一种带自动冷却设备的单晶炉底盘组件及其使用方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114808146A(43)申请公布日2022.07.29(21)申请号202210537715.5(22)申请日2022.05.18(71)申请人倪建刚地址311199浙江省杭州市临平区塘栖镇泰山村9组(72)发明人倪建刚(74)专利代理机构上海创开专利代理事务所(普通合伙)31374专利代理师张佑富(51)Int.Cl.C30B35/00(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图6页(54)发明名称一种带自动冷却设备的单晶炉底盘组件及其使用方法(57)摘要本发明涉及单晶炉部件领域，具体公开了一种带自动冷却设备的单晶炉底盘组件及其使用方法，包括底盘和下炉膛，下炉膛上设有降温装置，降温装置包括套设于下炉膛外的环形固定架；套设于下炉膛外围、开口朝上的水箱，该水箱位于环形固定架的下方；套设于水箱外的环形引风套，该环形引风套下部连接水箱，环形引风套开口朝上，环形引风套的底部设有进风口；环形固定架外圈设有自由转动的环形齿圈，该环形齿圈外圈啮合若干小齿轮，小齿轮连接第一转轴，第一转轴伸入环形引风套内连接风扇；其中一个小齿轮连接电机。本发明只需一个电机即可促进水的旋转循环、水平循环、上下循环、喷水降温，利用风扇降温等等，提高水的散热效率。CN114808146ACN114808146A权利要求书1/2页1.一种带自动冷却设备的单晶炉底盘组件，包括底盘(1)和连接底盘(1)的下炉膛(2)，所述底盘(1)上设有真空法兰(11)、电极法兰(12)及坩埚法兰(13)，其特征在于：所述下炉膛(2)上设有降温装置，该降温装置包括套设于下炉膛(2)外的环形固定架(3)；套设于下炉膛(2)外围、开口朝上的水箱(9)，该水箱(9)位于环形固定架(3)的下方；套设于水箱(9)外的环形引风套(4)，该环形引风套(4)下部连接水箱(9)，该环形引风套(4)开口朝上，环形引风套(4)的底部设有进风口(41)；所述环形固定架(3)外圈设有可自由转动的环形齿圈(31)，该环形齿圈(31)外圈啮合若干小齿轮(32)，小齿轮(32)连接第一转轴(34)，第一转轴(34)伸入环形引风套(4)内连接风扇(35)；其中一个小齿轮(32)连接电机(33)；所述环形固定架(3)位于环形齿圈(31)下方固定有环形的磁圈(5)，该磁圈(5)沿周向交替设置磁极相反的第一磁块(51)；所述环形固定架(3)位于磁圈(5)的下方设置环形的轨迹环(6)，轨迹环(6)顶面沿周向形成波浪形的轨迹面(61)；所述环形齿圈(31)底部沿周向分布若干水泵(7)，水泵(7)包括一端固定于环形齿圈(31)下端的泵杆(74)、泵体(75)及弹簧(73)，泵杆(74)另一端移动穿入泵体(75)内，泵杆(74)外套设弹簧(73)，弹簧(73)两端压缩于环形齿圈(31)和泵体(75)上，水泵(7)的底部于弹簧作用下压紧于轨迹面(61)；水泵(7)包括穿入水箱(9)内的进水管(71)和喷水管(72)，水泵(7)上设有可水平移动的移动杆(8)，移动杆(8)头端伸入水箱(9)内连接推水部件(81)，移动杆(8)尾端正对磁圈(5)处设有与第一磁块(51)配合的第二磁块(82)，第二磁块(82)磁极为S极或者N极；所述水箱(9)外壁连通U形循环管(91)，U形循环管(91)位于环形引风套(4)内；所述移动杆(8)头端连接倾斜板(83)，倾斜板(83)下端位水箱(9)上方，倾斜板(83)上端倾斜至环形引风套(4)上方，所述喷水管(72)正对倾斜板(83)上端面。2.根据权利要求1所述的带自动冷却设备的单晶炉底盘组件，其特征在于：所述倾斜板(83)朝向喷水管(72)的正面设有蛇形的引水沟(83a)，所述风扇位于倾斜板(83)背面处。3.根据权利要求2所述的带自动冷却设备的单晶炉底盘组件，其特征在于：所述U形循环管(91)沿水箱(9)沿竖直方向分布，风扇设于相邻U形循环管之间。4.根据权利要求3所述的带自动冷却设备的单晶炉底盘组件，其特征在于：所述相邻第一磁块(51)之间存在间隙。5.根据权利要求4所述的带自动冷却设备的单晶炉底盘组件，其特征在于：所述推水部件(81)包括连接移动杆(8)的固定头(81a)、可转动连接固定头(81a)的水平旋转杆(81b)、连接于水平旋转杆(81b)外的推动水片(81c)，所述水箱(9)内正对推水片(81c)处设有在移动杆(8)随水泵移动时推动推水片(81c)旋转的推柱(92)，推水片(81c)上设有水平片(81d)。6.根据权利要求5所述的带自动冷却设备的单晶炉底盘组件，其特征在于：所述水箱(9)内贴紧下炉膛(2)处设有吸热片(93)。7.根据权利要求6所述的带自动冷却设备的单晶炉底盘组件，其特征在于：所述环形引风套(4)底面与底盘