单晶硅棒拉制方法和单晶硅棒拉制装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114457422A(43)申请公布日2022.05.10(21)申请号202111681256.X(22)申请日2021.12.31(71)申请人隆基绿能科技股份有限公司地址710100陕西省西安市长安区航天中路388号(72)发明人韩伟杜超邓浩李侨(74)专利代理机构北京润泽恒知识产权代理有限公司11319专利代理师周海业(51)Int.Cl.C30B29/06(2006.01)C30B15/00(2006.01)C01B33/037(2006.01)权利要求书2页说明书11页附图8页(54)发明名称单晶硅棒拉制方法和单晶硅棒拉制装置(57)摘要本申请实施例提供了一种单晶硅棒拉制方法和单晶硅棒拉制装置。所述单晶硅棒拉制方法包括：将硅料装入炉体内的坩埚中；采用加热器加热熔化所述坩埚内的硅料，得到硅液；将导气管插入所述硅液中；通过所述导气管向所述硅液中通入反应气体，所述反应气体至少包括含卤气体，以使所述含卤气体与所述硅液中的金属杂质反应；在所述硅液中执行引晶、放肩、等径操作，以得到单晶硅棒。本申请实施例中，在单晶硅棒拉制的过程中，可以将含卤气体通入硅液内部，以使含卤气体与所述硅液的金属杂质充分反应，提高所述硅液的纯度，从而，可以减少从所述硅液中生长拉制的单晶硅棒的杂质，提升所述单晶硅棒的品质。CN114457422ACN114457422A权利要求书1/2页1.一种单晶硅棒拉制方法，其特征在于，包括：将硅料装入炉体内的坩埚中；采用加热器加热熔化所述坩埚内的硅料，得到硅液；将导气管插入所述硅液中；通过所述导气管向所述硅液中通入反应气体，所述反应气体至少包括含卤气体，以使所述含卤气体与所述硅液中的金属杂质反应；从所述硅液中拉制单晶硅棒。2.根据权利要求1所述的单晶硅棒拉制方法，其特征在于，所述通过所述导气管向所述硅液中通入反应气体的步骤中，所述反应气体的流量为0.1－10L/min。3.根据权利要求1所述的单晶硅棒拉制方法，其特征在于，所述方法还包括：收集从所述炉体内排出的尾气；对所述尾气中的含卤气体进行处理。4.根据权利要求1至3任一项所述的单晶硅棒拉制方法，其特征在于，所述含卤气体包括：氯气、溴气、氟气、四氯化碳、氯化氢、氟利昂中的至少一种；所述反应气体还包括惰性气体，所述惰性气体包括：氮气、氩气、氦气中的至少一种。5.根据权利要求1所述的单晶硅棒拉制方法，其特征在于，所述导气管包括：进气管以及设置在所述进气管端部的环状出气管，所述进气管与所述环状出气管连通；其中，所述进气管穿设于所述炉体，以从所述炉体外伸入所述炉体内；所述进气管的端部以及所述环状出气管插入所述硅液中，所述环状出气管的管壁上设置有多个出气孔，以将所述反应气体通入所述硅液中。6.一种单晶硅棒拉制装置，其特征在于，所述单晶硅棒拉制装置包括：炉体；坩埚，所述坩埚设置于所述炉体内，用于容纳硅料；加热器，所述加热器设置于所述炉体内，用于加热所述坩埚内的硅料；导气管，所述导气管活动连接于炉体；其中，在将所述硅料装入所述坩埚后，可采用所述加热器加热熔化所述坩埚内的硅料，得到硅液；将所述导气管插入所述硅液中；通过所述导气管向所述硅液中通入反应气体，所述反应气体至少包括含卤气体，以使所述含卤气体与所述硅液中的金属杂质反应；从所述硅液中拉制单晶硅棒。7.根据权利要求6所述的单晶硅棒拉制装置，其特征在于，所述导气管包括：进气管以及设置在所述进气管端部的环状出气管，所述进气管与所述环状出气管连通；其中，所述进气管穿设于所述炉体，以从所述炉体外伸入所述炉体内；所述进气管的端部以及所述环状出气管插入所述硅液中，所述环状出气管的管壁上设置有多个出气孔，以将所述反应气体通入所述硅液中。8.根据权利要求6所述的单晶硅棒拉制装置，其特征在于，所述单晶硅棒拉制装置还包括：尾气处理装置；所述炉体上还设置有排气孔，所述排气孔用于将所述炉内的尾气排出；所述尾气处理装置与所述排气连接，所述尾气处理装置用于收集从所述炉体内排出的尾气，并对所述尾气中的含卤气体进行处理。9.根据权利要求6所述的单晶硅棒拉制装置，其特征在于，所述炉体上还设置有进气2CN114457422A权利要求书2/2页孔，所述导气管至少部分穿设于所述进气孔，以从所述进气孔伸入所述坩埚内。10.根据权利要求9所述的单晶硅棒拉制装置，其特征在于，所述单晶硅棒拉制装置还包括密封装置，所述密封装置连接在所述导气管与所述炉体之间，用于密封所述进气孔。11.根据权利要求9所述的单晶硅棒拉制装置，其特征在于，所述进气孔设置于所述炉体的顶部，所述导气管从所述炉体的顶部竖直伸入所述坩埚，或者，所述导气管从所述炉体的顶部倾斜伸入所述坩埚。12.根据权利要求9所述的单晶硅棒拉制装置，其特征在于，所述