一种炉盖门及退火炉.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114877694A(43)申请公布日2022.08.09(21)申请号202210569098.7(22)申请日2022.05.24(71)申请人无锡邑文电子科技有限公司地址214028江苏省无锡市新吴区观山路1号(72)发明人孙文彬戴建波刘二强(74)专利代理机构北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)11463专利代理师张洋(51)Int.Cl.F27D1/18(2006.01)C30B33/02(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图2页(54)发明名称一种炉盖门及退火炉(57)摘要本发明的实施例提供了一种炉盖门及退火炉，涉及半导体技术领域。该炉盖门及退火炉包括门板、把手组件和定位组件，门板可转动地设置于设备平台上，把手组件可转动地设置于门板上，门板和把手组件的转动平面位于同一平面；定位组件连接于门板和把手组件之间，定位组件用于在门板封闭退火炉的炉体的情况下对门板进行定位，其能够提升操作的便捷性，以解决炉盖门松动的问题。CN114877694ACN114877694A权利要求书1/1页1.一种炉盖门，其特征在于，包括门板、把手组件和定位组件，所述门板可转动地设置于设备平台上，所述把手组件可转动地设置于所述门板上，所述门板和所述把手组件的转动平面位于同一平面；所述定位组件连接于所述门板和所述把手组件之间，所述定位组件用于在所述门板封闭退火炉的炉体的情况下对所述门板进行定位。2.根据权利要求1所述的炉盖门，其特征在于，所述定位组件包括锁扣挂钩和锁扣轴承，所述锁扣挂钩与所述把手组件相连接，所述锁扣轴承用于与所述设备平台连接；所述锁扣挂钩用于在所述门板封闭所述炉体的情况下与所述锁扣轴承相扣接，以对所述门板进行定位。3.根据权利要求2所述的炉盖门，其特征在于，所述锁扣挂钩具有曲面，所述锁扣轴承在与所述锁扣挂钩相扣接时与所述曲面相抵接。4.根据权利要求2所述的炉盖门，其特征在于，所述把手组件包括把手和拉杆，所述把手可转动地设置于所述门板上，所述拉杆与所述把手相连接；所述定位组件还包括氮气弹簧和连杆，所述氮气弹簧的一端连接于门板上，所述氮气弹簧的另一端与所述连杆的一端相连接，所述连杆的另一端与所述把手相连接；所述锁扣挂钩与所述锁扣轴承相扣接以使所述氮气弹簧发生形变；所述锁扣挂钩与所述锁扣轴承解除扣接时所述氮气弹簧恢复形变，以使所述把手相对所述门板转动。5.根据权利要求4所述的炉盖门，其特征在于，所述把手组件还包括连接件和柱销，所述柱销与所述门板相连接，所述连接件与所述柱销转动连接，所述把手、所述连杆、所述锁扣挂钩均与所述连接件固定连接。6.根据权利要求5所述的炉盖门，其特征在于，所述连接件设置于所述把手和所述连杆之间，所述锁扣挂钩设置于所述连杆背离所述连接件的一侧；所述把手、所述连杆和所述锁扣挂钩均与所述连接件通过螺栓连接。7.根据权利要求4所述的炉盖门，其特征在于，所述门板具有相对的两个侧壁，所述把手与所述侧壁相平行，所述拉杆与所述侧壁相垂直。8.根据权利要求4所述的炉盖门，其特征在于，所述把手在所述氮气弹簧处于自然状态下时与所述门板呈夹角设置。9.根据权利要求1所述的炉盖门，其特征在于，所述门板上设置有支撑杆，所述把手组件可转动地设置于所述支撑杆上，所述定位组件连接于所述支撑杆和所述把手组件之间；所述支撑杆的一端延伸至所述门板的一侧并与所述设备平台转动连接。10.一种退火炉，其特征在于，包括如权利要求1‑9任一项所述的炉盖门。2CN114877694A说明书1/5页一种炉盖门及退火炉技术领域[0001]本发明涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种炉盖门及退火炉。背景技术[0002]在半导体及其他行业设备中，炉盖门构成设备的重要组成部分。[0003]现有的退火炉的炉盖门手动关闭后，还需要夹具紧固炉盖门。但由于夹具是在炉盖门关闭后再安装到炉盖门上的，所以存在操作不够便捷，容易出现炉盖门松动影响设备安全或设备工艺的问题。发明内容[0004]本发明的目的包括，例如，提供了一种炉盖门，其能够提升操作的便捷性，以解决炉盖门松动的问题。[0005]本发明的目的还包括，提供了一种退火炉，其能够提升操作的便捷性，以解决炉盖门松动的问题。[0006]本发明的实施例可以这样实现：[0007]本发明的实施例提供了一种炉盖门，其包括门板、把手组件和定位组件，所述门板可转动地设置于设备平台上，所述把手组件可转动地设置于所述门板上，所述门板和所述把手组件的转动平面位于同一平面；[0008]所述定位组件连接于所述门板和所述把手组件之间，所述定位组件用于在所述门板封闭退火炉的炉体的情况下对所述门板进行定位。[0009]可选的，所述定位组件包括锁扣挂钩和锁扣轴承，所述锁扣挂钩与所述把手组件相连