一种热解石墨气相沉积装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114182232A(43)申请公布日2022.03.15(21)申请号202111356454.9C23C16/26(2006.01)(22)申请日2021.11.16(71)申请人维达力实业（深圳）有限公司地址518129广东省深圳市龙岗区平湖街道禾花社区富康路6号深业物流平湖中心厂房B（宝能智创谷B栋）301-303，305-313，315-322(72)发明人黄日杨向前飞沈记球陈萍许仁(74)专利代理机构华进联合专利商标代理有限公司44224代理人刘宁(51)Int.Cl.C23C16/44(2006.01)C23C16/455(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图4页(54)发明名称一种热解石墨气相沉积装置(57)摘要本发明涉及一种热解石墨气相沉积装置，包括依次连接的盖板、沉积室以及底座、石墨基材，其中：沉积室内部形成沉积腔，且与盖板、底座形成沿三者的排布方向延伸的气流通道；石墨基材悬置在沉积腔内，且处于气流通道内，石墨基材的外表面均与气流通道内的气体相接触；将热解石墨气相沉积装置置于化学气相沉积炉内，在化学气相沉积炉内通入碳氢化合物气体，该气体会通过底座进入热解石墨气相沉积装置，并且与悬置在沉积腔内的石墨基材发生反应并在石墨基材表面形成沉积膜；通过将石墨基材位于气流通道中，并且石墨基材外表面均与气流通道内的气体相接触，便会在石墨基材表面形成均匀的沉积膜。CN114182232ACN114182232A权利要求书1/1页1.一种热解石墨气相沉积装置，其特征在于，包括依次连接的盖板、沉积室以及底座、石墨基材，其中：所述沉积室内部形成沉积腔，且与所述盖板、所述底座形成沿三者的排布方向延伸的气流通道，所述气流通道用于流通由所述底座输入的气体；所述石墨基材悬置在所述沉积腔内，且处于所述气流通道内，所述石墨基材的外表面均与所述气流通道内的气体相接触。2.根据权利要求1所述的热解石墨气相沉积装置，其特征在于，所述沉积室的底壁上设置有至少一个石墨工件支撑结构，所述石墨工件支撑结构包括间隔设置的两个立柱，两个所述立柱背离所述底壁的一侧形成用于支撑所述石墨基材的支撑面。3.根据权利要求2所述的热解石墨气相沉积装置，其特征在于，所述沉积室包括至少一个支撑座，所述支撑座包括第一底板及第一侧壁，所述第一侧壁环绕所述第一底板的四周固定为一体，所述石墨工件支撑结构设置在所述第一底板上。4.根据权利要求3所述的热解石墨气相沉积装置，其特征在于，所述支撑座的数目为多个，多个所述支撑座之间可拆卸地密封连接为一体，每一所述第一侧壁突出所述第一底板的高度至少大于所述石墨基体突出所述支撑面的高度。5.根据权利要求3所述的热解石墨气相沉积装置，其特征在于，所述沉积室还包括至少一个上腔体，所述上腔体的数目与所述支撑座对应，所述支撑座和所述上腔体依次设置，且二者之间可拆卸地密封连接为一体。6.根据权利要求1所述的热解石墨气相沉积装置，其特征在于，所述石墨基材具有与所述底座正对的第一表面，所述沉积室与所述第一表面正对的两表面分别开口有贯穿其壁厚的至少一个第一气流孔，所述底座与所述第一表面正对的表面上开口有贯穿所述底座的至少一个第二气流孔。7.根据权利要求6所述的热解石墨气相沉积装置，其特征在于，所述第二气流孔的孔径大于所述第一气流孔的孔径。8.根据权利要求6所述的热解石墨气相沉积装置，其特征在于，还包括至少一个隔板，所述隔板与所述石墨基材的所述第一表面正对的表面开口有贯穿其壁厚的至少一个第三气流孔；所述隔板位于所述底座与所述沉积室之间且与所述底座、所述沉积室密封连接，和/或，所述隔板位于所述盖板与所述沉积室之间且与所述盖板、所述沉积室密封连接。9.根据权利要求8所述的热解石墨气相沉积装置，其特征在于，所述第三气流孔与所述第二气流孔错位设置。2CN114182232A说明书1/6页一种热解石墨气相沉积装置技术领域[0001]本发明涉及热解石墨技术领域，特别是涉及一种热解石墨气相沉积装置。背景技术[0002]随着社会的发展，现代科学和技术需要使用大量功能各异的无机新材料，因此，无机新材料的合成成为现代材料科学中的主要课题。化学气相沉积是一种重要的材料制备方式，它是把一种或几种含有构成薄膜元素的化合物、单质气体通入放置有基材的反应室，借助空间气相化学反应在基体表面上沉积固态薄膜的工艺技术。这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物或硒化物，也可以是其他二元或多元的元素间化合物，而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的沉积过程精确控制。目前，化学气相沉积已成为无机合成化学的一个新领域。[0003]在此基础上，热解石墨作为新型炭素材料，它具有高密度、高纯度以及热、电、磁、力学性能各向异性，可