一种能实现水冷却循环降温的单晶炉底盘设备及其使用方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114990701A(43)申请公布日2022.09.02(21)申请号202210537709.X(22)申请日2022.05.18(71)申请人倪建刚地址311199浙江省杭州市临平区塘栖镇泰山村9组(72)发明人倪建刚(74)专利代理机构上海创开专利代理事务所(普通合伙)31374专利代理师张佑富(51)Int.Cl.C30B35/00(2006.01)权利要求书3页说明书6页附图7页(54)发明名称一种能实现水冷却循环降温的单晶炉底盘设备及其使用方法(57)摘要本发明涉及单晶炉部件领域，具体公开了一种能实现水冷却循环降温的单晶炉底盘设备及其使用方法，包括底盘，底盘上设有降温通道，第一出水口连接降温装置，降温装置包括降温桶、电机和沿着降温桶从上至下依次分布的螺旋散热区、控水吸热区、摆动散热区、换气喷水区以及填料区以及蓄水池；降温桶的顶部设有顶盖，所述电机固定于顶盖上；电机具有穿过顶盖内延伸至螺旋散热区、控水吸热区、摆动散热区、换气洒水区以及填料区、蓄水区的电机轴；整个散热过程只用到了一个电机即可实现了水罩旋转甩水、摆动盘摆动冷却水，洒水管旋转洒水，气泵抽取降温桶内的空气并排出降温桶外、弹性填料的折叠或者展开改变水的流动路径等等。CN114990701ACN114990701A权利要求书1/3页1.一种能实现水冷却循环降温的单晶炉底盘设备，包括底盘(1)，所述底盘(1)上设有降温通道，降温通道一端连接第一进水口，一端连接第一出水口(11),其特征在于：所述第一出水口(11)连接降温装置，该降温装置包括降温桶(2)、电机(9)和沿着降温桶(2)从上至下依次分布的螺旋散热区(3)、控水吸热区(4)、摆动散热区(5)、换气喷水区(6)以及填料区(7)以及蓄水池(8)；所述降温桶(2)的顶部设有顶盖(21)，所述电机(9)固定于顶盖(21)上；所述电机(9)具有穿过顶盖(21)内延伸至螺旋散热区(3)、控水吸热区(4)、摆动散热区(5)、换气洒水区(6)以及填料区(7)、蓄水区(8)的电机轴(91)；所述螺旋散热区(3)包括与降温桶(2)内壁连接的散热盘(31)，散热盘(31)的顶部形成螺旋形的散热槽(32)、设于散热槽(32)外圈上方的进水管(33)、设于螺旋槽(32)中心的第二出口(34)及水罩(35)，该进水管(33)穿出顶盖(21)连接第一出水口(11)，所述电机轴(91)穿出第二出水口(34)固定连接水罩(35)，所述水罩(35)罩设于第二出水口(34)处，水罩(35)外壁分布第一孔；所述控水吸热区(4)包括连接于水罩(35)底部的第一弹簧(44)、连接第一弹簧(44)底部的控水盘(41)、套设于控水盘(41)外围的外环套(42)，该外环套(42)固定于降温桶(2)内壁，所述电机轴(91)穿出控水盘(41)，且控水盘(41)外侧壁形成上小下大的第一圆台面(41a)，所述外环套(42)内壁也呈圆台形，且与第二圆台面(42a)配合，第一圆台面(41a)和第二圆台面(42a)之间形成第一间隙(43)；所述摆动散热区(5)包括摆动盘(51)，位于摆动盘(51)上方的聚水套(52)、设于摆动盘(51)底面第一磁块(53)、至少两个均匀分布在摆动盘(51)外圈的第二弹簧(54)；第二弹簧(54)连接降温桶(2)和摆动盘(51)，所述聚水套(52)内侧壁形成上大下小的圆台形引水壁(52a)，聚水套(52)连接于降温通桶(2)内壁；所述摆动盘(51)呈中间下凹圆弧形，聚水套(52)底部延伸至摆动盘(51)内，摆动盘(51)内壁从内向外依次分布三角凸环(51a)，该三角凸环(51a)的横截面呈三角形，三角凸环(51a)的两侧壁向中心内凹；所述摆动盘(51)的中心设供电机轴穿出并自由旋转的第三出水口(51c)；所述换气洒水区(6)包括开口正对第三出水口(51c)的集水槽(61)、连通集水槽(61)下部外围洒水管(62)、套设于集水槽上部外围的反应板(63)以及设于反应板上的第二磁块(64)，该第二磁块(64)与第一磁块(53)对应，该集水槽(61)套设于电机轴(91)外；所述反应板(63)的底面设有环形的第一轨迹槽(65)，第一轨迹槽(65)沿周向形成波浪形，该第一轨迹槽(65)位于电机轴(91)外围；所述降温桶(2)内壁还设置有气泵(22)，该气泵(22)具有伸入第一轨迹槽(65)、并能沿第一轨迹槽(65)移动的气泵轴(22a)，连接气泵轴(22a)的气泵体(22b)，所述气泵体上位于降温桶(2)内的设有进气口(22c)和穿出降温桶(2)外的出气口(22d)。2.根据权利要求1所述的能实现水冷却循环降温的单晶炉底盘设备，其特征在于：所述填料区(7)包括折叠架(71)、沿折叠架