一种单晶炉真空过滤装置及清理方法.pdf
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一种单晶炉真空过滤装置及清理方法.pdf
本发明公开了一种单晶炉真空过滤装置及清理方法,涉及太阳能光伏技术领域。包括壳体、过滤机构、控制器,过滤机构包括第一过滤机构、若干个第二过滤机构,过滤机构包括过滤箱、进气管,过滤箱内卡设有过滤框,过滤框与过滤箱可相对转动,过滤框连接驱动电机;所述过滤框内贯穿有若干个过滤孔。本发明提供一种单晶炉真空过滤装置及清理方法,可自动对过滤框内残存的杂质进行清理,能够保证过滤孔的正常使用,能够提高过滤的速度,进而提高可过滤气体的量,保证真空泵的正常使用,且清理过滤机构时,其中的一个过滤机构在正常运转,可正常对进入的气体
尾气过滤装置及单晶炉真空系统.pdf
本发明公开的尾气过滤装置,其罐体上分别设有进气口和出气口,罐体内设有浸入过滤油内的第一过滤部和第二过滤部,第二过滤部环绕设置于第一过滤部的周围且位于第一过滤部靠近过滤油液面的一侧。本发明公开的单晶炉真空系统,包括单晶炉、真空泵以及尾气过滤装置,尾气过滤装置连接于单晶炉和真空泵之间。本发明的尾气过滤装置利用两个过滤部对进入的尾气进行分流,使带有杂质的尾气与过滤油充分地接触使得杂质润湿后进入过滤油中,并沉入罐体底部。本发明的单晶炉真空系统在单晶炉与真空泵之间设置尾气过滤装置,该尾气过滤装置可过滤吸收尾气中的大
一种单晶炉真空管道清理装置.pdf
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一种用于单晶炉真空系统的气体过滤装置.pdf
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一种单晶炉真空管道清理方法.pdf
本申请公开了一种单晶炉真空管道清理方法,在长晶加热时,向真空管道内通入含氧气体,所述含氧气体与所述真空管道内壁上附着的SiO