一种晶圆片转移装置及腐蚀方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115295470A(43)申请公布日2022.11.04(21)申请号202211219357.X(22)申请日2022.10.08(71)申请人四川上特科技有限公司地址629201四川省遂宁市射洪县河东大道88号(72)发明人冯永胡仲波王一超蒋红全周建余(74)专利代理机构成都诚中致达专利代理有限公司51280专利代理师阮涛(51)Int.Cl.H01L21/677(2006.01)H01L21/67(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图10页(54)发明名称一种晶圆片转移装置及腐蚀方法(57)摘要本发明公开了一种晶圆片转移装置及腐蚀方法，装置包括升降组件、转动组件。升降组件设于基座上，其顶部转动配合有立杆，立杆顶部连接有倒U型架，倒U型架两端分别用于装配转移框，转移框内用于存放晶圆片；当立杆处于最低处时，倒U型架其中一端位于腐蚀池内，另一端位于操作台顶部，操作台用于完成倒U型架端部转移框的拆卸及更换；转动组件设于支撑杆上，用于在立杆处于最高处时将其转动180°。自动完成转移框在腐蚀池的下浸和提取过程，减少人工的参与，并降低人工接触酸性腐蚀液的风险。CN115295470ACN115295470A权利要求书1/2页1.一种晶圆片转移装置，其特征在于，包括：升降组件（2），设于基座上，其顶部转动配合有立杆（5），立杆（5）顶部连接有倒U型架（51），倒U型架（51）两端分别用于装配转移框（4），转移框（4）内用于存放晶圆片，当立杆（5）处于最低处时，倒U型架（51）其中一端位于腐蚀池（1）内，另一端位于操作台（6）顶部，操作台（6）用于完成倒U型架（51）端部转移框（4）的拆卸及更换；转动组件（3），设于支撑杆上，用于在立杆（5）处于最高处时将其转动180°。2.根据权利要求1所述的晶圆片转移装置，其特征在于，立杆（5）贯穿两个装配座（55），装配座（55）连接于F型支撑柱（56），升降组件（2）包括电机（21）、第一带轮（22）、转杆（23）、导向槽（24）、中心杆（25），电机（21）设于基座上，电机（21）输出轴连接第一带轮（22），转杆（23）一端通过水平杆连接于第一带轮（22），转杆（23）另一端远离水平杆的方向设有导向柱（231），中心杆（25）顶部与立杆（5）转动配合连接，底部固定连接导向槽（24）顶部，导向槽（24）两端为水平槽，中间为上凸的圆型槽，导向柱（231）匹配于导向槽（24）内。3.根据权利要求2所述的晶圆片转移装置，其特征在于，转动组件（3）包括第二带轮（31）、皮带（32）、拨动盘（33）、拨动柱（34），第二带轮（31）和拨动盘（33）中心之间通过连杆连接，连杆转动配合于支撑杆，第二带轮（31）、第一带轮（22）通过皮带（32）传动连接，拨动盘（33）包括两个弧形板（331）和两个拨动杆（332），四者间隔、且周向均匀分布，立杆（5）相对两侧设有凸条（54），拨动柱（34）内壁相对位置设有限位槽（341），拨动柱（34）套于立杆（5）的两个装配座（55）之间，凸条（54）位于限位槽（341）内，立杆（5）及凸条（54）转动配合于装配座（55）内，拨动柱（34）顶部和底部设有挡板（342），挡板（342）外沿相对位置处设有凹槽（344），位于同一竖直线的两个凹槽（344）用于匹配其中一个弧形板（331），拨动柱（34）外壁上，位于斜对角的两个凹槽（344）之间设有拨动槽（343），用于匹配其中一个拨动杆（332）。4.根据权利要求3所述的晶圆片转移装置，其特征在于，当立杆（5）处于最低处时，两个弧形板（331）的连线为水平状态，且其中一个弧形板（331）匹配于两个凹槽（344）内；当转杆（23）在水平杆中心以上的范围内转动，且导向柱（231）在圆型槽内滑动的过程中，导向槽（24）保持高度不变，立杆（5）也保持在最高位置，然后其中一个拨动杆（332）沿着其中一个拨动槽（343）滑动，以使拨动柱（34）、立杆（5）转动180°。5.根据权利要求1~4中任一项所述的晶圆片转移装置，其特征在于，倒U型架（51）端部均设有倒U型板（52），倒U型板（52）两端侧壁设有倒L型卡槽（53），转移框（4）两端设有限位柱（41），限位柱（41）通过倒L型卡槽（53）装配于倒U型板（52）。6.根据权利要求5所述的晶圆片转移装置，其特征在于，当立杆（5）处于最低处时，操作台（6）顶部的转移框（4）的限位柱（41）与倒L型卡槽（53）横段齐平。7.一种晶圆片腐蚀方法，其特征在于，采用如权利要求6所述的晶圆片转移装置，包括以下步骤：装配阶段：将第一个装有待腐蚀晶圆片的转移框（4）放置于操作台（6）顶部，将该转移框（4）移动至倒U型板（52）内，同时