双坩埚液相外延生长装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114752997A(43)申请公布日2022.07.15(21)申请号202210438009.5(22)申请日2022.04.25(71)申请人哈尔滨工业大学地址150000黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号(72)发明人宋波张晗旭朱森寅王先杰韩杰才(74)专利代理机构北京隆源天恒知识产权代理有限公司11473专利代理师孟佳(51)Int.Cl.C30B19/06(2006.01)C30B29/28(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图3页(54)发明名称双坩埚液相外延生长装置(57)摘要本发明提供了一种双坩埚液相外延生长装置，涉及液相外延生长设备技术领域，包括第一炉体、第二炉体、坩埚组件和驱动组件，所述第一炉体与所述第二炉体通过通孔相连；所述坩埚组件包括两个坩埚，两个所述坩埚分别设置于所述第一炉体和所述第二炉体内部；所述驱动组件用于分别驱动两个所述坩埚穿过所述通孔以对调在所述第一炉体和所述第二炉体内的位置。本发明通过两个坩埚连续调换进而实现液相外延生长薄膜的连续生长，突破膜厚的技术瓶颈，提高薄膜的质量和制备效率，有利于进行批量化生产。CN114752997ACN114752997A权利要求书1/2页1.一种双坩埚液相外延生长装置，其特征在于，包括第一炉体(1)、第二炉体(2)、坩埚组件和驱动组件，所述第一炉体(1)与所述第二炉体(2)通过通孔相连；所述坩埚组件包括两个坩埚(3)，两个所述坩埚(3)分别设置于所述第一炉体(1)和所述第二炉体(2)内部；所述驱动组件用于分别驱动两个所述坩埚(3)穿过所述通孔以对调在所述第一炉体(1)和所述第二炉体(2)内的位置。2.根据权利要求1所述的双坩埚液相外延生长装置，其特征在于，所述坩埚组件还包括环形底座(4)，两个所述坩埚(3)相对设置于所述环形底座(4)上；所述通孔为两个，所述通孔的底部轮廓与所述环形底座(4)的形状相匹配，所述通孔用于所述驱动组件驱动所述环形底座(4)带动所述坩埚(3)穿过。3.根据权利要求2所述的双坩埚液相外延生长装置，其特征在于，所述坩埚组件还包括环形密封条(5)，所述环形密封条(5)设置于所述环形底座(4)上，且位于两个所述坩埚(3)之间，所述环形密封条(5)的轮廓与所述通孔的轮廓相匹配，用于所述坩埚(3)穿过所述通孔后密封所述通孔。4.根据权利要求3所述的双坩埚液相外延生长装置，其特征在于，所述驱动组件包括齿形带(6)和与所述齿形带(6)连接的驱动电机，所述齿形带(6)与所述环形底座(4)的底部相连接，且所述齿形带(6)用于在所述驱动电机的驱动下带动所述环形底座(4)转动。5.根据权利要求1所述的双坩埚液相外延生长装置，其特征在于，所述第一炉体(1)包括第一内壁(7)和第一外壁(19)，所述第一内壁(7)和所述第一外壁(19)之间设有第一保温层(9)；所述第二炉体(2)包括第二内壁(8)和第二外壁(20)，所述第二内壁(8)和所述第二外壁(20)之间设有第二保温层(10)，所述第一炉体(1)和所述第二炉体(2)的形状为圆筒型，所述第一保温层(9)与所述第二保温层(10)的厚度相同，且所述第一保温层(9)的外侧与所述第二内壁(8)相切。6.根据权利要求5所述的双坩埚液相外延生长装置，其特征在于，所述第一炉体(1)还包括第一加热层(11)，所述第一加热层(11)设置于所述第一内壁(7)上，所述第一加热层(11)从上到下依次设有五个温度区；所述第二炉体(2)还包括第二加热层(12)，所述第二加热层(12)设置于所述第二内壁(8)上。7.根据权利要求6所述的双坩埚液相外延生长装置，其特征在于，所述第一炉体(1)和所述第二炉体(2)还包括温度监测组件(13)，所述温度监测组件(13)对应所述第一加热层(11)和所述第二加热层(12)设置，用于监测所述第一加热层(11)和所述第二加热层(12)对应温区的温度。8.根据权利要求1所述的双坩埚液相外延生长装置，其特征在于，所述第一炉体(1)和所述第二炉体(2)还包括活动阀门(14)，所述活动阀门(14)用于打开或关闭所述述第一炉体(1)和所述第二炉体(2)。9.根据权利要求1所述的双坩埚液相外延生长装置，其特征在于，所述第一炉体(1)对应所述坩埚(3)位置的上方还设置有第一工作杆(15)，所述第一工作杆(15)用于连接搅拌棒或夹具，且所述第一工作杆(15)分别用于与第一升降机构和第一旋转机构相连接，以实现所述第一工作杆(15)的升降运动或旋转运动；所述第二炉体(2)对应所述坩埚(3)位置的上方还设置有第二工作杆(16)，所述第二工作杆(16)用于连接搅拌棒，且所述第二工作杆(16)分别用于与第二升降机构和第二旋转机构相连接，以实现所述第二工作杆(1