一种卧式装炉沉积炉.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114990521A(43)申请公布日2022.09.02(21)申请号202210713756.5C23C16/46(2006.01)(22)申请日2022.06.22C23C16/52(2006.01)(71)申请人湖南九华碳素高科有限公司地址411100湖南省湘潭市九华经济区纬一路5号(72)发明人卜洛(74)专利代理机构湖南会挽专利代理事务所(普通合伙)43286专利代理师刁飞(51)Int.Cl.C23C16/26(2006.01)C04B35/83(2006.01)C23C16/44(2006.01)C23C16/455(2006.01)C23C16/458(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图4页(54)发明名称一种卧式装炉沉积炉(57)摘要本发明涉及沉积炉技术领域，尤其涉及一种卧式装炉沉积炉。其技术方案包括：沉积炉本体、门板、密封罩、密封结构、分气器和进气管，所述沉积炉本体一侧外壁设置有门板，所述沉积炉本体下端外壁一侧插接安装有密封罩，所述密封罩下端外壁一侧插接安装有进气管，所述密封罩内壁下端一侧安装有密封结构，通过设置门板、连接罩和挡板，达到了提高工件加工质量的效果，保证了对工件本体的加工质量，保证了反应气体的温度便于控制，提高了对工件本体的加工质量。CN114990521ACN114990521A权利要求书1/2页1.一种卧式装炉沉积炉，包括沉积炉本体(1)、门板(2)、密封罩(3)、密封结构(4)、分气器(32)和进气管(36)，其特征在于：所述沉积炉本体(1)一侧外壁设置有门板(2)，所述沉积炉本体(1)下端外壁一侧插接安装有密封罩(3)，所述密封罩(3)下端外壁一侧插接安装有进气管(36)，所述密封罩(3)内壁下端一侧安装有密封结构(4)。2.根据权利要求1所述的一种卧式装炉沉积炉，其特征在于：所述沉积炉本体(1)包括加热装置本体(11)、传动辊(15)、输送带(16)、料板(17)和工件本体(18)，所述加热装置本体(11)嵌入安装于沉积炉本体(1)内壁，所述加热装置本体(11)能够提高沉积炉本体(1)内部的温度；所述传动辊(15)转动安装于沉积炉本体(1)内壁下端，且输送带(16)位于传动辊(15)外壁，所述输送带(16)采用链条输送网设计，所述传动辊(15)能够带动输送带(16)转动；所述输送带(16)上端外壁一侧放置有料板(17)，且料板(17)上端外壁放置有工件本体(18)，所述料板(17)能够支撑工件本体(18)，且料板(17)能够被输送带(16)带动移动。3.根据权利要求1所述的一种卧式装炉沉积炉，其特征在于：所述沉积炉本体(1)还包括连通管(12)、过滤装置本体(13)和排气管(14)，所述连通管(12)插接安装于沉积炉本体(1)内壁上端，所述沉积炉本体(1)内部的气体能够通过连通管(12)进入过滤装置本体(13)内部；所述过滤装置本体(13)安装于沉积炉本体(1)上端，且过滤装置本体(13)与连通管(12)相连通，所述过滤装置本体(13)能够过连通管(12)内部的气体进行过滤；所述排气管(14)插接安装于过滤装置本体(13)一侧外壁，且排气管(14)的位于连通管(12)另一侧，所述过滤装置本体(13)内部气体能够通过排气管(14)排出。4.根据权利要求1所述的一种卧式装炉沉积炉，其特征在于：所述门板(2)包括连接块(21)和卡套(22)，所述连接块(21)安装于门板(2)上端外壁；所述卡套(22)安装于沉积炉本体(1)上端一侧，且连接块(21)转动安装于卡套(22)内部，且卡套(22)外壁安装有驱动电机，驱动电机能够带动连接块(21)在卡套(22)内部发生圆周转动。5.根据权利要求1所述的一种卧式装炉沉积炉，其特征在于：所述门板(2)还包括第一密封垫(23)、固定板(24)、连接罩(25)、温度传感器(26)和第二密封垫(27)，所述第一密封垫(23)贴合固定于门板(2)一侧，且第一密封垫(23)保证了门板(2)与沉积炉本体(1)之间的密封性；所述固定板(24)安装于门板(2)外壁；所述连接罩(25)安装于沉积炉本体(1)外壁，且第二密封垫(27)贴合固定于连接罩(25)外壁，所述第二密封垫(27)保证了连接罩(25)和固定板(24)之间的密封性；所述温度传感器(26)嵌入安装于连接罩(25)内壁，所述温度传感器(26)能够检测出连接罩(25)内部空气的温度。6.根据权利要求1所述的一种卧式装炉沉积炉，其特征在于：所述密封罩(3)内壁上端一侧安装有分气器(32)，所述分气器(32)能够分散气体，使气体均匀进入沉积炉本体(1)内部。7.根据权利要求1所述的一种卧式装炉沉积炉，其特征在于：所述密封罩(3)内壁一侧安装