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一种高纯石墨毡制备方法.pdf
2023-06-15
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沛芹****ng
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一种高纯石墨毡制备方法.pdf
本发明公开了一种高纯石墨毡制备方法，采用立式真空感应炉设备对碳毡或石墨毡实施高温化学提纯，通过物料单元、物料单元集合和单元模块组合结构，在毡体之间合理设置气道，有利于杂质排放、物料快速加热和受热均匀，提高了纯化效果，在高温环境下采用多次真空～微正压循环，有利于清除纯化气体中的氯元素和氟元素杂质。本发明制备的高纯石墨毡或石墨布杂质含量小于5ppm，可以满足半导体行业的要求。
2023-06-15
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一种高纯石墨毡的制备方法及晶硅炉.pdf
本发明公开一种高纯石墨毡的制备方法及晶硅炉，所述制备方法包括以下步骤：将石墨芯棒卷入碳毡中得碳毡卷；将碳毡卷置入炉压小于30Pa的烧结炉中，进行分段控温烧结；首先升温至600‑800℃，保温100‑140min，并同时向烧结炉内通入氩气；再升温至1850‑1900℃，保温200‑280min；最后将烧结炉降温至100℃以下，取出、展开并冷却，即得高纯石墨毡。所述晶硅炉采用该高纯石墨毡作为隔热保温层。本发明提供的方法烧制出的石墨毡品质稳定，杂质含量低，在单晶热场内(1600℃)使用无挥发物溢出、石墨粉尘最小
2023-06-16
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本发明属于无机非金属材料提纯技术领域，具体涉及一种高纯煤系石墨的制备方法。包括：1)将天然煤系石墨粉碎并压制成煤系石墨片；2)将硫酸盐水溶液与HF溶液混合，得混合溶液；3)以惰性电极为阴极，煤系石墨片为阳极，混合溶液为电解液；将阳极、阴极与直流电源相连，浸入电解液中，先在恒压+1.5～+4V保持1～5min，得膨胀的石墨阳极片；再将电压升到+5～+10V保持1～5min，阳极持续剥落至电压变为0V；4)将步骤3)处理后的电解液搅拌或超声，静置，再对悬浮液洗涤和干燥，即得。该方法所得高纯煤系石墨的结构缺陷降
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