预览加载中,请您耐心等待几秒...
1/7
2/7
3/7
4/7
5/7
6/7
7/7

在线预览结束,喜欢就下载吧,查找使用更方便

如果您无法下载资料,请参考说明:

1、部分资料下载需要金币,请确保您的账户上有足够的金币

2、已购买过的文档,再次下载不重复扣费

3、资料包下载后请先用软件解压,在使用对应软件打开

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107824001A(43)申请公布日2018.03.23(21)申请号201711329725.5(22)申请日2017.12.13(71)申请人无锡正隆星源电子科技有限公司地址214000江苏省无锡市新吴区硕放镇振发二路9号(72)发明人李丙科陈庆民陈加朋(74)专利代理机构北京科家知识产权代理事务所(普通合伙)11427代理人陈娟(51)Int.Cl.B01D53/00(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称扩散炉用废气处理装置(57)摘要本发明涉及低压扩散炉设计领域,尤其涉及一种扩散炉用废气处理装置,内筒体的后端延伸到外筒体的内部,内筒体的前端布置在外筒体的外部,内筒体的外表面和外筒体的内表面之间形成封闭的水流腔室,内筒体内部设置冷却水管,冷却水管的进水口通过第一水管和水流腔室的出水口连通,冷却水管的出水口通过第二水管实现和外界的管路的连接,外筒体的筒壁上连接用于向水流腔室内供水的第三水管,内筒体的前端设置进气管、后端设置排气管且排气管自外筒体的筒壁穿过,内筒体的底部筒壁上设置废液的出液管,废气自进气管通入内筒体内,废气中的偏磷酸等腐蚀性的酸性物质预冷冷凝成液体并自出液管排出,有效的将偏磷酸等腐蚀性的酸性物质分离出来。CN107824001ACN107824001A权利要求书1/1页1.一种扩散炉用废气处理装置,其特征在于:包括内筒体(10)和外筒体(20),内筒体(10)的后端延伸到外筒体(20)的内部,内筒体(10)的前端布置在外筒体(20)的外部,内筒体(10)的外表面和外筒体(10)的内表面之间形成封闭的水流腔室(30),内筒体(10)内部设置冷却水管(40),冷却水管(40)的进水口通过第一水管(50)和水流腔室(30)的出水口连通,冷却水管(40)的出水口通过第二水管(60)实现和外界的管路的连接,外筒体(20)的筒壁上连接用于向水流腔室(30)内供水的第三水管(70),内筒体(10)的前端设置进气管(11),内筒体(10)的后端设置排气管(12)且排气管(12)自外筒体(20)的筒壁穿过,内筒体(10)的底部筒壁上设置废液的出液管(80)。2.根据权利要求1所述的扩散炉用废气处理装置,其特征在于:所述冷却水管(40)呈螺旋转且螺旋中心线的长度方向和内筒体(10)的筒长方向平行。3.根据权利要求2所述的扩散炉用废气处理装置,其特征在于:所述冷却水管(40)包括相连通的内层水管(41)和外层水管(42),内层水管(41)为螺旋转,外层水管(42)为螺旋状,外层水管(42)套设在内层水管(41)的外部,内层水管(41)的一端和外层水管(42)的同一端相连通。4.根据权利要求3所述的扩散炉用废气处理装置,其特征在于:所述内筒体(10)倾斜布置且自内筒体(10)的前端到后端倾斜而下,外筒体(20)的筒长方向和内筒体(10)的筒长方向平行,出液管(80)布置在临近内筒体(10)后端的筒壁处,第三水管(70)和外筒体(20)的后端相连,外筒体(20)的后端和内筒体(10)的后端相邻且间距布置,水流腔室(30)的出水口布置在临近外筒体(20)前端的筒壁处。5.根据权利要求4所述的扩散炉用废气处理装置,其特征在于:所述内筒体(10)的内表面设有防腐耐高温涂层。2CN107824001A说明书1/3页扩散炉用废气处理装置技术领域[0001]本发明涉及低压扩散炉设计领域,尤其涉及一种扩散炉用废气处理装置。背景技术[0002]扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一,用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。在电阳能电池的加工过程中,扩散炉主要用于晶体硅太阳能电池制造中硅片的掺杂形成PN结,扩散炉在加工太阳能电池的过程中产生的废气中含有偏磷酸等腐蚀性的酸性物质,时间一长,这些酸性物质容易堆积,造成真空管路的堵塞和腐蚀,影响扩散炉内元器件的使用寿命,造成扩散炉的损坏。发明内容[0003]本发明的目的是克服现有技术存在的缺陷,提供一种扩散炉用废气处理装置,能有效处理生产过程中产生的酸性物质,延长扩散炉的使用寿命。[0004]本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种扩散炉用废气处理装置,包括内筒体和外筒体,内筒体的后端延伸到外筒体的内部,内筒体的前端布置在外筒体的外部,内筒体的外表面和外筒体的内表面之间形成封闭的水流腔室,内筒体内部设置冷却水管,冷却水管的进水口通过第一水管和水流腔室的出水口连通,冷却水管的出水口通过第二水管实现和外界的管路的连接,外筒体的筒壁上连接用于向水流腔室内供水的第三水管,内筒体的前端设置进气管,内筒体的后端设置排气管且排气管自外筒体的筒壁穿