一种单晶炉的炉盖.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN105671643A(43)申请公布日2016.06.15(21)申请号201610151794.0(22)申请日2016.03.16(71)申请人江苏华盛天龙光电设备股份有限公司地址213200江苏省常州市金坛区金坛经济开发区华城路318号(72)发明人潘清跃王平(51)Int.Cl.C30B35/00(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图2页(54)发明名称一种单晶炉的炉盖(57)摘要本发明涉及一种单晶炉的炉盖，包括炉盖主体、过流阀、出气管、气体处理装置和定位机构，所述的炉盖主体呈向上凸的弧形，所述的炉盖主体内设置有空心腔体，所述的炉盖主体下端的两侧设置有连接座，所述的炉盖主体通过两侧的连接座安装在炉体的上沿处，所述的炉盖主体的弧形内壁上开设有过流通道，所述的过流通道与空心腔体相连通，所述的过流阀安装在过流通道内，所述的出气管穿过炉盖主体的上侧壁与空心腔体相连通，所述的气体处理装置安装在出气管的出气口处，所述的定位机构设置在连接座与炉体的上沿之间。本设计具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。CN105671643ACN105671643A权利要求书1/1页1.一种单晶炉的炉盖，其特征在于：包括炉盖主体(1)，所述的炉盖主体(1)呈向上凸的弧形，所述的炉盖主体(1)内设置有空心腔体(2)，所述的炉盖主体(1)下端的两侧设置有连接座(3)，所述的炉盖主体(1)通过两侧的连接座(3)安装在炉体的上沿处，过流阀(4)，所述的炉盖主体(1)的弧形内壁上开设有过流通道(5)，所述的过流通道(5)与空心腔体(2)相连通，所述的过流阀安装在过流通道(5)内，出气管(6)，所述的出气管(6)穿过炉盖主体(1)的上侧壁与空心腔体2相连通，气体处理装置(7)，所述的气体处理装置(7)安装在出气管(6)的出气口处，定位机构，所述的定位机构设置在连接座(3)与炉体的上沿之间。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉的炉盖，其特征在于：所述的过流阀(4)包括阀筒(9)、阀盖(10)、弹簧(12)和阀芯(11)，所述的阀筒(9)位于过流通道(3)内，所述的阀盖(10)连接在阀筒(9)的上端，所述的阀芯(11)活动连接在阀筒(9)内，所述的阀芯(11)通过弹簧(12)与阀盖(10)相连，所述的阀筒(9)的侧壁上开设有溢流通道(13)，所述的阀盖(10)上相对于溢流通道(13)的位置设置有溢流孔(14)，所述的溢流通道(13)通过溢流孔(14)与过流通道(5)相连通。3.根据权利要求1所述的一种单晶炉的炉盖，其特征在于：所述的气体处理装置(7)为气体采集袋。4.根据权利要求1所述的一种单晶炉的炉盖，其特征在于：所述的定位机构包括开设在连接座(3)底部的导向槽(15)、开设在炉体上沿表面的半圆形卡槽(16)、球形卡头(17)和弹簧(18)，所述的球形卡头(17)通过弹簧(18)连接在导向槽(15)内，当导向槽(15)正对半圆形卡槽(16)时，球形卡头(17)在弹簧(18)的作用下会卡入半圆形卡槽(16)内。2CN105671643A说明书1/2页一种单晶炉的炉盖技术领域[0001]本发明专利涉及单晶炉技术领域，特别是一种单晶炉的炉盖。背景技术[0002]单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。单晶硅需要在高压的环境下进行制备，但是当单晶炉内的压力过大后很容易造成自身结构的损坏，所以设计一种具有压力保护功能的单晶炉炉盖就显得尤为重要。发明内容[0003]本发明的目的就是通过过流阀来对单晶炉起到自我保护的功能，防止单晶炉内气体压强过大而造成自身结构的损坏；发明了一种单晶炉的炉盖。[0004]为解决上述的技术问题，本发明提供了一种单晶炉的炉盖，包括[0005]炉盖主体，所述的炉盖主体呈向上凸的弧形，所述的炉盖主体内设置有空心腔体，所述的炉盖主体下端的两侧设置有连接座，所述的炉盖主体通过两侧的连接座安装在炉体的上沿处，[0006]过流阀，所述的炉盖主体的弧形内壁上开设有过流通道，所述的过流通道与空心腔体相连通，所述的过流阀安装在过流通道内，[0007]出气管，所述的出气管穿过炉盖主体的上侧壁与空心腔体相连通，[0008]气体处理装置，所述的气体处理装置安装在出气管的出气口处，[0009]定位机构，所述的定位机构设置在连接座与炉体的上沿之间。[0010]进一步：所述的过流阀包括阀筒、阀盖、弹簧和阀芯，所述的阀筒位于过流通道内，所述的阀盖连接在阀筒的上端，所述的阀芯活动连接在阀筒内，所