一种氮化硅烧结炉.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115727665A(43)申请公布日2023.03.03(21)申请号202211381298.6(22)申请日2022.11.07(71)申请人衡阳凯新特种材料科技有限公司地址421001湖南省衡阳市雁峰区白沙洲工业园区工业大道46号(72)发明人肖亮邓小沣钱利洪谭庆文朱福林(51)Int.Cl.F27B5/05(2006.01)F27B5/06(2006.01)F27B5/18(2006.01)F27D17/00(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图2页(54)发明名称一种氮化硅烧结炉(57)摘要本发明公开一种氮化硅烧结炉，涉及烧结炉领域；包括炉壳、抽真空系统、气路系统，炉壳内设置有炉胆，炉胆侧壁上设置有加热元件，气路系统包括上气路系统和下气路系统，上气路系统包括上布气管、上进气管、上排气管；下气路系统包括下布气管、下进气管、下排气管；上排气管和下排气管的末端分别与总排气管连接，总排气管与过滤箱固定连接，过滤箱的内部固定连接有第一过滤板，且过滤箱的下端内部中间位置处固定连接有吹风扇，过滤箱的左端固定连接有除尘管，且除尘管的内部固定连接有抽风机，除尘管的另一端固定连接有布袋除尘器，过滤箱的右端下侧固定连接有出气管。本发明能够改善烧结炉内气流流向，从而解决产品质量不稳定的问题。CN115727665ACN115727665A权利要求书1/1页1.一种氮化硅烧结炉，其特征在于：包括炉壳、抽真空系统、气路系统，所述炉壳内部固定设置有炉胆，炉胆的侧壁上设置有加热元件和热电偶，所述气路系统包括上气路系统和下气路系统，所述上气路系统包括上布气管、上进气管、上排气管，上布气管设置在炉胆的顶壁下方，上进气管穿过炉壳和炉胆与上布气管连通，上排气管设置在炉壳外面并与上进气管连通，在上进气管的入口处设置有第一阀门，在上排气管的出口处设置有第二阀门；所述下气路系统包括下布气管、下进气管、下排气管，下布气管嵌在炉胆的底壁槽内，下进气管穿过炉壳和炉胆与下布气管连通，下排气管设置在炉壳外面并与下进气管连通，在下进气管的入口处设置有第三阀门，在下排气管的出口处设置有第四阀门；所述上排气管和下排气管的末端分别与总排气管连接，所述总排气管与过滤箱固定连接，所述过滤箱的内部固定连接有第一过滤板，且过滤箱的下端内部中间位置处固定连接有吹风扇，所述过滤箱的左端固定连接有除尘管，且除尘管的内部固定连接有抽风机，所述除尘管的另一端固定连接有布袋除尘器，所述过滤箱的右端下侧固定连接有出气管。2.根据权利要求1所述的氮化硅烧结炉，其特征在于：所述抽真空系统包括与所述炉壳内部连通的第一抽气管，第一抽气管的内部设有密封盖，密封盖远离炉壳的一端设有伸缩杆，伸缩杆的另一端伸出第一抽气管并连有气缸，第一抽气管的另一端连有第二抽气管，第二抽气管的内部设有过滤装置，第二抽气管的另一端连有真空泵。3.根据权利要求1所述的氮化硅烧结炉，其特征在于：所述炉壳上方的侧壁上固定设置有水箱，所述上排气管远离所述上进气管的一端伸入到所述水箱中，所述水箱的内部设有波浪形的第一管道，第一管道的一端与所述上排气管相连，第一管道的另一端连有第二管道，第二管道的另一端位于水箱的外部，且所述第二管道与所述过滤箱顶部的总排气管连接，水箱的一侧设有进水管，水箱的另一侧设有出水管。4.根据权利要求1所述的氮化硅烧结炉，其特征在于：所述炉壳下方的侧壁上固定设置有水箱，所述下排气管远离所述下进气管的一端伸入到所述水箱中，所述水箱的内部设有波浪形的第一管道，第一管道的一端与所述下排气管相连，第一管道的另一端连有第二管道，第二管道的另一端位于水箱的外部，且所述第二管道与所述过滤箱顶部的总排气管连接，水箱的一侧设有进水管，水箱的另一侧设有出水管。5.根据权利要求2所述的氮化硅烧结炉，其特征在于：所述过滤装置包括沿靠近真空泵方向依次设置在第二抽气管内部的第一过滤网、第二过滤网和第三过滤网，且第一过滤网、第二过滤网和第三过滤网的网孔直径依次减小。6.根据权利要求1所述的氮化硅烧结炉，其特征在于：所述过滤箱的上端左右两侧均固定连接有弹簧，且弹簧的另一端固定连接有挡板。7.根据权利要求1所述的氮化硅烧结炉，其特征在于：所述炉壳为双层结构，在炉壳的底部设置有流水进管，在炉壳的顶部设置有流水出管，所述流水进管和流水出管均与双层结构的内部空间连通。8.根据权利要求1所述的氮化硅烧结炉，其特征在于：炉胆的结构从外向内依次为外壳和保温层，所述保温层由内到外依次包括石墨毡保温层、硅酸铝纤维保温层和耐火砖保温层。2CN115727665A说明书1/5页一种氮化硅烧结炉技术领域[0001]本发明涉及烧结炉技术领域，特别是涉及一种氮化硅烧结炉。背景技术[0002]烧结，是指把粉状物