一种立式低温蒸发束源炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107299322A(43)申请公布日2017.10.27(21)申请号201710666503.6(22)申请日2017.08.07(71)申请人旭科新能源股份有限公司地址314031浙江省嘉兴市秀洲工业园区康和路嘉兴光伏科创园6#楼底楼东侧(72)发明人王孟孟张卫卫孙朋超朱家宽刘杰鹏高锦龙(74)专利代理机构杭州九洲专利事务所有限公司33101代理人翁霁明(51)Int.Cl.C23C14/24(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称一种立式低温蒸发束源炉(57)摘要一种立式低温蒸发束源炉，它主要由用于盛放蒸发材料的坩埚和用于导引蒸发材料并垂直安装在坩埚上面与坩埚内部相通的喷管组成，所述的坩埚底部设置有用于给坩埚加热的坩埚加热器，喷管上、从上到下分别设置有3-50个用于调节喷管不同位置蒸发量的喷口；所述的坩埚内部或侧壁上设置有用于测量坩埚温度的坩埚热电偶；喷管上端部加料口上配制有密封盖；所述喷管内配置有用于喷管加热的喷管加热器，并在喷管内部还安装有用于喷管内温度测量的喷管热电偶，在所述喷管的喷口上配置有用于控制蒸发范围和使喷口处于同一直线的喷座；所述坩埚的外围还配置有用于屏蔽外部环境干扰坩埚内部温度的水冷屏蔽装置；它具有结构简单，使用方便可靠特点。CN107299322ACN107299322A权利要求书1/1页1.一种立式低温蒸发束源炉，它主要由用于盛放蒸发材料的坩埚和用于导引蒸发材料并垂直安装在坩埚上面与坩埚内部相通的喷管组成，其特征在于所述的坩埚底部设置有用于给坩埚加热的坩埚加热器，所述的喷管上、从上到下分别设置有3-50个用于调节喷管不同位置蒸发量的喷口；所述的坩埚内部或侧壁上设置有用于测量坩埚温度的坩埚热电偶。2.根据权利要求1所述的立式低温蒸发束源炉，其特征在于所述的喷管上端部加料口上配制有密封盖；所述喷管内配置有用于喷管加热的喷管加热器，并在喷管内部还安装有用于喷管内温度测量的喷管热电偶，在所述喷管的喷口上配置有用于控制蒸发范围和使喷口处于同一直线的喷座；所述坩埚的外围还配置有用于屏蔽外部环境干扰坩埚内部温度的水冷屏蔽装置；所述的坩埚加热器和喷管加热器均为盘管加热器。3.根据权利要求2所述的立式低温蒸发束源炉，其特征在于所述喷管与坩埚通过无缝焊连；所述喷管上安装的喷口为圆孔，孔径为非均匀分布；所述喷管加热器至少有两个并分别安装在喷管的上下两端，喷管加热器的安装位置在喷管侧面均匀或对称分布，并与喷管紧密接触；所述坩埚加热器的安装位置在坩埚侧面均匀或对称分布，并与坩埚紧密接触；所述的水冷屏蔽装置采用水箱式样或水管盘状结构包围在坩埚的周围。4.根据权利要求3所述的立式低温蒸发束源炉，其特征在于所述喷管加热器和坩埚加热器均选用铠装加热器或棒状陶瓷加热器或柔性加热丝构成的盘管加热器；其中所述棒状加热器采用内串联法进行连接和电极引出。2CN107299322A说明书1/3页一种立式低温蒸发束源炉技术领域[0001]本发明涉及的是一种立式低温蒸发炉，尤其是一种立式低温蒸发束源炉，属于镀膜设备技术领域。背景技术[0002]在真空环境中，将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀,蒸镀法的加热方式有电流加热、电子束加热、辐射加热等，当蒸发源达到蒸发温度后，会以分子、原子或团簇等自由程较大的状态出现，这些粒子遇到温度较低的基底时就会就会沉积形成薄膜，蒸镀法有纯度高洁净好的优点，常用于金属镀膜、非金属镀膜和有机物镀膜。[0003]容纳并加热蒸发加热材料的设备是热蒸发源，束源炉是热蒸发源的一种，其包括坩埚和喷射口两部分构成，传统束源炉采用卧式蒸发的空间结构，大大降低了该技术在工业生产上的应用和推广，并且大多数束源炉在蒸发低温材料或是对温度比较敏感的材料时不能很好的进行控制。常见有单个喷嘴束源炉和多个喷嘴的卧式束源炉，单个喷嘴在衬底上沉积均匀性差；卧式束源炉不能在竖直方向上均匀镀膜，且低温蒸发时，响应时间长，温控效果差。发明内容[0004]本发明的目的在于克服现有技术存在的不足，而提供一种结构简单，使用方便可靠，响应时间短，温控效果好，且外界对系统内部影响小的立式低温蒸发束源炉。[0005]本发明的目的是通过如下技术方案来完成的，一种立式低温蒸发束源炉，它主要由用于盛放蒸发材料的坩埚和用于导引蒸发材料并垂直安装在坩埚上面与坩埚内部相通的喷管组成，所述的坩埚底部设置有用于给坩埚加热的坩埚加热器，所述的喷管上、从上到下分别设置有3-50个用于调节喷管不同位置蒸发量的喷口；所述的坩埚内部或侧壁上设置有用于测量坩埚温度的坩埚热电偶。[0006]作为优选：所述的喷管上端部加料口上配制有密封盖；所述喷管内配置有用于喷管加热的喷管加热器，并在喷管内部还安