一种快速降温的单晶炉底盘及其使用方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114808145A(43)申请公布日2022.07.29(21)申请号202210478297.7(22)申请日2022.05.05(71)申请人倪建刚地址311199浙江省杭州市临平区塘栖镇泰山村9组(72)发明人倪建刚(74)专利代理机构上海创开专利代理事务所(普通合伙)31374专利代理师张佑富(51)Int.Cl.C30B35/00(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图5页(54)发明名称一种快速降温的单晶炉底盘及其使用方法(57)摘要本发明涉及单晶炉部件领域，具体公开了一种快速降温的单晶炉底盘及其降温方法，水罩板内形成由底盘主体外圈向中心方向螺旋设置的第一降温通道；水罩板外围设有连通第一降温通道的进水口，坩埚法兰外侧侧壁设有向下螺旋延伸的第二降温通道，坩埚法兰上外侧壁设有连通第一降温通道和第二降温通道的中间开口，坩埚法兰的下外侧壁设有连通第二降温通道的出水口；第一降温通道沿其螺旋方向分布有分水件，分水件包括连接底盘主体和水罩板的柱体，可转动套设于柱体外的旋转球、沿旋转球外周向分布的弧形板；弧形板下凹处连接旋转球侧壁，且弧形板开口朝向旋转球外；延长水与底盘的接触时间，能够对底盘进行充分的无死角冷却。CN114808145ACN114808145A权利要求书1/2页1.一种快速降温的单晶炉底盘，包括底盘主体(1)、罩设于底盘主体(1)底部的水罩板(2)以及穿设于底盘主体(1)和水罩板(2)上坩埚法兰(3)、真空法兰(8)及电极法兰(9)，所述坩埚法兰(3)位于底盘主体(1)的正中间，且向下穿出水罩板(2)；所述真空法兰(8)及电极法兰(9)底边缘贴紧水罩板(2)，其特征在于：所述真空法兰(8)、电极法兰(9)底边与底盘主体(1)之间均形成冷却间隙，所述水罩板(2)内形成由底盘主体(1)外圈向中心方向螺旋设置的第一降温通道(21)，冷却间隙连通第一降温通道；所述水罩板(2)外围设有连通第一降温通道(21)的进水口(22)，坩埚法兰(3)外侧侧壁设有向下螺旋延伸的第二降温通道(31)，所述坩埚法兰(3)上外侧壁设有连通第一降温通道(21)和第二降温通道(31)的中间开口(24)，所述坩埚法兰(3)的下外侧壁设有连通第二降温通道(31)的出水口(33)；所述第一降温通道沿其螺旋方向分布有分水件(4)，该分水件(4)包括连接底盘主体(1)和水罩板(2)的柱体(41)，可转动套设于柱体(41)外的旋转球(44)、沿旋转球(44)外周向分布的弧形板(42)；该弧形板(42)下凹处连接旋转球(44)侧壁，且弧形板(42)开口朝向旋转球(44)外。2.根据权利要求1所述的快速降温的单晶炉底盘，其特征在于：所述柱体(41)包括连接底盘主体(1)和水罩板(2)的吸热端(41a)和穿出水罩板(2)的散热端(41b)，所述散热端(41b)插入散热瓶(5)内，散热瓶(5)内盛装散热液，散热瓶(5)外侧设置散热翅片(51)。3.根据权利要求2所述的快速降温的单晶炉底盘，其特征在于：所述散热瓶(5)螺旋连接散热端(41b)。4.根据权利要求3所述的快速降温的单晶炉底盘，其特征在于：所述旋转球(44)位于弧形板(42)上侧和侧设置有凹部(43)。5.根据权利要求4所述的快速降温的单晶炉底盘，其特征在于：所述水罩板(2)上位于分水件(4)进水一端设有八字形引水板(23)，八字形引水板(23)开口较小的一端朝向分水件(4)。6.根据权利要求5所述的快速降温的单晶炉底盘，其特征在于：所述第一降温通道(21)内设有均匀刷(6)，该均匀刷(6)沿第一降温通道(21)长度方向延伸成螺旋形，所述均匀刷(6)一端缠绕于旋转轴(62)上，旋转轴(62)穿出水罩板(2)。7.根据权利要求6所述的快速降温的单晶炉底盘，其特征在于：所述进水口(22)处设有甩水件(7)，该甩水件(7)包括位于第一降温通道(21)内的球形的甩水罩(71)、设于甩水罩(71)上的喷水孔(75)、可自由滚动地设于甩水罩(71)内的球体(72)、连接于甩水罩(71)外围的支撑脚(73)，相邻支撑脚(73)之间形成出水间隙(74)，进水口(22)内形成供支撑脚(73)沿出水方向滑动的滑槽(22a)，滑槽(22a)靠近第一降温通道(21)的一端设有防止支撑脚(73)脱出的防脱凸环(22b)，所述甩水罩(71)外径大于防脱凸环(22b)外径。8.一种权利要求7所述的快速降温的单晶炉底盘的使用方法，使用步骤如下：A.将进水口(22)连接水管；B.水沿第一降温通道(21)流动，对底盘主体(1)进行降温，流入冷却间隙对真空法兰(8)和电极法兰(9)进行冷却；C.水在八字形引水板(23)的聚集作用，大部分的水流冲向分水件(3)，分水件(3)在