

一种单晶炉真空过滤装置及清理方法.pdf
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一种单晶炉真空过滤装置及清理方法.pdf
本发明公开了一种单晶炉真空过滤装置及清理方法,涉及太阳能光伏技术领域。包括壳体、过滤机构、控制器,过滤机构包括第一过滤机构、若干个第二过滤机构,过滤机构包括过滤箱、进气管,过滤箱内卡设有过滤框,过滤框与过滤箱可相对转动,过滤框连接驱动电机;所述过滤框内贯穿有若干个过滤孔。本发明提供一种单晶炉真空过滤装置及清理方法,可自动对过滤框内残存的杂质进行清理,能够保证过滤孔的正常使用,能够提高过滤的速度,进而提高可过滤气体的量,保证真空泵的正常使用,且清理过滤机构时,其中的一个过滤机构在正常运转,可正常对进入的气体
尾气过滤装置及单晶炉真空系统.pdf
本发明公开的尾气过滤装置,其罐体上分别设有进气口和出气口,罐体内设有浸入过滤油内的第一过滤部和第二过滤部,第二过滤部环绕设置于第一过滤部的周围且位于第一过滤部靠近过滤油液面的一侧。本发明公开的单晶炉真空系统,包括单晶炉、真空泵以及尾气过滤装置,尾气过滤装置连接于单晶炉和真空泵之间。本发明的尾气过滤装置利用两个过滤部对进入的尾气进行分流,使带有杂质的尾气与过滤油充分地接触使得杂质润湿后进入过滤油中,并沉入罐体底部。本发明的单晶炉真空系统在单晶炉与真空泵之间设置尾气过滤装置,该尾气过滤装置可过滤吸收尾气中的大
一种用于单晶炉真空系统的气体过滤装置.pdf
本发明公开了一种用于单晶炉真空系统的气体过滤装置包括:过滤装置本体,所述过滤装置本体上设置有进气口、出气口和排气口,所述进气口与分子泵连接,所述出气口与机械泵连接,过滤装置本体内部设置有过滤腔,所述过滤腔中靠近进气口装有变色硅胶,靠近出气口装有活性炭,过滤腔中安装有加热源。本装置可同时除去来自炉腔和空气中的水分子以及来自机械泵产生的油分子和其他杂质。保护了分子泵和机械泵不被污染,延长了使用寿命;增加了单晶生长室内气氛的纯净度,提高单晶生长质量。
一种单晶炉真空管道清理装置.pdf
本申请公开了一种单晶炉真空管道清理装置,包括真空管道和真空泵,还包括:与所述真空管道连通的供气管道,用于向所述真空管道内通入含氧气体;设置在所述供气管道上的通断阀。本申请中的单晶炉真空管道清理装置从长晶加热开始,打开供气管道上的通断阀,向真空管道中通入含氧气体,使真空管道内壁上附着的SiO
一种用于单晶炉真空除尘过滤的系统.pdf
本发明公开了一种用于单晶炉真空除尘过滤的系统,包括安全充气阀、过滤罐盖、过滤罐体、蜂窝状超细纤维纸、铝合金内筒、进气口和出气口,所述过滤罐体上设有可开启式过滤罐盖,过滤罐盖上设有安全充气阀,过滤罐体内设有铝合金内筒,所述蜂窝状超细纤维纸固定在铝合金内筒上,过滤罐体的下面设有出气口,过滤罐体的侧面设有进气口。本发明采用蜂窝状的超细纤维纸做为过滤介质,能够过滤更细小的杂质,同时蜂窝状的结构,使其过气面积大大增加,提高了过气效率。对于过滤更多更小的杂质,减少真空泵油的用量,延长真空泵的使用寿命,提高单晶炉内真空