低介电聚酰亚胺膜及其制造方法.pdf
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相关资料
低介电聚酰亚胺膜及其制造方法.pdf
本发明提供一种低介电聚酰亚胺膜的制造方法,其包括:制造聚酰胺酸溶液的步骤;相对于上聚酰胺酸溶液添加2~3摩尔当量的脱水剂来制造聚酰胺酸组合物的步骤;以及由上述聚酰胺酸组合物在支撑体上制膜且在加热炉中进行热固化的步骤。
高粘接低介电聚酰亚胺膜及其制造方法.pdf
本发明提供一种高粘接和低介电特性的聚酰亚胺膜的制造方法,其包括:制造聚酰胺酸溶液的步骤;对于上述聚酰胺酸溶液添加脱水剂和酰亚胺化催化剂而制造聚酰胺酸组合物的步骤;以及由上述聚酰胺酸组合物在支撑体上制膜且在加热炉中进行热固化的步骤,上述热固化步骤至少包含第一加热步骤、第二加热步骤和第三加热步骤,第一加热步骤、第二加热步骤和第三加热步骤各自的工序温度范围为100℃以上550℃以下。
低光泽的聚酰亚胺膜及其制造方法.pdf
本发明提供一种低光泽的聚酰亚胺膜及其制造方法,其包括有提供一二胺单体与二酐单体进行聚合的聚酰胺酸及溶剂,以形成一聚酰亚胺前驱体溶液;将该聚酰亚胺前驱体溶液形成于一载体上,以形成一聚酰亚胺湿膜;将该聚酰亚胺湿膜在100℃以上,压力1kg以上的压花滚轮上辗压,使其表面形成有规则的凹凸形状;及将该聚酰亚胺湿膜进行高温烘烤,以形成一聚酰亚胺膜。该聚酰亚胺膜包括于其表面形成规则的凹凸形状;及一消光剂,其是添加于该聚酰亚胺膜内,使该聚酰亚胺膜具有小于60度的光泽值。
低介电常数聚酰亚胺膜及其制造方法.pdf
本发明公开了一种单层聚酰亚胺膜及其制法,该膜包括:一第一子层,其包括第一聚酰亚胺,以及分布于其中的含氟高分子的颗粒,其中,该第一聚酰亚胺由第一二胺与第一二酐反应所得,且该第一二胺及该第一二酐的至少之一在其化学式中含有氟原子;及一第二子层,其由第二聚酰亚胺所构成,该第二聚酰亚胺由第二二胺与第二二酐反应所得,且该第二二胺和/或该第二二酐在其化学式中含有氟原子;其中,该第一聚酰亚胺与该第二聚酰亚胺相近似或相同。
具有低介电性绝缘膜的半导体器件及其制造方法.pdf
(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利说明书(10)申请公布号CN101569010A(43)申请公布日2009.10.28(21)申请号CN200880000824.1(22)申请日2008.05.30(71)申请人卡西欧计算机株式会社地址日本东京都(72)发明人水泽爱子冈田修若林猛三原一郎(74)专利代理机构永新专利商标代理有限公司代理人陈松涛(51)Int.CIH01L23/31H01L23/485H01L23/525权利要求说明书说明书幅图(54)发明名称具有低介电性绝缘膜的半导体器