一种坩埚可移动的分子束外延用束源炉.pdf
猫巷****熙柔
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一种坩埚可移动的分子束外延用束源炉.pdf
本发明公开了一种坩埚可移动的分子束外延用束源炉,包括坩埚托架、安装法兰、设于安装法兰上侧的热屏蔽筒、设于安装法兰下侧的闸阀、设于闸阀下侧的外筒、以及用于带动坩埚托架在热屏蔽筒和外筒之间移动的升降驱动机构,所述热屏蔽筒内设有加热器,所述外筒连接有真空泵,所述升降驱动机构与所述外筒密封连接。本发明具有结构简单、成本低、可靠性高、占用空间少等优点。
一种三状态分子束外延用束源炉快门.pdf
本发明公开了一种三状态分子束外延用束源炉快门,在具备束流开启与束流关断两种状态的基础上,新增第三种束源炉保护状态,处于束源炉保护状态的快门可以有效阻挡冷屏内壁上吸附的材料碎片掉落入束源炉中,具有可以保护束源炉内源料不受材料碎片污染、优化外延薄膜质量、同时有效提升蒸发束流的稳定性和重复性、降低设备维护时间、提高设备生产效率等优点。
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集成式分子束外延坩埚制作方法、外延坩埚及分子束源炉.pdf
本发明涉及外延生长技术领域,具体公开了一种集成式分子束外延坩埚制作方法、外延坩埚及分子束源炉,其中,制作方法包括步骤:S1、准备石墨材质的芯轴组件;S2、在芯轴组件外周外延沉积生成第一热解氮化硼层;S3、在第一热解氮化硼层外周折弯缠绕加热丝,使加热丝紧贴固定在第一热解氮化硼层表面;S4、在第一热解氮化硼层外周外延沉积生成第二热解氮化硼层,第二热解氮化硼层完全覆盖加热丝;S5、氧化消除芯轴组件;该制作方法在无需增加额外工艺手段的前提下能制作出结构简单、制作成本低、制作效率高、热效率高、热场分布均匀且保温效果
一种双快门分子束外延源炉系统及分子束外延设备.pdf
本发明公开了一种双快门分子束外延源炉系统及分子束外延设备,包括腔室,源炉,第一快门和第二快门;源炉的炉口朝向腔室内设置,第一快门和第二快门向腔室内延伸,且第一快门和第二快门至少部分露出于腔室外壁;通过在腔室外操作第一快门,可将第一快门调整至完全遮挡源炉的蒸发路径的第一位置或者完全离开蒸发路径的第二位置;通过在腔室外操作第二快门,可将第二快门调整至覆盖源炉3炉口正上方的第三位置或者靠近源炉3炉口加热器的第四位置。根据本公开的双快门源炉系统能够保护源炉内的源料不受材料碎片污染、优化外延薄膜质量、同时有效提升蒸