延长副炉室长度，但副炉室高度延长后对其提拉头软轴晃动存在影响，会使设备长晶工艺的提拉头转速趋向于共振带附近，会使晶体晃动和断棱，对拉晶成品率造成影响。[0004]节能主要降低生产成本，目前工艺有一炉多根，降低石英坩埚等生产成本。由于为了提高产能及降低能耗，现在已普遍采用一炉多根的工艺，例如26英寸石英坩埚可以装料300kg，但由于受副炉室高度限制，8英寸隔离取棒晶棒只能在200kg，如果一味的增加副炉室长度，提拉头相对位置偏高，软轴转动会出现晃动较大现象，意味着拉晶转速已经接近于共振区域。如何既能提高产能，又能保证其稳定性就是本发明的亮点之处。[0005]在此种背景下，提出一种能保证设备稳定性、又能充分提升产能的单晶炉可升降副炉室波纹管延伸机构，市场前景看好。发明内容[0006]本发明的主要目的在于克服现有技术中的不足，提供一种既能保证设备稳定性、又能充分提升产能的单晶炉可升降副炉室波纹管延伸机构。为解决上述技术问题，本发明的解决方案是：[0007]提供一种单晶炉可升降副炉室波纹管