光纤用玻璃母材的制造方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115611507A(43)申请公布日2023.01.17(21)申请号202210642268.X(22)申请日2022.06.08(30)优先权数据2021-1153132021.07.12JP(71)申请人信越化学工业株式会社地址日本东京都千代田区丸之内一丁目4-1号(72)发明人小岛大辉井上大(74)专利代理机构深圳新创友知识产权代理有限公司44223专利代理师江耀锋(51)Int.Cl.C03B37/014(2006.01)权利要求书1页说明书9页附图8页(54)发明名称光纤用玻璃母材的制造方法(57)摘要本发明提供一种折射率分布在玻璃母材的长度方向上稳定的光纤用玻璃母材的制造方法。本发明的玻璃母材的制造方法的特征在于，包括通过气相法来沉积多孔质玻璃母材的工序，且包括如下工序，即，在对所述多孔质玻璃母材进行烧结时，将所述多孔质玻璃母材插入到烧结炉的容器内，利用设置在该容器外周的加热器对容器内进行加热而形成加热区域，在所述加热区域内对所述多孔质玻璃母材进行烧结，且该制造方法是在使多孔质玻璃母材的长度方向的表面温差为50℃以下后开始所述烧结。CN115611507ACN115611507A权利要求书1/1页1.一种光纤用玻璃母材的制造方法，包括通过气相法来沉积多孔质玻璃母材的工序，且包括如下工序，即，在将所述多孔质玻璃母材烧结时，将所述多孔质玻璃母材插入到烧结炉的容器内，利用设置在该容器外周的加热器对容器内进行加热来形成加热区域，将所述多孔质玻璃母材在所述加热区域内进行烧结，且该制造方法是在使多孔质玻璃母材的长度方向的表面温差为50℃以下后开始所述烧结。2.根据权利要求1所述的光纤用玻璃母材的制造方法，其中对所述多孔质玻璃母材一边使其沿所述多孔质玻璃母材的轴向在所述加热区域中移动，一边进行烧结。3.根据权利要求1或2所述的光纤用玻璃母材的制造方法，其中在使所述多孔质玻璃母材表面的最低温度为200℃以下后实施所述烧结。4.根据权利要求1至3中任一项所述的光纤用玻璃母材的制造方法，其中进行所述烧结的工序，还包括进行氯处理的脱水工序与进行透明玻璃化的玻璃化工序。5.根据权利要求4所述的光纤用玻璃母材的制造方法，其中向所述脱水工序的环境气体中添加氟化合物气体。6.根据权利要求5所述的光纤用玻璃母材的制造方法，其中使所述氟化合物气体为SiF4、CF4、SF6、C2F6中的任一种。7.根据权利要求1至6中任一项所述的光纤用玻璃母材的制造方法，其中在所述多孔质玻璃母材中掺杂有Ge。8.一种光纤用玻璃母材的制造方法，包括通过气相法来沉积多孔质玻璃母材的工序，且包括如下工序，即，在对所述多孔质玻璃母材进行烧结时，将所述多孔质玻璃母材插入到烧结炉的容器内，利用设置在该容器外周的加热器对容器内进行加热来形成加热区域，对所述多孔质玻璃母材在所述加热区域内进行烧结，且该制造方法中，将沉积所述多孔质玻璃母材的工序结束后至对所述多孔质玻璃母材在所述加热区域内进行烧结的工序开始为止的时间设为2.5小时以上。9.根据权利要求8所述的光纤用玻璃母材的制造方法，其中将沉积所述多孔质玻璃母材的工序结束后至对所述多孔质玻璃母材在所述加热区域内进行烧结的工序开始为止的时间设为5小时以上。10.一种光纤用玻璃母材的制造方法，其包括通过气相法来沉积多孔质玻璃母材的工序，且包括如下工序，即，在对所述多孔质玻璃母材进行烧结时，将所述多孔质玻璃母材插入到烧结炉的容器内，利用设置在该容器外周的加热器对容器内进行加热来形成加热区域，对所述多孔质玻璃母材在所述加热区域内进行烧结，且该制造方法中，将所述多孔质玻璃母材插入到烧结炉的容器内后至对所述多孔质玻璃母材在所述加热区域内进行烧结的工序开始为止的时间设为1小时以下。11.根据权利要求10所述的光纤用玻璃母材的制造方法，其中将所述多孔质玻璃母材插入到烧结炉的容器内后至对所述多孔质玻璃母材在所述加热区域内进行烧结的工序开始为止的时间设为0.5小时以下。2CN115611507A说明书1/9页光纤用玻璃母材的制造方法技术领域[0001]本发明涉及一种对多孔质玻璃母材进行脱水、烧结的透明玻璃化处理，尤其是涉及一种在长度方向具有均匀特性的光纤用玻璃母材的制造方法。背景技术[0002]为了制造光纤用玻璃母材，首先要通过包含气相轴向沉积法(VAD，vaporphaseaxialdeposition)、外气相蒸镀沉积法(OVD，outsidevapordeposition)的各种方法来制作多孔质玻璃母材。利用这些方法制作的多孔质玻璃母材均由仅玻璃微粒子的集合体或在透明玻璃棒的外周沉积玻璃微粒子而成者形成。其后，对多孔质玻璃母材在经过于氯气环境中以1000～1300℃加热来进行脱水处