一种氮化硅烧结炉降温装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115751982A(43)申请公布日2023.03.07(21)申请号202211381296.7(22)申请日2022.11.07(71)申请人衡阳凯新特种材料科技有限公司地址421001湖南省衡阳市雁峰区白沙洲工业园区工业大道46号(72)发明人曾小锋朱福林肖亮肖立许滔(51)Int.Cl.F27D9/00(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称一种氮化硅烧结炉降温装置(57)摘要本发明公开一种氮化硅烧结炉降温装置，包括水冷装置和风冷装置，水冷装置包括水冷套、水冷机和驱动泵，水冷套套设于烧结炉炉体外侧壁并与烧结炉炉体外侧壁之间构成水冷空间，水冷套下端通过进水管连接水冷机，驱动泵设置于进水管上，水冷套上端通过回水管连接水冷机，风冷装置包括气体冷却机构、风机和出风管总成，出风管总成套设于坩埚外，出风管总成上设有多个朝向坩埚侧壁的出风口，出风管总成通过进风管连接风机，风机连接气体冷却机构的输出端，烧结炉炉体上设有回风口，回风口通过回风管连接气体冷却机构的输入端。本发明能够对烧结炉进行全面的降温，使烧结炉炉体和其内部的坩埚能够得到有效的降温处理，缩短烧结炉的降温冷却时间。CN115751982ACN115751982A权利要求书1/1页1.一种氮化硅烧结炉降温装置，其特征在于：包括水冷装置和风冷装置，所述水冷装置包括水冷套、水冷机和驱动泵，所述水冷套套设于烧结炉炉体外侧壁并与所述烧结炉炉体外侧壁之间构成水冷空间，所述水冷套下端通过进水管连接所述水冷机的出水口，所述驱动泵设置于所述进水管上，所述水冷套上端通过回水管连接所述水冷机的进水口，所述风冷装置包括气体冷却机构、风机和出风管总成，所述出风管总成设置于所述烧结炉炉体内并套设于坩埚外，所述出风管总成上设有多个朝向所述坩埚侧壁的出风口，所述出风管总成通过进风管连接所述风机的出口，所述风机的进口连接所述气体冷却机构的输出端，所述烧结炉炉体上设有回风口，所述回风口通过回风管连接所述气体冷却机构的输入端。2.根据权利要求1所述的氮化硅烧结炉降温装置，其特征在于：所述出风管总成包括沿高度方向间隔设置的多个环形出风管，各所述环形出风管均套设于所述坩埚外，相邻两个所述环形出风管之间通过竖管连通，各所述环形出风管径向朝内的一侧均设有多个所述出风口。3.根据权利要求2所述的氮化硅烧结炉降温装置，其特征在于：各所述环形出风管等间距设置。4.根据权利要求2所述的氮化硅烧结炉降温装置，其特征在于：各所述环形出风管上的所述出风口沿周向均匀分布。5.根据权利要求1所述的氮化硅烧结炉降温装置，其特征在于：还包括热电偶，所述热电偶连接在所述烧结炉炉体上，用于测量所述坩埚的表面温度。6.根据权利要求1所述的氮化硅烧结炉降温装置，其特征在于：所述风冷装置中用来冷却所述坩埚的气体为惰性气体。7.根据权利要求1所述的氮化硅烧结炉降温装置，其特征在于：所述气体冷却机构包括依次连接的压缩机、蒸发器和冷凝器，所述风机的进口连接所述蒸发器的输出端，所述回风管连接所述蒸发器的输入端。8.根据权利要求1所述的氮化硅烧结炉降温装置，其特征在于：所述进水管和所述回水管上各设有一个水冷控制阀。9.根据权利要求1所述的氮化硅烧结炉降温装置，其特征在于：所述进风管和所述回风管上各设有一个风冷控制阀。2CN115751982A说明书1/3页一种氮化硅烧结炉降温装置技术领域[0001]本发明涉及烧结炉技术领域，特别是涉及一种氮化硅烧结炉降温装置。背景技术[0002]在氮化硅生产过中，烧结炉炉膛中温度可高达2000多摄氏度，在炉内温度降低至常温时才开炉取出产品。从2000多摄氏度降温至常温开炉一般需要15‑20h以上，此降温阶段耗时过长，严重影响了生产效率，因此缩短烧结炉降温时间成为目前亟需解决的问题。[0003]目前烧结炉的降温主要是通过散热风扇来达到降温的效果，但是散热风扇仅能对烧结炉炉壁进行降温，对于烧结炉炉膛内的坩埚缺乏有效的降温措施。因此，有必要设计一种既能对烧结炉炉体进行降温，又能对其内部的坩埚进行降温处理的降温装置。发明内容[0004]本发明的目的是提供一种氮化硅烧结炉降温装置，以解决上述现有技术存在的问题，能够对烧结炉进行全面的降温，使烧结炉炉体和其内部的坩埚能够得到有效的降温处理，缩短烧结炉的降温冷却时间。[0005]为实现上述目的，本发明提供了如下方案：[0006]本发明提供一种氮化硅烧结炉降温装置，包括水冷装置和风冷装置，所述水冷装置包括水冷套、水冷机和驱动泵，所述水冷套套设于烧结炉炉体外侧壁并与所述烧结炉炉体外侧壁之间构成水冷空间，所述水冷套下端通过进水管连接所述水冷机的出水口，所述驱动泵设置于所述进水管上，所述水冷套上端通过回水管连