束源炉水冷器及束源设备.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114855265A(43)申请公布日2022.08.05(21)申请号202210392212.3(22)申请日2022.04.14(71)申请人中科艾科米（北京）科技有限公司地址101407北京市怀柔区雁栖经济开发区兴科东大街11号院7号楼南端一至二层(72)发明人尹晟皓(74)专利代理机构北京聿宏知识产权代理有限公司11372专利代理师吴大建张高洁(51)Int.Cl.C30B23/02(2006.01)C30B23/06(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图3页(54)发明名称束源炉水冷器及束源设备(57)摘要本发明提供了一种束源炉水冷器及束源设备，涉及束源设备技术领域。该束源炉水冷器包括水冷壳体、转子安装座以及通水转子，水冷壳体内部具有冷却腔；转子安装座设置于冷却腔上端部的内部且其与冷却腔的腔壁之间具有通水间隙，转子安装座中空，且其靠近冷却腔上端部的一侧为敞开结构并形成的敞口，相对的另一侧具有形成封闭结构的底板，底板上具有出水孔；通水转子设置在转子安装座内，通水转子内部具有通水腔，对应底板的一侧敞开，对应敞口的一侧部分敞开并形成相邻的封闭区与通水区。该束源设备应用上述的束源炉水冷器。基于本发明的技术方案，该束源炉水冷器减小了在其上端部形成的无水腔体，从而减小了束源炉内部温度过高的面积。CN114855265ACN114855265A权利要求书1/1页1.一种束源炉水冷器，其特征在于，所述束源炉水冷器包括：水冷壳体，其内部具有冷却腔；转子安装座，其设置于所述冷却腔上端部的内部且其与所述冷却腔的腔壁之间具有通水间隙，所述转子安装座中空，且其靠近所述冷却腔上端部的一侧为敞开结构并形成的敞口，相对的另一侧具有形成封闭结构的底板，所述底板上具有出水孔；通水转子，其设置在所述转子安装座内，所述通水转子内部具有通水腔，所述通水腔对应所述底板的一侧敞开，所述通水腔对应所述敞口的一侧部分封闭、部分敞开并形成相邻的封闭区与通水区；其中，所述通水转子对应所述封闭区的部分的质量大于对应所述通水区的部分的质量，以在倾斜状态下由重力驱动相对所述转子安装座旋转一定角度。2.根据权利要求1所述的束源炉水冷器，其特征在于，所述水冷壳体包括外筒壳体与内筒壳体，所述外筒壳体与内筒壳体之间形成环形的所述冷却腔，所述转子安装座与所述通水转子的形状均为与所述冷却腔形状匹配的环形，所述转子安装座套设于所述内筒壳体的外侧壁。3.根据权利要求2所述的束源炉水冷器，其特征在于，所述通水腔对应所述敞口的一侧设置有沿周向连续延伸一定长度的挡水板，以形成所述封闭区以及所述封闭区之外的通水区；或所述通水腔对应所述敞口的一侧设置有沿周向连续延伸的环形的挡水板，所述挡水板上具有集中于同一个局部区域内的至少一个通水孔，以形成所述通水区以及所述通水区之外的封闭区。4.根据权利要求2所述的束源炉水冷器，其特征在于，所述水冷壳体还包括上环形筒盖和下环形筒盖，所述内筒壳体的上筒口与所述外筒壳体的上筒口通过所述上环形筒盖密封连接，所述内筒壳体的下筒口与所述外筒壳体的下筒口通过所述下环形筒盖密封连接。5.根据权利要求1所述的束源炉水冷器，其特征在于，所述束源炉水冷器还包括进水管和出水管，所述进水管的出水端连通所述冷却腔，用于向所述冷却腔中注入所述冷却水，所述出水管的进水端与所述转子安装座的出水孔相贯通。6.根据权利要求5所述的束源炉水冷器，其特征在于，所述束源炉水冷器还包括单向阀组件，所述单向阀组件安装于所述出水管内。7.根据权利要求6所述的束源炉水冷器，其特征在于，所述单向阀组件包括弹性件和封堵件，所述出水管的进水端开设有安装槽，所述弹性件安装于所述安装槽内，所述弹性件能够将所述封堵件压紧于所述出水孔，以封堵所述出水孔。8.根据权利要求7所述的束源炉水冷器，其特征在于，所述弹性件为弹簧，所述封堵件为设置于所述弹簧端部的钢珠。9.根据权利要求1所述的束源炉水冷器，其特征在于，所述通水转子的外壁上和/或所述转子安装座的内壁上设有石墨涂层。10.一种束源设备，其特征在于，所述束源设备包括束源炉以及如上述权利要求1至9任一项所述的束源炉水冷器，所述束源炉安装于所述水冷壳体的内部，且所述束源炉的蒸发源的上端低于所述转子安装座。2CN114855265A说明书1/6页束源炉水冷器及束源设备技术领域[0001]本发明涉及束源设备技术领域，特别地涉及一种束源炉水冷器及束源设备。背景技术[0002]在分子束外延生长设备中，对元素的蒸发控制温度有着很高的要求，作为承载元素的束源炉普遍采用电阻丝或电子束轰击来产生大量的热量以用来蒸发元素。而作为分子束外延生长的必备环境，束源炉处于超高真空的环境中，这也就意味着整个发热系统需要闭环的散热装置以用