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一种用于单晶材料制备的感应加热式长晶炉.pdf
2023-06-15
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曾琪****是我
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一种用于单晶材料制备的感应加热式长晶炉.pdf
本发明属于半导体领域，具体的说是一种用于单晶材料制备的感应加热式长晶炉，包括长晶炉本体和进料管，所述长晶炉本体的顶部固定连接有进料管；所述进料管的内部滑动连接有导流管，所述导流管的内部固定安装有多组对称分布的导向块，所述导流管的底部开设有通槽，所述导流管的侧壁固定连接有多组引流管；本发明通过出气孔内的过滤网起到防止Sic原料反应时通过出气孔进入引流管内，且导流管内的氢气也会通过通槽直接流入长晶炉本体内，实现全方位的流入长晶炉本体内，导流管内的导向块起到引导氢气，方便氢气快速从通槽流出的作用。
2023-06-15
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一种碳化硅单晶的制备方法及一种单晶长晶炉、单晶长晶炉的加热装置.pdf
本发明涉及单晶制备技术领域，具体涉及一种碳化硅单晶的制备方法及一种单晶长晶炉、单晶长晶炉的加热装置。本发明提供了一种单晶长晶炉的加热装置，包括第一加热器1和第二加热器2，所述第二加热器2包括多个独立工作的加热单元21，所述第一加热器1为蛇形加热器或平面螺旋形加热器，所述加热单元21为环形加热器，本发明提供的加热装置能够实现对所述单晶生长腔内的温度进行精确控制，从而制备SiC单晶时能够得到高质量、大尺寸的SiC单晶。
2023-06-15
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一种用于PVT法制备单晶的长晶炉及其应用.pdf
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2023-06-15
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2023-06-15
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