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一种超高纯铝硅钛溅射靶材合金的制备方法.pdf
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本发明提供了一种超高纯铝硅钛溅射靶材合金的制备方法,所述制备方法包括以下步骤:(1)原料硅、原料钛和原料铝进行预处理;(2)设备和工具进行表面涂层处理;(3)预处理后的原料进行熔炼;(4)熔炼后的合金进行依次除气和结晶成型;(5)合金材料进行变形工艺,形成所述超高纯硅钛溅射靶材合金;所述制备方法通过优选高纯度原料和合金熔融步骤,同时在设备和工具表面涂层处理,实现了金属元素的纯度控制和均匀分布,得到了杂质H元素的含量水平符合要求、晶粒均匀的超高纯度铝靶材。
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