一种单晶炉炉盖.pdf
雨巷****轶丽
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一种单晶炉炉盖.pdf
本发明涉及一种单晶炉炉盖,包括炉盖本体,所述的炉盖本体包括外炉盖和内炉盖,炉盖上设有观察窗;在所述的外炉盖与内炉盖上以炉盖本体的中心为圆心开设有一个圆环开口,圆环开口处的内外炉盖之间焊接形成凹槽,圆环开口与凹槽组合形成十字形圆环滑道;在十字形圆环滑道上设置一个与之相应的十字形圆环,两者滑动连接;所述的观察窗包括有视窗和视窗筒体,所述十字形圆环的竖直方向上设有与视窗筒体大小一致的螺纹孔,所述视窗筒体螺旋连接在所述的十字形圆环上。观察窗设置在与T形圆环开口滑动连接的T形圆环上,使得观察窗可以以炉盖中心为圆心作
一种单晶炉的炉盖.pdf
本发明涉及一种单晶炉的炉盖,包括炉盖盖体,所述的炉盖盖体可拆卸地连接在炉体上,所述的炉盖盖体的上端还连接有进料筒,所述的进料筒的顶部活动连接有密封盖,所述的炉盖盖体的中心处开设有进料槽,所述的进料槽内安装有粉碎装置,所述的粉碎装置是由四个粉碎滚筒所组成,所述的四个粉碎滚筒依次水平安装在进料槽的内壁上,所述的粉碎滚筒是由电机、转动轴和粉碎筒体所组成,所述的电机以嵌入的形式安装在进料槽的内壁上,所述的电机与转动轴相连,所述的粉碎筒体套装在转动轴上。本设计具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。
一种单晶炉的炉盖.pdf
本发明涉及一种单晶炉的炉盖,包括炉盖主体、过流阀、出气管、气体处理装置和定位机构,所述的炉盖主体呈向上凸的弧形,所述的炉盖主体内设置有空心腔体,所述的炉盖主体下端的两侧设置有连接座,所述的炉盖主体通过两侧的连接座安装在炉体的上沿处,所述的炉盖主体的弧形内壁上开设有过流通道,所述的过流通道与空心腔体相连通,所述的过流阀安装在过流通道内,所述的出气管穿过炉盖主体的上侧壁与空心腔体相连通,所述的气体处理装置安装在出气管的出气口处,所述的定位机构设置在连接座与炉体的上沿之间。本设计具有结构简单、易于制造和实用高效
一种炉盖发黑处理的单晶生长炉.pdf
本发明公开了一种炉盖发黑处理的单晶生长炉,包括炉体、保温筒、晶棒、水冷热屏、加热器、坩埚、埚帮、炉盖、炉盖吸热层和热屏吸热层;所述水冷热屏本体的内壁发黑处理,能够提高热吸收效果,结晶界面的结晶潜热能快速释放,起到提高拉速潜力作用。由于水冷屏上方空间大,同样存在热量积累,在所述炉盖上做发黑处理,有利于热辐射的热量更快速的释放,晶棒经历热历史温度降低和时间缩短。因此本发明能起到提高拉速作用,同时还能起到降低热施主,减少长晶后二次缺陷的产生。
单晶炉中轴盖.pdf
本发明单晶炉中轴盖,包括接触板以及设置在所述接触板上、下表面的内圈及提拉环;其中所述接触板为圆形,所述接触板的直径大于单晶炉中轴管道口的内直径;所述内圈为圆形,所述内圈的直径小于单晶炉中轴管道口的内直径。所述接触板与所述内圈同轴设置。本发明单晶炉中轴盖使用中轴盖,在单晶炉热场清扫过程中覆盖在中轴管道之上,防止氧化物粉尘、颗粒堵塞管道。